PECVD PM塔多變量控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研究
2014-10-21 20:06:36曹陽(yáng)王慧慧陳金元
中國(guó)機(jī)械 2014年24期
曹陽(yáng) 王慧慧 陳金元
摘要：本文介紹了PECVD PM塔的溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)。作者提出了一種既能減小系統(tǒng)非線性，又能減小變量之間耦合的新的控制方案。在此基礎(chǔ)上，將PECVD PM塔的溫度控制系統(tǒng)視為10輸入和10輸出的線性被控對(duì)象，應(yīng)用逆乃氏陣列法對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了分析與設(shè)計(jì)。整個(gè)系統(tǒng)采用PLC系統(tǒng)控制。文中還給出了實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
關(guān)鍵詞：PECVD；多變量控制；系統(tǒng)設(shè)計(jì)；逆乃氏陣列法；PLC控制
