中國關鍵電子氣體現狀及未來

孫福楠

(中昊光明化工研究設計院有限公司，遼寧 大連 116031)

0 引 言

中國是世界電子產品的制造中心，全球有過半以上的各類電子產品由中國大陸生產制造，與之不對稱的是制造這些產品所需要的高檔芯片幾乎全部依賴進口，最近幾年其進口值已超過原油，高達2200億美元。為此，中央及地方政府相繼出臺許多利好政策及資金支持，試圖能盡快縮短差距，扭轉這種尷尬局面。2017年全國各地興起了一股全球難以看到的“半導體熱”，通過努力半導體國產化也取得了階段性進展和效果，許多大基金競相加入，相信中國在未來幾年這種局面不會停止。特種氣體是半導體制造過程的“血液”、“糧食”，沒有高質量的氣體，半導體制造無從談起，受到氣體下游的需求拉動和刺激，2017年中國氣體尤其是用于IC制造的各類高純氣體、電子混合氣體發生了爆發性的發展和驚人的進步，其發展方式也同過去迥然不同，許多有影響的外資氣體公司也終于改變過去的運行方式，開始搶灘中國，以各種方式在國內開展屬地化生產。下面就某些關鍵氣體進行描述。

1 超純電子氣體

1.1 硅烷

硅烷在半導體生產過程是極其重要的關鍵“源”性氣體，無論是光伏太陽能的生產，還是LED、TFT-LCD的制造都需要大量的硅烷做原料。我國硅烷產品曾經嚴重依賴進口，河南首山硅烷實現國產化后，徹底改寫和平衡了國內硅烷的供給結構和價格。我國國產硅烷基本上能滿足一般領域的需求，對于某些要求比較高的領域，國產硅烷仍沒有實現國產化。……