2018年,我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展被《政府工作報告》列為實體經(jīng)濟發(fā)展第一位,充分體現(xiàn)國家對于發(fā)展集成電路的高度重視。在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中,芯片制造生產(chǎn)線被普遍認(rèn)為是集成電路產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),而制造技術(shù)的集中體現(xiàn)在于半導(dǎo)體設(shè)備,尤其是要發(fā)展深亞微米技術(shù)的產(chǎn)品,需要更高技術(shù)、更高精密度的先進工藝設(shè)備。
近幾年,為實現(xiàn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展宏偉目標(biāo),我國在建或規(guī)劃中的晶圓廠數(shù)量已超過26座,且大部分將于今年和明年開始裝機量產(chǎn)。晶圓廠數(shù)目的增加隨之帶來先進制程設(shè)備的高度需求,根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)顯示,2017年我國晶圓設(shè)備需求增長率超過30%,2018年仍將保持這個強勁的增長態(tài)勢。中國成為全球第三大晶圓設(shè)備市場,并且將很快超越前一名成為全球第二大市場。
全球前十大半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商之一——ASM的中國資深銷售和服務(wù)總裁戚珩表示:“目前中國市場發(fā)展非常強勁,尤其中國2025計劃也正在積極實施,服務(wù)中國市場20年的歷史經(jīng)驗使我們能更好地支持這種快速增長。”如何抓住時代與產(chǎn)業(yè)新機遇,開創(chuàng)企業(yè)成長新局面是每個供應(yīng)商都必須思考的問題。
ASM和許多領(lǐng)先的中國制造商保持著良好的合作關(guān)系,從低于200 mm到300 mm的制造設(shè)備裝機量已達(dá)200臺。面向的應(yīng)用有邏輯/代工廠、存儲和模擬制造還有晶圓市場,獲得了多個客戶如Intel、TSMC等的優(yōu)秀供應(yīng)商嘉獎。在中國已用于生產(chǎn)的平臺有原子層沉積、增強等離子體化學(xué)氣象沉積、立式爐、外延設(shè)備。……