四甲基氫氧化銨合成及應用研究進展

夏允+潘獻曉+沈悅+蔣建航+宋玉+李碩

摘 要 研究了四甲基氫氧化銨的應用、制備方法比較及電解法制備四甲基氫氧化銨原料比較，綜合各種方法優缺點，對四甲基氫氧化銨電合成提供借鑒。

關鍵詞 四甲基氫氧化銨 制備 原料 應用

中圖分類號：TQ226 文獻標識碼：A

四甲基氫氧化銨（Tetramethyl ammonium hydroxide，TMAH）分子式為（CH3）4NOH，為無色晶體（常含3，5個結晶水），是一種強有機堿，極易吸水，在空氣中能迅速吸收二氧化碳，在135～140℃分解氣化。TMAH在工業催化、科研及電子領域等方面都有著極為廣泛的用途。在國外，TMAH主要用于聚酯類聚合物、紡織、塑料制品、食品、皮革、木材加工、電鍍等行業。電解法制備TMAH可將其中的金屬離子含量降到ppb級，使其在電子領域得到更加廣泛的應用，可在半導體行業用作FT-LCT，IC正膠顯影劑，在印刷電路板中作為光刻顯影劑，Si-SiO2界面各向異性腐蝕劑以及微電子芯片制造中的清洗劑等。

有學者對常見的KOH溶液、EDP溶液（乙二胺、鄰苯二酚和水的捏合液）及TMAH溶液等多種腐蝕液清洗劑進行了實驗摸索，發現用KOH溶液腐蝕清洗得到的表面較為粗糙，會引起離子沾污，EDP溶液腐蝕清洗效果較好，但是其具有毒性，而TMAH腐蝕清洗液則是一種令人滿意的腐蝕清洗劑，它無毒、易于控制，腐蝕表面光亮平整，在適當的條件下能得到較其他腐蝕清洗液更為理想的腐蝕清洗效果。

目前TMAH的生產方法主要有氧化銀法、離子交換樹脂法、堿置換法等，由于這些傳統制取TMAH的方法具有生產成本高和雜質離子含量高等缺陷，現在逐漸開始用離子膜電解法、電滲析法等制備TMAH。……