業界要聞新產業態勢下，科天持續為中國半導體產業賦能

《電子工業專用設備》雜志社訊據統計，2017年全球半導體產業銷售收入首次沖破4000億美元大關，同比增長20.6%，而中國集成電路產業銷售額超過5400億元，同比增長24.8%，中國成為全球半導體產業增長最快的區域。

科天（KLA-Tencor）高級副總裁兼首席營銷官OresteDonzella

全球領先的半導體設備供應商科天（KLATencor）高級副總裁兼首席營銷官OresteDonzella指出，“這一榮景在未來幾年仍將持續，它的成長動力不再來源于單一的行業景氣循環，而是多個綜合成長動力所致。”在新一輪信息技術革命與產業變革背景下，移動設備、5G、物聯網、AI、汽車電子、數據中心等終端應用正大力驅動全球半導體產業快速增長。

這些廣泛的終端應用產品有一個共通點，那就是對數據的需求越來越大。而所有這些終端應用產品之所以能實現處理復雜而龐大的數據，是因為背后有各種傳感器、存儲器、處理器等半導體器件或芯片在支撐其數據應用。不過，應用端市場高速增長的態勢和中國本土企業的供給能力之間存在巨大的差距，尤其是芯片的生產制造環節。

根據2018中國集成電路產業發展研討會(CICD)的報告，2017年中國IC設計公司對晶圓代工需求達671億元，而中國本土晶圓代工廠提供給本土IC設計公司的產能按照產值僅滿足28.3%，中國本土晶圓代工缺口約481億元，且主要產品為16nm及以下主流工藝或者0.13～0.18μm的高性能模擬工藝。

近年來，中國也對整個行業作了戰略性投入，著力支持產業發展。OresteDonzella提到，“近幾年中國不僅僅擴建了一些邏輯晶圓廠，其他諸如存儲器、MEMS、功率器件等在各地都有成立新的項目，技術覆蓋率十分寬闊，廣度非常大。”不同的元件應用，芯片需要同時滿足各種元件性能、功耗、外形尺寸和成本的目標，它的生產過程是一個復雜而龐大的生產體系。

近兩年我國新興的產業化項目開始陸續投產，但在技術水平、生產良率、產業化規模和盈利能力等方面仍面臨許多挑戰。這時，如何做好制程控制變得尤為關鍵。制程控制主要包含缺陷檢測、量測和數據分析等工序，約占整體半導體設備市場的10%。它是各大半導體廠商建立競爭力的最重要因素之一，是幫助企業提升產能、可靠性、可預測性和利潤，減少開發時間、降低風險、快速切入市場及降低成本的的關鍵平臺。當前，世界上先進的半導體生產制程已走到7nm，2017年晶圓設備市場規模首次超過500億美元，制程控制的規模也首次超過50億美元。

科天表示，公司40余年來持續為客戶打造卓越的工藝制程控制及良率管理解決方案，在IC制造和封裝測試等全產業鏈都有相應技術和產品支持，且已建立了一個完整的生態體系。對于半導體工藝的發展，OresteDonzella認為，將呈現兩大趨勢，一是封裝工藝將變得越來越重要，不同的應用需要不同的封裝形式，技術成長將加快；二是隨著摩爾定律加速，芯片技術繼續發展需要封裝技術的提升，晶圓級封裝、系統級封裝將成為主流。近期，科天先后推出兩款全新缺陷檢測產品，旨在解決各類集成電路（IC）所面臨的封裝挑戰。KronosTM1080系統為先進封裝提供適合量產的、高靈敏度的晶圓檢測，為工藝控制和材料處置提供關鍵的信息。ICOSTMF160系統在晶圓切割后對封裝進行檢查，根據關鍵缺陷的類型進行準確快速的芯片分類，其中包括對側壁裂縫這一新缺陷類型（影響高端封裝良率）的檢測。

科天公司是半導體產業制程控制的領先者，也是創新產品更新迭代的推動者，更關鍵的是，科天正加速擁抱產業新趨勢。據OresteDonzella介紹，“在新興的終端應用和大數據的驅動下，科天已開始在制程控制方面引入機器學習，設備可通過大數據分析實現自動判斷是否有缺陷。譬如3DNAND存儲器已由過去的平面架構演進為立體架構，立體架構很難按照過去的光學量測方法來量測形貌和深度，有了機器學習后，它可借助以往的經驗和數據快速地計算出立體架構形貌，可以使檢測和量測更快、更準。”

憑借其龐大的數據資源與經驗，科天將進一步推動其資源和能力在中國半導體領域的更好應用與發揮。從科天公司的財報也可以看出，中國大陸是整個半導體領域成長最快的區域。公司2017年的中國訂單是2016年的3倍，2018年第二季度大陸地區的設備出貨量達32%，幾乎三分之一的出貨量在中國大陸。OresteDonzella表示：“預計2019年半導體產業增速將會放緩或是有小幅修正，但不會下滑過多，長遠來看前景仍是樂觀的。主要源于整體市場體量在可控范圍內增長，如生產DRAM的廠家，現在包括中國大陸的新廠商在內總共也只有3～5家，但在2025年前估計有 50家公司做DRAM。另一方面，各企業對產業資本投入也保持著非常謹慎的態度，整體保持在一個平穩的投資水平。中國是科天非常重視的市場，在產業新態勢下，公司將持續為中國半導體產業取得成功賦能。”