數(shù)字化、信息化、智能化在磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)中的應(yīng)用

劉增喜，張金鐫

（青島環(huán)球集團(tuán)股份有限公司，青島 266400）

數(shù)字化、信息化、智能化在磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)中的應(yīng)用

劉增喜，張金鐫

（青島環(huán)球集團(tuán)股份有限公司，青島 266400）

磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)是近幾年發(fā)展起來(lái)的新型設(shè)備，因其節(jié)約了大量的貴金屬白銀且價(jià)格較低，鋁鏡生產(chǎn)加工逐漸興起；磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)的核心技術(shù)來(lái)源于Low－E低幅射鍍膜玻璃。歐洲的制造商最早于20世紀(jì)60年代末開(kāi)始研究Low－E玻璃，于1978年成功應(yīng)用到建筑物上。我國(guó)鍍膜技術(shù)起步較晚，隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展，玻璃加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)已具有一定規(guī)模和品牌，民族工業(yè)的實(shí)力和創(chuàng)新能力得到極大的提高，國(guó)內(nèi)的鍍膜技術(shù)已取得了階段性的成果。

磁控濺射； 真空鍍鋁； 鍍膜； 鋁鏡

磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)，是近幾年發(fā)展起來(lái)的新型設(shè)備，因其節(jié)約了大量的貴金屬白銀且價(jià)格較低，鋁鏡生產(chǎn)加工逐漸興起。它從玻璃原板上片、清洗、磁控濺射鍍鋁膜、淋防護(hù)漆、烘干，直至成品鏡片收片均為自動(dòng)完成，鏡片質(zhì)量可媲美銀鏡，生產(chǎn)過(guò)程相對(duì)銀鏡更節(jié)能，更環(huán)保，且生產(chǎn)效率高，大大減少了人工成本及管理成本，緩解了用工荒問(wèn)題，其特點(diǎn)如下：

1）智能化、數(shù)字化、自動(dòng)化程度高。該生產(chǎn)線(xiàn)采用PLC技術(shù)、現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)技術(shù)，實(shí)時(shí)監(jiān)控鏡板的輸送、清洗、烘干、鍍膜、收集等全過(guò)程；模塊化程序控制，多臺(tái)減速電機(jī)相互配合并依次順序動(dòng)作，按照設(shè)定的工藝流程完成準(zhǔn)確的鏡板輸送及成鏡過(guò)程；該控制系統(tǒng)具有一鍵關(guān)機(jī)功能，人性化的智能關(guān)機(jī)過(guò)程，方便操作，減少人為無(wú)操作過(guò)程。在運(yùn)行過(guò)程中由精密傳感器裝置實(shí)時(shí)檢測(cè)并反饋。使用觸摸屏進(jìn)行人工對(duì)話(huà)，簡(jiǎn)化了工藝調(diào)整過(guò)程，提高了工作效率；可實(shí)現(xiàn)手動(dòng)、自動(dòng)、半自動(dòng)三種操作方式，大部分手動(dòng)按鍵開(kāi)關(guān)設(shè)在觸摸屏內(nèi)，操作安全方便。

2）打破傳統(tǒng)鍍膜工藝，鏡片質(zhì)量可媲美銀鏡，生產(chǎn)過(guò)程相對(duì)銀鏡更節(jié)能，更環(huán)保。一直以來(lái)，傳統(tǒng)鋁鏡生產(chǎn)過(guò)程中，使用單機(jī)蒸發(fā)鍍鋁鏡，鏡片時(shí)有出現(xiàn)飛濺鋁點(diǎn)的現(xiàn)象，膜層厚薄不均勻。磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)借鑒了國(guó)際上先進(jìn)的Low－E低幅射玻璃生產(chǎn)線(xiàn)的濺射鍍膜技術(shù)原理和銀鏡生產(chǎn)線(xiàn)中防護(hù)漆的淋涂及烘干技術(shù)，經(jīng)優(yōu)化組合，可以生產(chǎn)高反射鋁鏡，具有無(wú)鋁點(diǎn)、無(wú)黑點(diǎn)的特點(diǎn)，有效的克服了傳統(tǒng)鋁鏡生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生鋁點(diǎn)和黑點(diǎn)的缺陷。

