非球面面形檢測專利技術(shù)分析

王書倫　高新升

摘要：非球面元件的制造必須與精確的非球面檢測技術(shù)相結(jié)合才能得到合格的非球面，因此非球面光學(xué)元件的檢測已經(jīng)成為光學(xué)測量技術(shù)研究的前沿領(lǐng)域。文章主要以非球面面形檢測領(lǐng)域的相關(guān)專利申請為研究對象進(jìn)行了統(tǒng)計(jì)和分析，總結(jié)了該領(lǐng)域的專利申請量變化情況及其分布狀況。

關(guān)鍵詞：非球面光學(xué)元件；面形檢測專利技術(shù)；專利申請量；光學(xué)測量技術(shù)；光學(xué)系統(tǒng) 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A

中圖分類號：TQ171 文章編號：1009-2374（2015）22-0083-02 DOI：10.13535/j.cnki.11-4406/n.2015.22.041

1 非球面面形檢測技術(shù)簡介

非球面光學(xué)元件是指面型由多項(xiàng)式高次方程決定，面型上各點(diǎn)的半徑各不相同的光學(xué)元件。其又分為兩類：軸對稱二次曲面與非軸對稱曲面（柱面）。非球面光學(xué)元件是一種非常重要的光學(xué)元件，它可以獲得球面光學(xué)元件所無可比擬的成像質(zhì)量，在光學(xué)系統(tǒng)中能夠很好地矯正多種像差，改善成像質(zhì)量，提高系統(tǒng)鑒別能力；它能以一個或幾個非球面元件代替多個球面元件，從而簡化儀器結(jié)構(gòu)、降低成本，并有效地減輕儀器的重量；非球面光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)能使計(jì)算方法大為簡化。對于任何光學(xué)表面，形貌精度的控制主要取決于測量系統(tǒng)的性能。眾所周知，檢測技術(shù)在很大意義上決定了光學(xué)表面的形貌精度，檢測過程伴隨著光學(xué)系統(tǒng)制造和裝調(diào)的始終。加工—檢測—再加工—再檢測是高精度非球面加工的必經(jīng)過程，如何準(zhǔn)確地檢測非球面是高精度非球面加工的基礎(chǔ)。隨著光學(xué)制造技術(shù)的發(fā)展，在過去的幾十年中人們提出了許多檢測方法，大致可以劃分為接觸檢測和非接觸檢測兩大類，而且又有實(shí)時在線檢測和非實(shí)時在線檢測之分。……