一種基于MEMS反射鏡的平視顯示器

閆思齊 姜藶峰

摘 要：MEMS反射鏡由1mm的反射鏡板和四個靜電斥力致動器構成。MEMS反射鏡使用表面微加工工藝PolyMUMPs制造而成，包括四個致動器的MEMS反射鏡的整體尺寸是3.5mm×3.5mm，體積非常小。每個執行器可以通過改變施加的電壓單獨控制。在操作中，改變一個或兩個執行器的電壓會使鏡片朝所需的方向傾斜。

關鍵詞：平視顯示器；MEMS反射鏡；PolyMUMPs

中圖分類號：TN256 文獻標識碼：A 文章編號：1003-5168（2018）07-0054-02

A Kind of Flat View Display Based on MEMS Reflector

YAN Siqi JIANG Lifeng

（Aviation University Air Force，Changchun Jilin 130022）

Abstract： The MEMS reflector is composed of a 1 millimeter reflector plate and four electrostatic repulsion actuators. The MEMS mirror is made from the surface micromachining process PolyMUMPs. The overall size of the MEMS reflector， including four actuators， is 3.5mm x 3.5mm， and the size is very small. Each actuator can be controlled individually by changing the applied voltage. In operation， changing the voltage of one or two actuators will tilt the lens in the direction required.

Keywords： flat view display；MEMS reflector； PolyMUMPs

為了提高飛行員的飛行作戰能力，增加訓練時間，減少訓練費用，研制地面飛行模擬機就顯得極為重要。受模擬機研究經費和視景“視差”的影響，飛行模擬機上無法采用飛機上實裝的無窮遠聚焦平視顯示器，而如何使模擬機上的平視顯示器取得更好的、更貼近真實飛機的效果就顯得十分重要。在設計模擬機平視顯示器時，提出了一種基于微型機電系統的平視顯示器，MEMS反射鏡在高速控制下反射激光束以顯示所需文字或符號，相比以往模擬機上的平視顯示器，具有良好的顯示效果，更清晰明亮，投影距離更符合模擬機平顯要求，不必要的顯示雜波也較少。

1 微型機電系統平視顯示器原理

模擬機的微型機電系統平視顯示器主要由光學投影系統（聚焦透鏡、放大透鏡和半透射半反射鏡等）、平視顯示器信息處理器、平視顯示器像源以及MEMS控制系統這四部分組成。模擬機的飛行參數及飛行狀態，如速度、高度、方向、風速及方向等，按照航電通信協議，通過航電總線傳送至平視顯示器……