3）改變了傳統(tǒng)的管理模式，減少了管理成本，緩解了用工荒問(wèn)題。由于該生產(chǎn)線(xiàn)配置了自動(dòng)上下片設(shè)備，上片只需2人、真空磁控濺射鍍膜1人、淋漆1人、下片2人巡查監(jiān)測(cè)，整線(xiàn)只需6人即可，省去了人工裝片、人工卸片，降低了工人勞動(dòng)強(qiáng)度，大大節(jié)約了人力成本及管理成本，緩解了用工荒問(wèn)題，為企業(yè)實(shí)現(xiàn)節(jié)能、降耗、減排生產(chǎn)提供了必要的技術(shù)保障。

1 主要應(yīng)用特點(diǎn)

磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)的核心技術(shù)來(lái)源于Low－E低幅射鍍膜玻璃。歐洲的制造商最早于20世紀(jì)60年代末開(kāi)始研究Low－E玻璃，于1978年成功應(yīng)用到建筑物上。我國(guó)鍍膜技術(shù)起步較晚，隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的飛速發(fā)展，玻璃加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)已具有一定規(guī)模和品牌，民族工業(yè)的實(shí)力和創(chuàng)新能力得到極大的提高，國(guó)內(nèi)的鍍膜技術(shù)已取得了階段性的成果。磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)是從上片到下片的成套鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)，是將各種規(guī)格的玻璃基板進(jìn)行清洗烘干等處理后，在真空鍍膜室里采用磁控濺射鍍膜的方式，鍍制高質(zhì)量鋁膜，后經(jīng)表面淋保護(hù)漆后，成為高檔鋁鏡；磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)由上片段、預(yù)清洗、盤(pán)洗、滾洗、吹干、真空鍍膜室、淋底漆、烘干、冷卻、淋面漆、烘干、冷卻、清洗、下片段等幾大部分組成，其中主要部分是真空鍍膜室，真空鍍膜室分為9個(gè)室，分別是前預(yù)抽室（2個(gè)室）、前緩沖室、前隔離室、鍍膜室、后隔離室、后緩沖室、后粗抽室（2個(gè)室）。磁控濺射生產(chǎn)線(xiàn)具體外觀(guān)圖見(jiàn)圖1。

1.1 上片段

上片段根據(jù)自動(dòng)化程度的不同可分為人工上片和自動(dòng)上片，包括氣浮桌、自動(dòng)放片機(jī)、轉(zhuǎn)向臺(tái)等。氣浮桌具有氣浮功能，生產(chǎn)過(guò)程中可方便人工選片或排除生產(chǎn)線(xiàn)的破損玻璃，適合小片作業(yè)。

自動(dòng)上片可實(shí)現(xiàn)各種規(guī)格玻璃從取片到轉(zhuǎn)向等全自動(dòng)上片作業(yè)。自動(dòng)放片機(jī)是將玻璃原片從玻璃架上由豎直方向（與地面呈95°）翻轉(zhuǎn)為水平位置，并根據(jù)信號(hào)傳送到輸送線(xiàn)上。玻璃旋轉(zhuǎn)架可供兩面存放玻璃，并可根據(jù)信號(hào)適時(shí)進(jìn)片。

自動(dòng)收片機(jī)共有分片機(jī)構(gòu)、取片機(jī)構(gòu)、送片機(jī)構(gòu)、吸盤(pán)翻轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)、真空系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等幾部分組成。自動(dòng)收片機(jī)的現(xiàn)場(chǎng)工作圖見(jiàn)圖2。

