三氟化氮泄漏在線監測系統設計及應用

杜海波+田亮亮+苗英俊+李丹丹

摘要：為了實現三氟化氮生產及灌裝車間三氟化氮氣體的泄漏監測，研究了一套基于超高溫裂解原理的三氟化氮泄漏在線監測系統。該系統采用MSP430單片機作為主控芯片，具有響應速度快、測量準確、誤碼率的特點，能夠最低檢測到0.1 ul/L的泄漏，信號能夠直接接入廠區的DCS系統。

關鍵詞：三氟化氮；高溫熱裂解；泄漏；在線監測

中圖分類號：O659.2 文獻標識碼：A

在常溫常壓下，三氟化氮（NF3）為無色、無臭的性質穩定液化氣體。而高純的三氟化氮是一種熱力學穩定的氧化劑，大約在350℃左右可分解成為二氧化氮和氟氣。

三氟化氮是一種工業特種氣體，它的用途非常廣泛，主要用作火箭推進劑、等離子蝕刻硅或氧化硅、化學激光器的氟源、電子氣及氟化劑等。隨著近年來電子及光伏產業的快速發展，需求呈現迅猛增長之勢。

如同其他電子氣一樣，三氟化氮氣體也是一種毒性物質。美國政府工業衛生聯合會（ACGIH）確定，吸入10×10-6的限定閾值（TLV）是最危險的。2008年聯合國環境大會上，三氟化氮被列為溫室氣體，其制造溫室的能力極強，能在大氣中維持550年。主要在生產液晶電視時排放，目前排放量為每年4000噸。因此，科學家呼吁將三氟化氮列入溫室氣體黑名單。因此開展三氟化氮氣體的泄漏監測工作具有重大的意義。一是保障了現場工作人員的生命安全；二是生產設備的使用安全；三是減少了三氟化氮氣體的泄漏，有效的避免的三氟化氮氣體產生的溫室效應。

1系統的總體設計

通過對某生產三氟化氮氣體的生產廠家實地勘察發現，三氟化氮灌裝車間是三氟化氮氣體的高發區域。在灌裝車間需要完成氣體的灌裝、分析采樣、出廠前的檢驗等生產工序。在操作過程中極有可能發生三氟化氮氣體的泄漏，因此車間的空氣環境中的三氟化氮含量經常在1~2ul/L左右。如果發生大規模的泄漏將會對工作人員的健康造成威脅，還會影響對出廠鋼瓶的檢驗中檢測儀器的靈敏度。因此，在灌裝車間安裝三氟化氮的在線監測系統勢在必行。

本系統的設計基于超高溫裂解技術的三氟化氮檢測探頭，三氟化氮檢測探頭能夠輸出標準的4~20mA信號或通過RS485總線傳輸到廠區的DCS系統。組成框圖如圖1：

DCS系統檢測到某位置的傳感器探頭濃度超過設定閾值，發出聲光報警信號，并啟動風機進行排風。當檢測到室內的三氟化氮濃度下降到正常值時，停止排風。

2 系統硬件設計及選型

2.1 三氟化氮氣體檢測探頭的設計

三氟化氮氣體檢測探頭是整個系統的核心，它能夠感知氣體的泄漏，并能夠輸出標準的測量信號。

2.1.1 三氟化氮檢測原理比較分析

工業上用的鹵素傳感器可用于三氟化氮氣體的檢漏，缺點是該類傳感器同時能夠檢出其他的鹵素物氣體。因此誤報率比較高，在現場使用非常少。

長光程紅外吸收光譜在900cm-1范圍內，對于1×10-6濃度的三氟化氮氣體反應較為靈敏。整個量程范圍內的檢測誤差和靈敏度還有待考證。缺點是受環境溫濕度的影響比較大，同時價格比較昂貴，目前市場上使用較少。

