碳化硅材料磨削技術基礎研究

劉國敬，劉宇光，賀東葛，劉婷婷

(中國電子科技集團公司第四十五研究所，北京 100176)

碳化硅是現代社會發展中出現的一種新型材料，其具有比剛度大、穩定性好、質地輕等優點，國際上已將其作為空間光學遙感器中的反射鏡材料進行研究。現階段，隨著技術水平的不斷提高，碳化硅材料得到了迅速的發展，并在工業領域內得到了廣泛的應用，但要想完全體現出其優異的性能，加工技術是我們必須攻克的“堡壘”，針對碳化硅硬度大，機械加工難的特點，本文進行了碳化硅材料磨削技術的基礎研究，并取得了較好的實驗結果。

1　碳化硅材料性能

碳化硅成型使用反應燒結法，也稱為自結合法或滲硅法，它是用Q-SiC和石墨按一定比例混合壓成坯體，加熱到1 650℃左右，通過液相或氣相將Si滲入坯體，使之完成。碳化硅反應燒結的原理使SiC具有許多其它材質所沒有的優良特性：(1)比剛度大，單位載荷引起結構的變形小，尺寸穩定性好，可以降低反射鏡的厚度，做成蜂窩狀結構起到減重的目的，反射鏡與框一體化，減少裝調誤差；(2)熱變形系數小，抗熱震性性能優越，可使鏡體在較寬的溫度范圍內具有良好的熱穩定性，降低對熱控系統的要求，減少熱控系統的質量和功耗；(3)良好的熱傳導性能，當環境溫度變化時，材料內部很容易達到溫度平衡，不會引起很大的內應力，對環境適應能力強，壽命長。

2　碳化硅材料的磨削工藝

2.1　碳化硅材料的磨削加工

需要加工碳化硅……