取片機(jī)構(gòu)安裝了12套吸盤(pán)裝置，采用進(jìn)口真空系統(tǒng)。當(dāng)真空泵開(kāi)始工作時(shí)，吸盤(pán)內(nèi)部形成負(fù)壓，使吸盤(pán)吸附在玻璃表面，實(shí)現(xiàn)吸持并搬送玻璃。分片機(jī)構(gòu)由氣缸和吸盤(pán)架組成。在玻璃被取片機(jī)構(gòu)吸持后，氣缸動(dòng)作，斜向上拉動(dòng)玻璃，實(shí)現(xiàn)分片功能。送片機(jī)構(gòu)通過(guò)同步輸送帶來(lái)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)自動(dòng)收片機(jī)吸持著玻璃翻轉(zhuǎn)到水平位置時(shí)，吸盤(pán)架落下，玻璃由同步輸送帶托住并輸送到輸送線(xiàn)上。吸盤(pán)翻轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)采用機(jī)械式翻轉(zhuǎn)，曲臂可往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，收片架的工作位置為0～95°，可通過(guò)PLC控制。

轉(zhuǎn)向臺(tái)采用同步帶輸送，是一套升降機(jī)構(gòu)，采用膠輪輥道與傳送帶雙向轉(zhuǎn)向輸送。當(dāng)玻璃由膠輥輸送至轉(zhuǎn)向臺(tái)位置時(shí)，升降機(jī)構(gòu)啟動(dòng)工作，轉(zhuǎn)向臺(tái)升起，托起玻璃，同時(shí)輸送帶開(kāi)始輸送，實(shí)現(xiàn)了各種規(guī)格玻璃的轉(zhuǎn)向移動(dòng)作業(yè)。

轉(zhuǎn)向臺(tái)與膠輥的現(xiàn)場(chǎng)布置圖見(jiàn)圖3。升降平臺(tái)升起時(shí)的外觀(guān)圖見(jiàn)圖4。升降平臺(tái)落下時(shí)的外觀(guān)圖見(jiàn)圖5。

1.2 預(yù)清洗

預(yù)清洗段通常布置了幾道滾刷，采用中性洗潔劑，來(lái)清除基板表面的油污、玻璃殘?jiān)⑷斯な钟　⒒覊m等。

1.3 盤(pán)洗

盤(pán)洗是采用盤(pán)刷進(jìn)行清洗，盤(pán)刷一般是由尼龍絲或豬鬃制作而成，均勻排列。清洗過(guò)程中，每只盤(pán)刷自身旋轉(zhuǎn)的同時(shí)整排盤(pán)刷橫向擺動(dòng)，確保清洗到位。盤(pán)洗也是拋光的過(guò)程，清洗過(guò)程中必須注入氧化鈰或其他拋光液，必要時(shí)加入洗潔凈等堿性清洗劑對(duì)玻璃表面的油污進(jìn)行清洗，經(jīng)過(guò)幾道盤(pán)刷的拋光，可拋出玻璃表面的老化層，產(chǎn)生新鮮的表面，保證玻璃表面的潔凈度，有利于獲得結(jié)合牢固、致密無(wú)針孔缺陷的膜層。盤(pán)洗一般配置4～6組盤(pán)刷，每道盤(pán)刷有兩排毛刷，分別正反兩個(gè)方向旋轉(zhuǎn)，并沿著輥道左右擺動(dòng)。

1.4 滾洗

滾洗段一般采用3道毛刷輥進(jìn)行清洗，每道毛刷輥上下對(duì)稱(chēng)分布。第一道采用自來(lái)水預(yù)清洗，以去除基片上的拋光劑及清洗劑，清洗后用水不予回收；第二道第三道清洗過(guò)程中注入30～50℃的溫水，清洗用水采用去離子水（純水），電阻率≥100MΩ，清除玻璃基板表面附著的雜質(zhì)，獲得潔凈的基板表面，為鍍膜做準(zhǔn)備，第二道、第三道清洗用水予以回收過(guò)濾，可重復(fù)使用。