目前市場上較為常見的為日本某三氟化氮檢測產品，該產品采用催化裂解+電化學原理，占據了大部分的市場份額。該原理催化裂解產物比較復雜，分辨率較低，檢測誤差較大。通過現場的測試發現，該產品最小只能檢測到2ul/L的氣體泄漏，預熱時間較長（在檢測時要求長時間開機），無法滿足現場微量泄漏檢測的需求。

2.1.2 基于超高溫裂解的三氟化氮檢測探頭

本系統的三氟化氮檢測探頭采用自主知識產權的專利技術。該技術為軍轉民技術，技術參數及性能已經得到了多年的驗證，性能非常穩定。該技術為超高溫裂解+電化學原理，整個傳感器的組成框圖如圖2：

為了提高檢測探頭的檢測速度和高溫裂解爐的裂解效率，本設計采用泵吸式氣體進入方式。首先，車間內的氣體通過灰塵過濾器過濾掉灰塵后，使用調節閥初步調節進氣流量，使其限定在一定范圍內（正常范圍為800ml/min）。然后三氟化氮氣體進入高溫裂解爐進行裂解，裂解產物中含有一氧化氮、二氧化氮和氟氣等氣體。轉化劑的作用是將裂解產物中的一氧化氮充分轉化為二氧化氮氣體以提高二氧化氮的含量，間接的提高的輸出信號的大小，增加了探頭的分辨率。電化學傳感器產生的微弱的電流信號經過濾波、放大等處理后轉化為數字量送給單片機，單片機經過處理后在人機交互界面上進行顯示。同時通過通信模塊轉化為標準的MODBUS協議通過RS485總線傳輸到DCS系統。MODBUS協議報文格式如圖3：

2.2 DCS硬件選型

通過對某三氟化氮氣體生產廠家的調研發現，現在廠區使用的是浙大中控的DCS系統，各生產流程都已經接入DCS系統進行監控。為了能將本設計的三氟化氮檢測探頭順利的接入廠區的DCS系統，本設計除了在檢測探頭支持MODBUS傳輸協議外，選用了浙大中控的XP248通信板卡。該板卡具有以下功能：

1）支持MODBUS協議的主機模式和從機模式，并通過SCControl功能塊實現通訊組態。

2）支持4路串口的并發工作，每路串口支持RS232和RS485兩種通訊方式。

3）通訊波特率支持（1200~19200）bps，數據位（5-8）為，停止位（1-2）為，檢驗方式：無校驗、偶校驗、奇校驗、空格校驗、標志校驗。

三氟化氮氣體檢測探頭通過RS485總線根據廠區內探頭的布置分區域通過XP248板卡接入DCS系統，并在工程師對現場的檢測探頭進行組態識別，將現場的探頭按照位置進行編號，通過總線MODBUS協議讀取探頭的數據并在組態畫面上進行顯示。

3 系統軟件設計

3.1 三氟化氮檢測探頭軟件設計

三氟化氮檢測探頭采用MSP430單片機作為主控電路的核心控制元件。MPS430系列單片機是由TI公司研發的16位單片機。它最強調的特點是超低功耗，非常適用于各種功率要求低的場合。該系統采用該系列單片機作為主控單元，利用其自身的12位AD作為采樣電路對各路信號進行采樣，電化學傳感器輸出的電流信號在nA級別，必須通過濾波放大后才能送給單片機進行采集。采集到的數據通過RS232通信直接送給人機交互界面進行顯示，每隔一段時間將數據存儲在外置的EEPROM中。軟件內置MODBUS協議，當收到上位機讀書指令時，觸發通信中斷，并將數據通過串口發送給上位機。程序流程圖如圖4所示：

3.2 DCS系統軟件設計

生產現場采用的是浙大中控的DCS系統，利用自帶的組態軟件對現場的三氟化氮檢測探頭進行組態，按照探頭的分布位置和地址對進行編號。直接在各探頭位置顯示三氟化氮氣體的濃度。組態軟件每隔10s向探頭讀取一次數據，默認每隔半小時存儲一次探頭檢測數據（時間可設），并形成數據報表供用戶調用和查看。

