《集成電路工藝》課程教學探索

王振　馮世娟　王巍

摘要：針對微電子學專業的《集成電路工藝》課程的理論教學中存在的主要問題，在教學內容、教學方法、教學手段及考核方式等多方面進行了初步探討，以提高教學質量和學生實際工藝知識的能力。

關鍵詞：集成電路工藝 教學探索

中圖分類號：G642.4 文獻標識碼：A 文章編號：1002-7661（2015）09-0001.01

隨著經濟和信息技術的發展，信息技術已經滲透到了國民經濟的各個領域。信息技術的基礎是微電子技術，集成電路作為微電子技術的核心，是整個信息產業和信息社會最根本的技術基礎，也是一個國家參與國際化政治、經濟競爭的戰略產業。同時我國集成電路發展水平離歐美日等發達國家有很大的差距，尤其是在自主知識產權的集成電路產品方面。要扭轉這一局面，高素質的專業技術人才是關鍵，要改變這種狀況，應從本科教育做起。《集成電路工藝》是微電子學專業重要的必修專業課，授課教師必須在充分熟悉半導體物理和半導體集成電路等課程的基礎上，結合教學實際中存在的問題，優化整合教學內容，豐富教學手段，探索教學改革措施，培養學生的學習興趣，提高《集成電路工藝》課程的教學質量。

一、教學內容

微電子科技是高速發展的產業推動型學科，微電子產品制造技術更是日新月異，隨著工藝技術的不斷發展，《集成電路工藝》課程的教學內容需要不斷更新。微電子專業前期開設了半導體物理、半導體器件物理、電路分析基礎、數字邏輯電路等電路課程，因而在《集成電路工藝》課程內容設置時將著重培養學生的制造工藝能力，減少器件設計和原理內容的比重，著重講解制造工藝的內容。……