1.5 吹干、預(yù)熱

鏡板經(jīng)過(guò)清洗在進(jìn)入真空室時(shí)，需要使玻璃表面保持干燥，如果玻璃上殘留水分或附著水霧，會(huì)嚴(yán)重影響鍍膜質(zhì)量，因此，鍍膜室前必須配置吹干段。吹干段一般情況下需要設(shè)置2個(gè)風(fēng)刀，第一個(gè)風(fēng)刀風(fēng)量比較大，須傾斜安裝，可將玻璃表面及側(cè)面的水流吹走并集中吹干，第二個(gè)風(fēng)刀內(nèi)安裝有加熱管，平直安裝，風(fēng)經(jīng)過(guò)加熱管吹出后變成熱風(fēng)，加快吹干進(jìn)程，去除了玻璃表面附著的水霧；同時(shí)也達(dá)到預(yù)熱的目的，使玻璃進(jìn)入鍍膜段已具有一定的溫度，表面鍍膜液吹干速度加快，以減少邊部收縮，并使玻璃的溫度恒定，穩(wěn)定鍍膜工藝，便于控制鍍膜參數(shù)。由于地區(qū)不同或烘干段的配置不同，有時(shí)需要增加一個(gè)斜風(fēng)刀，以加速吹干，保證工藝要求。斜風(fēng)刀的現(xiàn)場(chǎng)布置圖見(jiàn)圖6。

1.6 真空鍍膜室

真空鍍膜室采用直流磁控濺射鍍膜技術(shù)，其制備薄膜的原理是：在真空室充入壓強(qiáng)0.1～10Pa的惰性氣體Ar的同時(shí)，在陰極靶材下面放置強(qiáng)力磁鐵。在高壓作用下，電子在電場(chǎng)作用下加速飛向基片，在此過(guò)程中電子與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，二次電子受到磁場(chǎng)和電場(chǎng)作用，圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng)，在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜，經(jīng)過(guò)多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線(xiàn)的束縛，遠(yuǎn)離靶材，最終沉積在基片上。磁控濺射就是以磁場(chǎng)束縛和延長(zhǎng)電子的運(yùn)動(dòng)路徑，改變電子的運(yùn)動(dòng)方向，提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。因而具有沉積速率高、基片沉積溫度低、成膜粘附性好、易控制、成本低、能實(shí)現(xiàn)大面積制膜的優(yōu)點(diǎn)，成為當(dāng)今工業(yè)化生產(chǎn)中，研究最多、最成熟、應(yīng)用最廣的一項(xiàng)成熟技術(shù)，也是薄膜制備中最常用的方法。

磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)真空室分為9個(gè)室，兩端分別為前后預(yù)抽室和前后緩沖室，前后隔離室（包括鍍膜室）；真空室輥道采用傳動(dòng)電機(jī)、減速機(jī)等進(jìn)行傳動(dòng)，傳動(dòng)軸輥為鏈條聯(lián)動(dòng)，傳動(dòng)軸輥軸承為無(wú)油潤(rùn)滑二硫化鉬氟塑料軸承，運(yùn)行過(guò)程中由行程開(kāi)關(guān)控制定位；鍍膜室傳動(dòng)速度由先進(jìn)的進(jìn)口變頻器控制，穩(wěn)定、安全、方便。真空鍍膜室現(xiàn)場(chǎng)外觀(guān)圖，如圖7所示。

真空鍍膜室分為9個(gè)室，分別是前預(yù)抽室（2個(gè)室）、前緩沖室、前隔離室、鍍膜室、后隔離室、后緩沖室、后粗抽室（2個(gè)室）。開(kāi)機(jī)后，1～9號(hào)真空室粗抽泵開(kāi)始抽氣，約10～30min后，1～9號(hào)室的真空度達(dá)到5×102Pa，羅茨泵啟動(dòng)；當(dāng)1～9號(hào)真空室的真空度已達(dá)5×10－0Pa時(shí)，開(kāi)啟精抽泵，4～6號(hào)真空室的真空度可達(dá)2×10－2Pa或更高時(shí)（真空度抽至越高越好），所有前級(jí)工作已完成，即可進(jìn)行鍍膜工作。