如果系統檢測到某個位置的三氟化氮檢測探頭發生報警，組態界面對應檢測點進行閃爍報警，啟動風機進行置換排風，并提醒現場工作人員進行處理。

結語

本設計在河北邯鄲某生產現場進行了測試，通過測試發現，本文設計的三氟化氮檢測探頭最低能夠檢測到0.1ul/L的極微量三氟化氮氣體的泄漏，響應速度快，測量誤差在4%FS以內，與廠區DCS系統通訊正常，顯示和報警功能正常。

參考文獻

[1]宋在卿，李紹波.淺談我國三氟化氮的現狀和對策[J].低溫與特氣，2007，25（01）：22-24.

[2]盧永峰，李冬永，曹瓊華.三氟化氮產能、技術現狀及市場分析[J].湖南有色金屬，2010，26（05）：34-35.

[3]Documentation of Threshold Limit Values and Biological Exposure Indices, 6th Ed.1991.

[4]最新觀測：三氟化氮應進溫室氣體“黑名單”[N].科技日報，2008（10）.

[5]楊彥.三氟化氮—一種新型干蝕刻氣[J].低溫與特氣，2006，24（04）：28-30.

endprint

摘要：為了實現三氟化氮生產及灌裝車間三氟化氮氣體的泄漏監測，研究了一套基于超高溫裂解原理的三氟化氮泄漏在線監測系統。該系統采用MSP430單片機作為主控芯片，具有響應速度快、測量準確、誤碼率的特點，能夠最低檢測到0.1 ul/L的泄漏，信號能夠直接接入廠區的DCS系統。

關鍵詞：三氟化氮；高溫熱裂解；泄漏；在線監測

中圖分類號：O659.2 文獻標識碼：A

在常溫常壓下，三氟化氮（NF3）為無色、無臭的性質穩定液化氣體。而高純的三氟化氮是一種熱力學穩定的氧化劑，大約在350℃左右可分解成為二氧化氮和氟氣。

三氟化氮是一種工業特種氣體，它的用途非常廣泛，主要用作火箭推進劑、等離子蝕刻硅或氧化硅、化學激光器的氟源、電子氣及氟化劑等。隨著近年來電子及光伏產業的快速發展，需求呈現迅猛增長之勢。

如同其他電子氣一樣，三氟化氮氣體也是一種毒性物質。美國政府工業衛生聯合會（ACGIH）確定，吸入10×10-6的限定閾值（TLV）是最危險的。2008年聯合國環境大會上，三氟化氮被列為溫室氣體，其制造溫室的能力極強，能在大氣中維持550年。主要在生產液晶電視時排放，目前排放量為每年4000噸。因此，科學家呼吁將三氟化氮列入溫室氣體黑名單。因此開展三氟化氮氣體的泄漏監測工作具有重大的意義。一是保障了現場工作人員的生命安全；二是生產設備的使用安全；三是減少了三氟化氮氣體的泄漏，有效的避免的三氟化氮氣體產生的溫室效應。

1系統的總體設計

通過對某生產三氟化氮氣體的生產廠家實地勘察發現，三氟化氮灌裝車間是三氟化氮氣體的高發區域。在灌裝車間需要完成氣體的灌裝、分析采樣、出廠前的檢驗等生產工序。在操作過程中極有可能發生三氟化氮氣體的泄漏，因此車間的空氣環境中的三氟化氮含量經常在1~2ul/L左右。如果發生大規模的泄漏將會對工作人員的健康造成威脅，還會影響對出廠鋼瓶的檢驗中檢測儀器的靈敏度。因此，在灌裝車間安裝三氟化氮的在線監測系統勢在必行。

