電子工藝設備技術性能指標提出方法及內容研究

彭興文，盧丹丹

(中國電子科技集團公司第二十六研究所，重慶　400060)

由于電子工藝設備大多具備高價值的特點，技術性能指標內容的完整性和準確性是保證設備滿足使用要求的核心。工藝設備技術性能指標是根據工藝技術及使用環境的具體要求轉化而來。首先，用戶需要明確的是工藝技術指標要求絕對不等同于對工藝設備的技術性能指標要求，需要將工藝技術指標要求有效轉化為對工藝設備的技術性能指標要求；其次，用戶必須明確電子工藝設備的使用環境，在同樣的工藝技術指標條件下，使用環境的差別，會導致對工藝設備的技術性能指標要求存在巨大差別。

用戶提出完整和準確的電子工藝設備技術性能指標內容，是一項復雜的工作，要求專業技術水平高、綜合知識能力強。目前，很多電子工藝設備用戶在提出設備技術性能指標時，通常存在未將工藝技術及使用環境要求有效轉化為工藝設備的技術性能要求，造成對工藝設備的技術性能指標內容因素不完整、關鍵技術要求不夠科學合理、工藝設備的使用環境制約缺失等現象，造成購買的電子工藝設備不能完全滿足工藝技術要求或性價比不高的情況。因此，有必要對電子工藝設備技術性能指標的提出方法和完善內容進行研究。

1　性能指標提出方法研究

提出電子工藝設備技術性能指標是具有不同階段的連續性工作，這種連續性工作組成一個完整過程，通常可以分為：準備、正式提出、專家評審及修改完善三個階段。……