濺射器件系統(tǒng)是真空鍍膜室的關(guān)鍵部分，用來(lái)實(shí)現(xiàn)把靶材沉積到玻璃基片上，主要包括陰極蓋板、雙平面陰極、單平面陰極、旋轉(zhuǎn)陰極、濺射擋板、工藝氣路、陰極電源、靶材等。濺射系統(tǒng)的性能關(guān)系到沉積速率、薄膜均勻性、濺射穩(wěn)定性和靶材的利用率等關(guān)鍵問(wèn)題，其中陰極的設(shè)計(jì)最為關(guān)鍵。

每個(gè)生產(chǎn)節(jié)拍的工序流程是：開(kāi)外真空鎖、進(jìn)玻璃板、關(guān)外真空鎖、抽真空、開(kāi)內(nèi)真空鎖、出玻璃板、關(guān)內(nèi)真空鎖、破真空充氣恢復(fù)大氣壓。真空鍍膜室分為九室八鎖，9個(gè)真空室串聯(lián)，8個(gè)真空鎖分別位于前后預(yù)抽室、前后緩沖室、前后隔離室之間，鎖板用鋁合金材料加工而成，鎖板開(kāi)關(guān)由電磁換向閥、氣缸、傳動(dòng)齒輪齒條驅(qū)動(dòng)。真空鎖現(xiàn)場(chǎng)安裝圖，如圖8所示。

1.7 淋漆、烘干、冷卻、吹干

1）淋漆。淋漆根據(jù)油漆的粘度特性和流體力學(xué)的原理，用噴淋方式使油漆產(chǎn)生瀑布式的漆膜，幕膜厚度應(yīng)便于調(diào)節(jié)，且分布均勻，漆面厚度應(yīng)無(wú)差異，噴鍍采用全自動(dòng)控制。鋁鏡制作一般需要淋兩道保護(hù)漆，一道底漆，一道面漆，兩次淋漆過(guò)程都是相同的。漆通過(guò)漆泵打入帶有漆唇的漆刀，漆沿著漆唇垂直均勻流下如一道幕簾，鍍好鋁膜的鏡片以70～80m／min的速度，高速通過(guò)漆簾，便在鏡片上淋上一層均勻的保護(hù)漆。目前傳統(tǒng)的平面淋漆設(shè)備專(zhuān)用的淋漆刀，油漆通過(guò)進(jìn)漆口進(jìn)入相對(duì)封閉的空腔，經(jīng)過(guò)兩刀體形成的縫隙，形成幕簾，以瀑布的形式淋下，淋在快速通過(guò)的平面或曲面材料即可成膜，替代手掃及噴漆，通過(guò)調(diào)節(jié)兩刀體間隙，使淋漆更加均勻。

2）烘干。淋漆過(guò)程包括淋底漆、淋面漆，每次淋漆后都需要進(jìn)行固化。固化是在烘干箱里進(jìn)行的。烘干箱是一個(gè)密封的箱體，外殼是由保溫材料制作而成。烘干箱根據(jù)工藝不同可分為預(yù)熱區(qū)、烘干區(qū)和冷卻區(qū)。烘干箱內(nèi)部根據(jù)溫度的不同要求設(shè)置安裝了不同數(shù)量的遠(yuǎn)紅外石英加熱棒，預(yù)熱區(qū)溫度達(dá)到80℃左右，烘干區(qū)溫度保持在120～160℃，經(jīng)過(guò)烘干的玻璃溫度很高，為了防止驟冷碎裂，在烘干箱里還要經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的自然冷卻，冷卻區(qū)不安裝加熱棒，當(dāng)玻璃冷卻到60℃左右時(shí)，被輸送出烘干箱進(jìn)入下道工序。烘干區(qū)的溫度采用溫控，可清晰地顯示各個(gè)烘箱的溫度，調(diào)節(jié)方便，易控制。烘干過(guò)程中經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)玻璃意外碎裂需要清理的情況，烘箱加熱管屬于易損件，同樣也需要經(jīng)常更換，而烘干箱固定在輸送線(xiàn)側(cè)梁上，這時(shí)我們最需要的就是烘箱蓋能夠方便的升起，便于維修清理。目前，遇到這種情況，通常采用行車(chē)將烘箱蓋升起然后進(jìn)行清理，這種升降方式不僅速度慢、占用空間，而且不能多段同時(shí)操作，對(duì)于行車(chē)到達(dá)不了的位置更是無(wú)法進(jìn)行，因此操作起來(lái)非常費(fèi)勁，通常需要一段時(shí)間來(lái)完成。該烘干箱采用翻蓋開(kāi)啟模式，并配備氣缸開(kāi)啟機(jī)構(gòu)，方便清理玻璃碎片及更換加熱棒。