本系統的設計基于超高溫裂解技術的三氟化氮檢測探頭，三氟化氮檢測探頭能夠輸出標準的4~20mA信號或通過RS485總線傳輸到廠區的DCS系統。組成框圖如圖1：

DCS系統檢測到某位置的傳感器探頭濃度超過設定閾值，發出聲光報警信號，并啟動風機進行排風。當檢測到室內的三氟化氮濃度下降到正常值時，停止排風。

2 系統硬件設計及選型

2.1 三氟化氮氣體檢測探頭的設計

三氟化氮氣體檢測探頭是整個系統的核心，它能夠感知氣體的泄漏，并能夠輸出標準的測量信號。

2.1.1 三氟化氮檢測原理比較分析

工業上用的鹵素傳感器可用于三氟化氮氣體的檢漏，缺點是該類傳感器同時能夠檢出其他的鹵素物氣體。因此誤報率比較高，在現場使用非常少。

長光程紅外吸收光譜在900cm-1范圍內，對于1×10-6濃度的三氟化氮氣體反應較為靈敏。整個量程范圍內的檢測誤差和靈敏度還有待考證。缺點是受環境溫濕度的影響比較大，同時價格比較昂貴，目前市場上使用較少。

目前市場上較為常見的為日本某三氟化氮檢測產品，該產品采用催化裂解+電化學原理，占據了大部分的市場份額。該原理催化裂解產物比較復雜，分辨率較低，檢測誤差較大。通過現場的測試發現，該產品最小只能檢測到2ul/L的氣體泄漏，預熱時間較長（在檢測時要求長時間開機），無法滿足現場微量泄漏檢測的需求。

2.1.2 基于超高溫裂解的三氟化氮檢測探頭

本系統的三氟化氮檢測探頭采用自主知識產權的專利技術。該技術為軍轉民技術，技術參數及性能已經得到了多年的驗證，性能非常穩定。該技術為超高溫裂解+電化學原理，整個傳感器的組成框圖如圖2：

為了提高檢測探頭的檢測速度和高溫裂解爐的裂解效率，本設計采用泵吸式氣體進入方式。首先，車間內的氣體通過灰塵過濾器過濾掉灰塵后，使用調節閥初步調節進氣流量，使其限定在一定范圍內（正常范圍為800ml/min）。然后三氟化氮氣體進入高溫裂解爐進行裂解，裂解產物中含有一氧化氮、二氧化氮和氟氣等氣體。轉化劑的作用是將裂解產物中的一氧化氮充分轉化為二氧化氮氣體以提高二氧化氮的含量，間接的提高的輸出信號的大小，增加了探頭的分辨率。電化學傳感器產生的微弱的電流信號經過濾波、放大等處理后轉化為數字量送給單片機，單片機經過處理后在人機交互界面上進行顯示。同時通過通信模塊轉化為標準的MODBUS協議通過RS485總線傳輸到DCS系統。MODBUS協議報文格式如圖3：

2.2 DCS硬件選型

通過對某三氟化氮氣體生產廠家的調研發現，現在廠區使用的是浙大中控的DCS系統，各生產流程都已經接入DCS系統進行監控。為了能將本設計的三氟化氮檢測探頭順利的接入廠區的DCS系統，本設計除了在檢測探頭支持MODBUS傳輸協議外，選用了浙大中控的XP248通信板卡。該板卡具有以下功能：

1）支持MODBUS協議的主機模式和從機模式，并通過SCControl功能塊實現通訊組態。

2）支持4路串口的并發工作，每路串口支持RS232和RS485兩種通訊方式。

3）通訊波特率支持（1200~19200）bps，數據位（5-8）為，停止位（1-2）為，檢驗方式：無校驗、偶校驗、奇校驗、空格校驗、標志校驗。

三氟化氮氣體檢測探頭通過RS485總線根據廠區內探頭的布置分區域通過XP248板卡接入DCS系統，并在工程師對現場的檢測探頭進行組態識別，將現場的探頭按照位置進行編號，通過總線MODBUS協議讀取探頭的數據并在組態畫面上進行顯示。

