改善鉬片鍍釕結(jié)合力的新工藝

張一雯*，郭昭華，王永旺，陳東

（神華準(zhǔn)能資源綜合開發(fā)有限公司研發(fā)中心，內(nèi)蒙古 鄂爾多斯 010300）

改善鉬片鍍釕結(jié)合力的新工藝

張一雯*，郭昭華，王永旺，陳東

（神華準(zhǔn)能資源綜合開發(fā)有限公司研發(fā)中心，內(nèi)蒙古 鄂爾多斯 010300）

采用兩步預(yù)鍍的方式解決了鉬片與鍍釕層之間的結(jié)合力差的問題。主要工藝流程包括除油、陽極浸蝕、堿洗、弱浸蝕、出光、預(yù)浸、預(yù)鍍鉻、預(yù)鍍鎳和鍍釕。采用此工藝省去了高溫退火，能耗低，所得釕面層與鉬片基體結(jié)合牢固。

鉬片；鍍釕；預(yù)鍍；鉻；鎳；結(jié)合力

鉬具有優(yōu)良的性質(zhì)，如耐熱，耐磨，抗腐蝕，高硬度。鉬及鉬合金除具有高溫強度，良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能和低的熱膨脹系數(shù)(與電子管用玻璃相近)外，還擁有較鎢更易于加工的優(yōu)勢，因此用常規(guī)加工方法生產(chǎn)的鉬板、帶、箔、管、棒、線、型材等在電子管(柵極和陽極)部件中得到廣泛應(yīng)用[1]。在大功率半導(dǎo)體器件(如可控硅)中，鉬與硅的熱膨脹系數(shù)很接近，所以鉬在可控硅中作為硅片的散熱器與支撐板[2]，而鉬合金基片是晶閘管、IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)模塊等半導(dǎo)體的核心配套部件，起著保護芯片正常工作、延長晶閘管的疲勞壽命等作用。

但是鉬片在電子領(lǐng)域的應(yīng)用中還存在一些問題，如鉬片本身在400 °C時在空氣中就發(fā)生氧化并生成氧化膜，而這層在高溫下生成的氧化膜不僅不能對鉬起到保護作用，而且阻止了鉬發(fā)揮其特性。因此，考慮在鉬片上涂覆一層保護膜，而這層金屬膜還要具有像鉬一樣的特性。……