3）冷卻。經(jīng)過(guò)烘干的玻璃，漆層固化，經(jīng)高壓風(fēng)冷及清水冷卻后，產(chǎn)生的漆膜均勻牢固、光滑、手感好、耐腐蝕，進(jìn)一步增加了高檔鋁鏡的使用壽命。

4）吹干。在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中，由于濺射或其它原因，水或溶液以及鋁、漆等雜質(zhì)，會(huì)留于鏡面上，這時(shí)需要用三氯化鐵溶液和水清洗將他們除去，并吹干，以獲得潔凈干燥的鏡面。

1.8 下片段

下片段結(jié)構(gòu)和上片段類(lèi)同，可分為人工下片和自動(dòng)下片，包括氣浮桌、自動(dòng)下片機(jī)、過(guò)渡段等，但動(dòng)作有所不同。由于鏡板是自動(dòng)上架，為保證安全性和整齊性，自動(dòng)下片段必須配置定位裝置，當(dāng)鏡板行至定位部位時(shí)，定位板頂起，鏡板側(cè)面碰到定位板，定位后由自動(dòng)收片機(jī)收片上架。定位裝置現(xiàn)場(chǎng)安裝圖見(jiàn)圖9。

1.9 電氣控制系統(tǒng)

電氣控制系統(tǒng)主要由電源柜、控制柜、控制系統(tǒng)、電箱、PLC及工控機(jī)、變壓器、光電、上位監(jiān)控機(jī)、PLC主機(jī)等組成。該控制系統(tǒng)采用可編程序控制器作為現(xiàn)場(chǎng)控制，工業(yè)控制計(jì)算機(jī)作為上位控制，組成的網(wǎng)絡(luò)對(duì)鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的工藝過(guò)程進(jìn)行系統(tǒng)控制，操作者方便控制鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)的工藝過(guò)程和設(shè)備的動(dòng)作流程。

該控制系統(tǒng)具有一鍵關(guān)機(jī)功能，人性化的智能關(guān)機(jī)過(guò)程，方便操作，減少人為無(wú)操作過(guò)程。該生產(chǎn)線(xiàn)采用模塊化程序控制，多臺(tái)減速電機(jī)相互配合并依次順序動(dòng)作，按照設(shè)定的工藝流程完成準(zhǔn)確的鏡板輸送及成鏡過(guò)程；在運(yùn)行過(guò)程中由精密傳感器裝置實(shí)時(shí)檢測(cè)并反饋。采用PLC技術(shù)、現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)技術(shù)，實(shí)時(shí)監(jiān)控鏡板的輸送、清洗、烘干、鍍膜、收集等全過(guò)程；使用觸摸屏進(jìn)行人工對(duì)話(huà)，簡(jiǎn)化了工藝調(diào)整過(guò)程，提高了工作效率；可實(shí)現(xiàn)手動(dòng)、自動(dòng)、半自動(dòng)三種操作方式，大部分手動(dòng)按鍵開(kāi)關(guān)設(shè)在觸摸屏內(nèi)，操作安全方便。

粗抽泵，維持泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵分別由相應(yīng)的開(kāi)關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制，可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)情況進(jìn)行開(kāi)啟及關(guān)閉真空泵，達(dá)到節(jié)能的目的，見(jiàn)圖10。

粗抽閥、預(yù)抽閥、精抽閥、旁通閥及真空鎖分別單獨(dú)控制，生產(chǎn)過(guò)程中可根據(jù)工藝快捷選擇。由光電開(kāi)關(guān)檢測(cè)各室減速、定位位置，由變頻器驅(qū)動(dòng)電機(jī)，傳動(dòng)系統(tǒng)定位準(zhǔn)確。