3 系統軟件設計

3.1 三氟化氮檢測探頭軟件設計

三氟化氮檢測探頭采用MSP430單片機作為主控電路的核心控制元件。MPS430系列單片機是由TI公司研發的16位單片機。它最強調的特點是超低功耗，非常適用于各種功率要求低的場合。該系統采用該系列單片機作為主控單元，利用其自身的12位AD作為采樣電路對各路信號進行采樣，電化學傳感器輸出的電流信號在nA級別，必須通過濾波放大后才能送給單片機進行采集。采集到的數據通過RS232通信直接送給人機交互界面進行顯示，每隔一段時間將數據存儲在外置的EEPROM中。軟件內置MODBUS協議，當收到上位機讀書指令時，觸發通信中斷，并將數據通過串口發送給上位機。程序流程圖如圖4所示：

3.2 DCS系統軟件設計

生產現場采用的是浙大中控的DCS系統，利用自帶的組態軟件對現場的三氟化氮檢測探頭進行組態，按照探頭的分布位置和地址對進行編號。直接在各探頭位置顯示三氟化氮氣體的濃度。組態軟件每隔10s向探頭讀取一次數據，默認每隔半小時存儲一次探頭檢測數據（時間可設），并形成數據報表供用戶調用和查看。

如果系統檢測到某個位置的三氟化氮檢測探頭發生報警，組態界面對應檢測點進行閃爍報警，啟動風機進行置換排風，并提醒現場工作人員進行處理。

結語

本設計在河北邯鄲某生產現場進行了測試，通過測試發現，本文設計的三氟化氮檢測探頭最低能夠檢測到0.1ul/L的極微量三氟化氮氣體的泄漏，響應速度快，測量誤差在4%FS以內，與廠區DCS系統通訊正常，顯示和報警功能正常。

參考文獻

[1]宋在卿，李紹波.淺談我國三氟化氮的現狀和對策[J].低溫與特氣，2007，25（01）：22-24.

[2]盧永峰，李冬永，曹瓊華.三氟化氮產能、技術現狀及市場分析[J].湖南有色金屬，2010，26（05）：34-35.

[3]Documentation of Threshold Limit Values and Biological Exposure Indices, 6th Ed.1991.

[4]最新觀測：三氟化氮應進溫室氣體“黑名單”[N].科技日報，2008（10）.

[5]楊彥.三氟化氮—一種新型干蝕刻氣[J].低溫與特氣，2006，24（04）：28-30.

endprint

摘要：為了實現三氟化氮生產及灌裝車間三氟化氮氣體的泄漏監測，研究了一套基于超高溫裂解原理的三氟化氮泄漏在線監測系統。該系統采用MSP430單片機作為主控芯片，具有響應速度快、測量準確、誤碼率的特點，能夠最低檢測到0.1 ul/L的泄漏，信號能夠直接接入廠區的DCS系統。

關鍵詞：三氟化氮；高溫熱裂解；泄漏；在線監測

中圖分類號：O659.2 文獻標識碼：A

在常溫常壓下，三氟化氮（NF3）為無色、無臭的性質穩定液化氣體。而高純的三氟化氮是一種熱力學穩定的氧化劑，大約在350℃左右可分解成為二氧化氮和氟氣。

三氟化氮是一種工業特種氣體，它的用途非常廣泛，主要用作火箭推進劑、等離子蝕刻硅或氧化硅、化學激光器的氟源、電子氣及氟化劑等。隨著近年來電子及光伏產業的快速發展，需求呈現迅猛增長之勢。

