集成電路制造工藝課程中的微課教學

【摘 要】在信息化程度不斷提高的當今社會，微課這種新型教學資源開始嶄露頭角并越來越多地被運用在日常教學中。本文在介紹了微課的概念特點的基礎上，具體說明了其在集成電路制造工藝課程中的應用及取得的效果，以期對微課在微電子專業其他課程中的應用帶來一些啟示。

【關鍵詞】集成電路制造工藝 微課 微電子專業課程

【中圖分類號】G642 【文獻標識碼】A 【文章編號】1674-4810（2014）32-0086-01

在高速發展的信息化社會，隨著無線網絡、移動通訊網絡和移動終端設備的發展，各種微信平臺也迅猛發展。微信、微博、微視頻等成為當下人際交流、信息分享的主要方式。除了日常生活方面受到信息化時代的巨大影響外，在教學領域也帶來了很多的變化。微課、翻轉課堂、移動學習等新的學習方式成為當前信息化教學發展的新理念。

一 微課的概念

微課是一種新型的信息化教學手段，其具有主題突出、短小精悍、交互性好、應用面廣等特點。在全國高校微課教學比賽的推動作用下，微課這種新穎的教學方式也在各大高校中廣泛展開。

由于專業及應用背景的不同，關于微課的設置、實施等都有很多不同的意見，但大體上，微課應要能在較短的時間內，針對某個教學環節的重點難點進行分析，并應配合多種信息化教學手段，使得最終呈現出來的作品能盡可能地形象生動，吸引學生利用課余時間觀看學習。

二 微課教學的意義

快節奏的社會使人們日常生活變得快節奏，如何更好地利用平日通勤、吃飯、課間休息等時間對于現在的教育教學也非常重要。為了使學生可以在課間、課余、校園休息時，不占用過多的時間，獲取足夠多的知識，微課教學的重要性就凸顯出來了。學生可以利用教師準備的微課視頻，在課前或課后觀看，對課程進行預習或復習。

目前，社會各門學科專業之間的聯系緊密，教師在教學過程中還需要不斷汲取新知識新理論和各種經驗。微課有利于同行交流借鑒，促進教師專業發展，促進優質教學資源共建共享，提高教師的課堂教學水平，提高教師的教育技術綜合應用能力，提升教師的反思能力與研究水平。

三 集成電路制造工藝課程中的微課教學

集成電路制造工藝是微電子專業的一門重點核心課程，通過該課程的學習可以使學生了解集成電路的制造方法，各類集成電路的一般制造流程和制造過程中各核心工藝步驟的原理及方法等。

在傳統的教學過程中，一般是結合相應的圖片音頻等資料對學生展開教學，結合每一個工藝步驟，向學生說明工藝的原理、操作過程、注意事項等。在這個過程中，一方面學生要接觸到一些以往不太接觸到的新名詞和概念，另一方面還要在本身不太熟悉的情況下掌握這些名詞概念對應的原理或操作，所以接受及掌握的情況就不很理想。即使有一些多媒體資料可以給學生展示，但是對于學生來說，仍會產生比較大的距離感，不能產生實際體會。如果直接把學生帶到實訓場所，雖然可以讓學生近距離地觀看操作并動手，但實訓場地大小的限制和設備儀器的噪音，又會使得現場的教學效果受到影響。

而通過在教學過程中加入微課教學方式，這種情況就有了很大的改善。在教學準備時，教師選取了典型的工藝，預先在實訓場地拍攝微課視頻。不同于一般的教學視頻，微課制作過程中，本身還引用了大量的信息化手段。如在“光刻曝光”的微課視頻制作的過程中，制作者除了現場的操作講解之外，還在后期制作時，配用了大量的視頻、圖片及PPT課件。在初始時就通過學生比較熟悉的電腦CPU芯片的分解來給大家展示集成電路芯片的形貌，解說時配合機械相機膠卷的沖印過程，讓學生能更形象地理解光刻曝光的原理。

在理論教學前，讓學生先行觀看相應的微課視頻，這樣在講到相應工藝工序時，學生已經對這道工藝的操作、基本的原理方法等都有了一個初步的印象，當教師在課堂上再提到相應名詞概念時，學生就能有一個清晰的想法，不至于在懵懂狀態接受“填鴨式”教學。而且微課的精華還在于其微型化，在十分鐘左右的視頻中，把相關理論的要點、操作的重點形象生動地展現出來，學生觀看時無須花費太長的時間，不會輕易導致注意力的分散。如在介紹濺射這道工序時，薄膜濺射本身所需的時間較長，不管是在課堂中播放完整的操作過程還是帶學生去實訓場地操作都不太現實。而在微課視頻制作時，可以把抽真空、加熱等需要長時間等待的過程截取掉，只保留基本關鍵的操作步驟和最終的成品結果，這樣就可以讓學生在較短的時間內觀看到操作過程和成品了。

四 結束語

微課作為社會發展進入微時代后在教育領域產生的一種新型教學資源，以其主題突出、短小精悍的特點，改變了傳統的教育教學方式。在微電子專業傳統的核心理論課程集成電路制造工藝中采用微課教學資源，可以進一步豐富教學內容、活躍教學形式，使學生可以更好地來學習專業知識，獲得更生動、深入的體會。

參考文獻

[1]彭英才.開創面向21世紀的高等學校理工科專業課教學新局面——兼談《集成電路工藝原理》課的教學體會與實踐[J].高等理科教育，2003（4）

[2]李尊朝.集成電路工藝課程教學改革探析[J].實驗科學與技術，2010（4）

〔責任編輯：林勁〕