各真空室內(nèi)的行程開(kāi)關(guān)、真空鎖、閥門(mén)、機(jī)械泵均有指示燈顯示相應(yīng)位置，在操作中，方便觀(guān)察本設(shè)備的具體工作狀況。如圖11所示。

每只擴(kuò)散泵在控制柜面板上都配備電流指示器，開(kāi)啟擴(kuò)散泵后可方便觀(guān)察擴(kuò)散泵的運(yùn)行情況。

抽真空檢測(cè)系統(tǒng)性能穩(wěn)定、壽命長(zhǎng)，可確保生產(chǎn)過(guò)程中各動(dòng)作有序進(jìn)行；采用電阻規(guī)及電離規(guī)復(fù)合真空計(jì)，高低真空測(cè)量可自動(dòng)轉(zhuǎn)換。

磁控靶開(kāi)啟后，控制器備有電流表、電壓表，操作者可方便觀(guān)察并操作。

2 結(jié) 語(yǔ)

數(shù)字化、信息化、智能化在磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)的全自動(dòng)配置，提高自動(dòng)化程度；同時(shí)借鑒國(guó)際上先進(jìn)的Low－E低幅射玻璃生產(chǎn)線(xiàn)的濺射鍍膜技術(shù)原理、銀鏡生產(chǎn)線(xiàn)鏡背防護(hù)漆的淋涂及烘干技術(shù)。經(jīng)優(yōu)化組合，合理設(shè)計(jì)、配置真空濺射鍍膜段，大幅降低磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線(xiàn)的造價(jià)，實(shí)現(xiàn)磁控濺射鋁鏡的低成本、高效率生產(chǎn)，是制鏡行業(yè)設(shè)備轉(zhuǎn)型升級(jí)、實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)的首選設(shè)備。

［1］上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司.Low－E鍍膜玻璃應(yīng)用及大規(guī)模鍍膜技術(shù)的發(fā)展［N］.中國(guó)建材報(bào)，2010－06－01.

［2］劉超英.摻鋁氧化鋅透明導(dǎo)電膜的制備與性能研究［D］.北京：中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院，2011.

［3］尹冬梅.Si摻雜ZnO薄膜的制備及光學(xué)性質(zhì)的研究［D］.長(zhǎng)春：東北師范大學(xué)，2009.

［4］王曉飛.射頻磁控濺射制備Cu摻雜ZnO薄膜的結(jié)構(gòu)及性質(zhì)研究［D］.蘇州：蘇州大學(xué)，2008.

［5］陳惠娟.納米碳／硅異質(zhì)結(jié)的制備及其氣敏性研究［D］.北京：中國(guó)石油大學(xué)，2010.

［6］韓瑩瑩.TiO2及其摻雜膜的制備、結(jié)構(gòu)及性能研究［D］.南京：南京理工大學(xué)，2010.

Digitalization，Informatization and Intelligent Application in Magnetron Sputtering Aluminum Mirror Production Line

LIU Zeng－xi，ZHANG Jin－juan
（Qingdao HICORP Group Co，Ltd，Qingdao 266400，China）

Magnetron sputtering aluminum mirror production line is a new type of equipment which is developing rapidly in recent years，the aluminum mirror produce gradually rises in processing，because it saves a large amount of precious metal silver and the price is low.Magnetron sputtering aluminum mirror production line of the core technology comes from Low－E low－rising coated glass.The earliest European manufacturers in the late 1960sbegan studying Low－E glass，was successfully applied to the building in 1978.Coating technology starts late in our country，with the rapid development of economy in our country，glass processing equipment industry has a certain scale and brand，the strength of the national industry and innovation ability improves greatly，the domestic coating technology has made staggered results.

magnetron sputtering； vacuum aluminum plating； coating；the aluminum mirror

10.3963／j.issn.1674－6066.2014.02.016

2014－02－07.

劉增喜（1963－），高級(jí)工程師.E－mail：hi.corp＠163.com