如同其他電子氣一樣，三氟化氮氣體也是一種毒性物質。美國政府工業衛生聯合會（ACGIH）確定，吸入10×10-6的限定閾值（TLV）是最危險的。2008年聯合國環境大會上，三氟化氮被列為溫室氣體，其制造溫室的能力極強，能在大氣中維持550年。主要在生產液晶電視時排放，目前排放量為每年4000噸。因此，科學家呼吁將三氟化氮列入溫室氣體黑名單。因此開展三氟化氮氣體的泄漏監測工作具有重大的意義。一是保障了現場工作人員的生命安全；二是生產設備的使用安全；三是減少了三氟化氮氣體的泄漏，有效的避免的三氟化氮氣體產生的溫室效應。

1系統的總體設計

通過對某生產三氟化氮氣體的生產廠家實地勘察發現，三氟化氮灌裝車間是三氟化氮氣體的高發區域。在灌裝車間需要完成氣體的灌裝、分析采樣、出廠前的檢驗等生產工序。在操作過程中極有可能發生三氟化氮氣體的泄漏，因此車間的空氣環境中的三氟化氮含量經常在1~2ul/L左右。如果發生大規模的泄漏將會對工作人員的健康造成威脅，還會影響對出廠鋼瓶的檢驗中檢測儀器的靈敏度。因此，在灌裝車間安裝三氟化氮的在線監測系統勢在必行。

本系統的設計基于超高溫裂解技術的三氟化氮檢測探頭，三氟化氮檢測探頭能夠輸出標準的4~20mA信號或通過RS485總線傳輸到廠區的DCS系統。組成框圖如圖1：

DCS系統檢測到某位置的傳感器探頭濃度超過設定閾值，發出聲光報警信號，并啟動風機進行排風。當檢測到室內的三氟化氮濃度下降到正常值時，停止排風。

2 系統硬件設計及選型

2.1 三氟化氮氣體檢測探頭的設計

三氟化氮氣體檢測探頭是整個系統的核心，它能夠感知氣體的泄漏，并能夠輸出標準的測量信號。

2.1.1 三氟化氮檢測原理比較分析

工業上用的鹵素傳感器可用于三氟化氮氣體的檢漏，缺點是該類傳感器同時能夠檢出其他的鹵素物氣體。因此誤報率比較高，在現場使用非常少。

長光程紅外吸收光譜在900cm-1范圍內，對于1×10-6濃度的三氟化氮氣體反應較為靈敏。整個量程范圍內的檢測誤差和靈敏度還有待考證。缺點是受環境溫濕度的影響比較大，同時價格比較昂貴，目前市場上使用較少。

目前市場上較為常見的為日本某三氟化氮檢測產品，該產品采用催化裂解+電化學原理，占據了大部分的市場份額。該原理催化裂解產物比較復雜，分辨率較低，檢測誤差較大。通過現場的測試發現，該產品最小只能檢測到2ul/L的氣體泄漏，預熱時間較長（在檢測時要求長時間開機），無法滿足現場微量泄漏檢測的需求。

2.1.2 基于超高溫裂解的三氟化氮檢測探頭

本系統的三氟化氮檢測探頭采用自主知識產權的專利技術。該技術為軍轉民技術，技術參數及性能已經得到了多年的驗證，性能非常穩定。該技術為超高溫裂解+電化學原理，整個傳感器的組成框圖如圖2：

為了提高檢測探頭的檢測速度和高溫裂解爐的裂解效率，本設計采用泵吸式氣體進入方式。首先，車間內的氣體通過灰塵過濾器過濾掉灰塵后，使用調節閥初步調節進氣流量，使其限定在一定范圍內（正常范圍為800ml/min）。然后三氟化氮氣體進入高溫裂解爐進行裂解，裂解產物中含有一氧化氮、二氧化氮和氟氣等氣體。轉化劑的作用是將裂解產物中的一氧化氮充分轉化為二氧化氮氣體以提高二氧化氮的含量，間接的提高的輸出信號的大小，增加了探頭的分辨率。電化學傳感器產生的微弱的電流信號經過濾波、放大等處理后轉化為數字量送給單片機，單片機經過處理后在人機交互界面上進行顯示。同時通過通信模塊轉化為標準的MODBUS協議通過RS485總線傳輸到DCS系統。MODBUS協議報文格式如圖3：

