MEMS中試平臺：破解中小企業創新難題

記者 張小妹

MEMS中試平臺：破解中小企業創新難題

記者 張小妹

納米技術已經逐漸融入到我們的日常生活中了？沒錯，你知道嗎，女生平時使用的防曬霜，開車族經常關注的汽車輪胎，時尚潮流的虛擬現實，這些都是納米技術的功勞。

事實上，我們所認識的納米產業，大多只是局限于納米材料，其實，納米產業涉及的范圍十分廣闊，還包括微納制造、智慧健康、智能制造等等各方面。

產業發展的支撐服務平臺

納米產業作為蘇州工業園區長期戰略產業，微納制造作為納米產業的重要領域之一，一直是園區重點發展領域。但是，由于微納制造設備投入巨大，運行維護花費大，中小型MEMS公司往往很難承受。而MEMS領域的代工廠和大封裝廠門檻較高，加上我國MEMS產業的創新鏈不完善，缺乏工業級中試線的支撐，科研團隊在研發做出樣品后又無法直接進入代工廠，中小MEMS企業難以實現漸進式的規模化成長。

為了解決中小MEMS企業創新面臨的產品工程化研發中試困境，支撐中小MEMS企業和產業的創新發展，按照蘇州工業園區管委會戰略部署，蘇州納米科技發展有限公司于2014年9月建成6英寸微納機電制造（MEMS）中試平臺，并專門成立了蘇州納米產業技術研究院有限公司微納制造分公司，負責平臺運營。

江蘇省（蘇州）納米產業技術研究院副院長，也是蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司微納制造分公司的研發總監王敏銳博士參與了平臺的早期籌備工作。他告訴記者，早在2012年，平臺就開始策劃籌備了，2014年通線成功。該平臺是我國首個按照市場化、全開放模式運營的MEMS中試平臺，與科研機構的概念驗證、樣品研發試驗不同，平臺主要開展工程化中試和中小批量生產服務，前端與產品樣品研發銜接，后端與規模化工程銜接，是一個完全工業級別的中試線。

平臺的建成填補了我國MEMS產業研發機構與規模化工廠之間的空白，構建了我國MEMS產業領域“研發—中試—規模生產”的完整產品創新技術支撐體系。

如今，平臺跟眾多企業和科研院合作，共同研發成功多種重要的MEMS產品技術平臺和特種設備。目前已成功導入應用于移動通訊、消費電子、汽車電子、醫療器材、國防軍工等諸多領域的硅麥克風芯片、壓力傳感芯片、紅外溫度傳感芯片、微掃描鏡芯片等產品，極大的支撐推動了相關MEMS企業的產品創新和發展。

MEMS產業集群，一起狂歡

MEMS作為蘇州工業園區的優勢產業領域，也是蘇州納米城聚焦推動的重點領域。經過多年的產業布局和運作，目前蘇州工業園區MEMS產業的集群效應逐漸顯現，形成了MEMS傳感器的芯片設計、研發、中試、封裝測試的全覆蓋的產業特色，涌現了晶方半導體、敏芯、明皜等一批國內前十的知名企業，吸引了一大批海內外MEMS專家來園區創業和工作。

平臺的投入運行極大的降低了MEMS產業進入門檻和投資成本，為初創企業的發展提供了絕好的機會。促進更多的MEMS相關高端人才和項目聚集園區，壯大MEMS產業規模。平臺還為投資機構提供了挖掘MEMS高端優質項目的舞臺，有利于提高項目投資針對性。產業諸要素的不斷聚集和有機結合，促進園區包括MEMS產業在內的納米產業快速發展，預計未來10年將逐步發展成為1000億元的產業規模。

平臺打通了中MEMS產業創新鏈，也誕生了 一個中國MEMS產業領域全新的品牌——MEMSRIGHT。目前，MEMSRIGHT服務客戶達300家，遍及江蘇、北京、上海乃至加拿大、美國、荷蘭等地，與世界知名MEMS研發、設計、封裝公司建立了合作關系。

在國際納米產業峰會上，曾有專家做出評判，蘇州的納米產業極巨潛力，甚至超過了北京、上海和深圳等一線創新城市，甚至美國國會舉行的針對中國新興技術發展的聽證會上，專門分析了蘇州的納米產業發展狀況。總體上，園區MEMS微納制造產業屬于發展迅速新興產業，行業正處于產業爆炸性增長的前期，極具前景。同時，行業人才匱乏問題也日漸顯現和需求迫切。

“發展MEMS產業，既要看清楚又是，又要找準自身的不足。成立中試平臺只是蘇州MEMS產業發展的新起點，要構筑MEMS產業生態圈，還需要全國的產業資源，來突破資源限制、人才限制、技術限制。”王敏銳認為。

創新不是喊口號，我們又有新動作

近日，蘇州納米科技發展有限公司又牽頭籌建江蘇省微納制造業創新中心，未來這家創新中心將落地在蘇州納米城內，預計，中心將引領整個行業有深刻影響的產品和共性技術的創新發展。

中心針對未來3～8年將產生重大影響的目標產品的共性技術進行研發，同時構建技術創新鏈和產業鏈。一旦共性技術完成，結合各個單位原本擁有的特殊技術，就可以差異化產品，形成共性技術共享、共贏的核心產業生態體系。

“這是相對核心的產業生態體系，在這個生態體系的外面，還有一個更大的生態體系——中國半導體行業協會。”這是MEMS領域國內唯一的行業協會，納入了包括MEMS產品應用企業、MEMS芯片、器件封裝、專用處理電路、信號智能處理和設備的公司，納米公司既是協會的發起單位，也是秘書長單位。行業的快速發展，造就了協會生態體系的快速發展，中國半導體行業協會理事長曾經開玩笑稱，中國半導體協會MEMS分會已經有300多家會員單位，比協會里其他分會的所有會員加起來都還多。

在整個產業創新領域，王敏銳談了自己的看法。他認為，高科技產業的發展，存在一定的不確定性，大家都是在探索，這跟傳統產業梯度轉移的過程不同。同時，高科技產業的創新一旦突破，產業將具備的很強的爆發性和顛覆性，甚至會引起相對應的整個傳統產業的滅亡。王敏銳給我們舉了一個例子，硅麥克風的出現和規模化生產應用，傳統的駐極體麥克風企業80%以上倒閉，全行業岌岌可危。

在他看來，進入“無人區”的產業創新是逐步積累的過程，需要漫長的沉淀。從歷程來看，需要經歷緩慢起步和快速增長的過程，對于蘇州來說，如果要在戰略新興產業創新方面有所作為，特別是在市場還不能充分發揮資源支配作用的戰略新興產業，離不開政府的大力支持和引導。一定要認準方向、科學布局、持續投入、有所作為，快速構建完善的產業創新支撐體系，聚集產業創新諸要素，形成產業技術創新鏈、產業鏈和生態圈，加快實現戰略新興產業的突破性發展。