多線切割機線網擺動系統設計

郝 祿，陳學森，李 歡，唐 強

(中國電子科技集團公司第四十五研究所，北京 100176)

隨著第一批國產單線、多線切割機的問世，對我國特殊材料生產加工產業起了巨大的推動作用，半導體產業鏈隨之興起，蓬勃發展。在實際生產中，對硬質材料的切割，傳統多線切割機的不足表現的尤為明顯。其主要原因在于：金剛線在整個切割過程中，一直與切割表面線接觸，致使單位面積受到的切割力不足，容易發生斷線，無法保證切割效率和切割質量。

第一臺擺動多線切割機的問世[1]，革命性地提高了硬脆材料加工的產能。其最大的特點是金剛線與被切割材料之間發生相對轉動，保持金剛線與被切材料的點接觸。產生很大的切割力，切割效率和質量都有顯著提升。由于搖擺系統結構復雜，造價高且不易維修，至今不能完全替代傳統多線切割機。為此設計的線網擺動式多線切割機結構相對簡單，成本易控制，可靠性高，是理想的擺動式多線切割機。

1 線網擺動系統結構

圖1為線網擺動系統示意圖，擺動輪安裝在一對特制的交叉圓柱滾子轉盤軸承上，由電機和減速機帶動擺動輪發生擺動，羅拉安裝在擺動輪上，繞線后形成切割線網。工作時，擺動輪以±10°的擺幅發生擺動。帶動線網做出擺動切割的動作。

圖1 線網擺動系統示意圖

相較于傳統不擺動的多線切割機，線網擺動系統最大的改變就是切割箱體由前后兩側支撐改為單側支撐，其強度需要進一步驗證。……