2.2 DCS硬件選型

通過對某三氟化氮氣體生產廠家的調研發現，現在廠區使用的是浙大中控的DCS系統，各生產流程都已經接入DCS系統進行監控。為了能將本設計的三氟化氮檢測探頭順利的接入廠區的DCS系統，本設計除了在檢測探頭支持MODBUS傳輸協議外，選用了浙大中控的XP248通信板卡。該板卡具有以下功能：

1）支持MODBUS協議的主機模式和從機模式，并通過SCControl功能塊實現通訊組態。

2）支持4路串口的并發工作，每路串口支持RS232和RS485兩種通訊方式。

3）通訊波特率支持（1200~19200）bps，數據位（5-8）為，停止位（1-2）為，檢驗方式：無校驗、偶校驗、奇校驗、空格校驗、標志校驗。

三氟化氮氣體檢測探頭通過RS485總線根據廠區內探頭的布置分區域通過XP248板卡接入DCS系統，并在工程師對現場的檢測探頭進行組態識別，將現場的探頭按照位置進行編號，通過總線MODBUS協議讀取探頭的數據并在組態畫面上進行顯示。

3 系統軟件設計

3.1 三氟化氮檢測探頭軟件設計

三氟化氮檢測探頭采用MSP430單片機作為主控電路的核心控制元件。MPS430系列單片機是由TI公司研發的16位單片機。它最強調的特點是超低功耗，非常適用于各種功率要求低的場合。該系統采用該系列單片機作為主控單元，利用其自身的12位AD作為采樣電路對各路信號進行采樣，電化學傳感器輸出的電流信號在nA級別，必須通過濾波放大后才能送給單片機進行采集。采集到的數據通過RS232通信直接送給人機交互界面進行顯示，每隔一段時間將數據存儲在外置的EEPROM中。軟件內置MODBUS協議，當收到上位機讀書指令時，觸發通信中斷，并將數據通過串口發送給上位機。程序流程圖如圖4所示：

3.2 DCS系統軟件設計

生產現場采用的是浙大中控的DCS系統，利用自帶的組態軟件對現場的三氟化氮檢測探頭進行組態，按照探頭的分布位置和地址對進行編號。直接在各探頭位置顯示三氟化氮氣體的濃度。組態軟件每隔10s向探頭讀取一次數據，默認每隔半小時存儲一次探頭檢測數據（時間可設），并形成數據報表供用戶調用和查看。

如果系統檢測到某個位置的三氟化氮檢測探頭發生報警，組態界面對應檢測點進行閃爍報警，啟動風機進行置換排風，并提醒現場工作人員進行處理。

結語

本設計在河北邯鄲某生產現場進行了測試，通過測試發現，本文設計的三氟化氮檢測探頭最低能夠檢測到0.1ul/L的極微量三氟化氮氣體的泄漏，響應速度快，測量誤差在4%FS以內，與廠區DCS系統通訊正常，顯示和報警功能正常。

參考文獻

[1]宋在卿，李紹波.淺談我國三氟化氮的現狀和對策[J].低溫與特氣，2007，25（01）：22-24.

[2]盧永峰，李冬永，曹瓊華.三氟化氮產能、技術現狀及市場分析[J].湖南有色金屬，2010，26（05）：34-35.

[3]Documentation of Threshold Limit Values and Biological Exposure Indices, 6th Ed.1991.

[4]最新觀測：三氟化氮應進溫室氣體“黑名單”[N].科技日報，2008（10）.

[5]楊彥.三氟化氮—一種新型干蝕刻氣[J].低溫與特氣，2006，24（04）：28-30.

endprint