淺析電感耦合等離子體原子發射光譜儀最新進展

摘? 要：本文研究了近年來電感耦合等離子體原子發射光譜儀（ICP光譜儀）的發展情況，列舉了國內外主要儀器品牌最新機型的技術參數，從儀器各組成部件對比并總結了ICP光譜儀的最新進展，對其未來發展趨勢和市場前景做了展望。

關鍵詞：電感耦合等離子體原子發射光譜儀? 最新進展? 發展趨勢

Abstract： This paper studies the development of inductively coupled plasma atomic emission spectrometer （ICP spectrometer） in recent years， lists the technical parameters of the latest models of major instrument brands at home and abroad， compares and summarizes the latest progress of ICP spectrometer from various components of the instrument， and looks forward to its future development trend and market prospect.

Key Words： Inductively coupled plasma atomic emission spectrometer; Latest improvement; Developing trend

電感耦合等離子體原子發射光譜（ICP）分析方法因其檢出限低、精密度好、基體效應低、動態線性范圍寬、自吸效應低、可進行多元素測定的優點，是元素成分及含量分析的有效手段，可廣泛應用于冶金過程控制、原材料檢驗、材料制造、成品檢驗、資源回收、生物樣品、環保、食品、化工、地質等各領域的成分分析[1-3]。目前電感耦合等離子體原子發射光譜儀（ICP光譜儀）是技術最成熟、使用最廣泛、測試標準最多的商品化實驗室分析儀器之一[4]。

自1974年第一臺商品化儀器問世至今，陸續有國內外多家廠商推出不同型號的ICP光譜儀，隨著技術進步與應用需求的不斷擴展，ICP光譜儀在軟硬件方面性能有了全面的提升。本文總結并討論了近年來ICP光譜儀的最新進展及趨勢。

1? ICP光譜儀工作原理及分類

ICP光譜儀通過形成穩定的等離子體，激發待測元素的特征譜線，檢測不同譜線光強度得到對應的元素含量。待測物水溶液經霧化器形成氣溶膠，由載氣帶入等離子體，在高溫惰性氣體氣氛中蒸發、原子化、電離和激發，發出特征輻射，通過確定檢測到的特征輻射的波長及其相對強度，可對元素進行定性或定量分析[4-5]。儀器的激發源[6-7]、進樣系統、分光結構、檢測器及分析軟件等幾大部件都對整機性能具有重要影響。

依據分光結構，ICP光譜儀一般可分為多通道同時型、順序掃描型和全譜直讀型幾種類型[8-9]。多通道同時型ICP光譜儀分光系統基于羅蘭圓結構，具有多個波長通道同時進行單譜線檢測，傳統的多通道同時型光譜儀由于采用光電倍增管為單通道檢測器，測試譜線一般不超過20個，而且波長固定，難以滿足實際測試需求;直到線陣檢測器問世后，測試的譜線數目得以增加，但由于羅蘭圓結構特點，同樣分辨率需要更大焦距，導致系統體積龐大，目前在市場上占比很小。順序掃描型分光系統通過旋轉色散元件（通常為光柵）得到單波長譜線，光譜分辨率可以達到6pm，但分辨率和光譜范圍不可兼得，而且多條譜線需要逐個測試，樣品消耗量大、測試速度慢，通常在待測元素少而發射譜線復雜的情況下才有優勢。全譜直讀型ICP光譜儀一般采用中階梯光柵與棱鏡交叉色散的分光結構，能夠形成二維光譜圖像并通過面陣CCD、CID、CMOS等陣列式檢測器一次性讀取，它具有多元素同時、快速、直接測定的優點，同時具有較高的分辨率和很寬的波長應用范圍（紅外到遠紫外光區），測試速度快，覆蓋波長光，同樣分辨率指標下占用體積小，是目前中高端光譜分析儀器的主流趨勢。

2? ICP光譜儀器發展近況

經過近20年的快速發展，ICP光譜儀器已從國外廠商壟斷的高端光譜儀器發展為國內外競相研制的熱點產品，國內企業也開始逐步追趕并縮小技術差距。目前ICP光譜儀的主要進口制造商為美國Thermo Fisher、Agilent、Pekin Elmer、LEEMAN LABS、日本島津、德國SPECTRO、jena、Horiba JY等，其中Horiba JY主打機型為單通道順序掃描型，SPECTRO則是目前唯一采用羅蘭圓分光結構結合線陣探測器采集的ICP光譜儀制造商，其他的主打機型均為全譜直讀型;國內企業自20世紀90年代開始制造順序掃描型ICP光譜儀，產品相對落后、市場占有量低，自2013年鋼研納克、聚光科技、江蘇天瑞陸續推出國產全譜直讀型ICP光譜儀，隨著產品性能逐步提升，目前已打破高端ICP光譜儀器市場的進口壟斷，占有一定市場份額[10-11]。表1中列出了各廠商近年來推出的最新機型技術特點[12-21]：

從表1中可以發現，近年來國內外各廠商最新型ICP光譜儀各具特點，總結起來具有一些共同趨勢：

（1）ICP激發源已從電子管射頻技術轉變為以晶體管功率器件為基礎的全固態高頻發生器，結構小巧、頻率穩定，寬功率范圍連續可調，以實現高鹽、有機樣品及鉛、銻等重金屬元素的激發，自動調諧維持等離子體在不同進樣狀態下穩定運行。

（2）儀器配置適合不同樣品的多種進樣系統，如標配的石英炬管、霧化器，不同管徑的耐高鹽、有機進樣炬管霧化器，陶瓷中心管的耐氫氟酸炬管以及PEEK材質的霧室、霧化器等，配合高穩定性等離子體，可以方便實現更多種類樣品的檢測。

（3）雙向觀測模式與垂直炬管結合。雙向觀測模式可以有效擴展測試樣品的含量范圍，對于ICP炬焰激發的樣品特征輻射，在炬焰軸向方向上輻射中心位置集中且發散角小，而炬焰徑向方向上，各元素激發出特征輻射的中心區域不同，因此同樣集光效率的集光裝置得到的軸向觀測輻射比徑向觀測輻射密度大，光強度更高。采用軸向觀測方式比徑向觀測方式靈敏度更高，適用于簡單基體中微量痕量元素的檢測，徑向觀測模式的檢測含量范圍在微量到常量，但可適應更為復雜的基體。

早期儀器雙向觀測在水平炬管配置中也有應用，如Thermo Fisher iCAP6000/7000系列，在最新款iCAP Pro系列中也更換為垂直炬管設置，因為垂直炬管有利于減緩基體對進樣系統的污損速率、降低維護頻率。自2015年Agilent推出垂直炬管的雙向觀測ICP光譜儀后，更多新型號儀器廣泛采用垂直炬管的設計。SPECTRO采用獨特的MultiView結構，將負載線圈及炬管旋轉90°同樣實現軸向與徑向炬焰觀測。

（4）為減少光譜干擾、實現更多元素的準確檢測，ICP光譜儀的研制追求更優的光譜分辨率與更寬的波段范圍。中階梯光柵與棱鏡交叉色散分光系統由于中階梯光柵的高分辨率與寬譜段閃耀的優勢，結合面陣檢測器接收色散得到的二維光譜圖像，成為ICP光譜儀的主流分光系統結構。表1中iCAP Pro系列、Agilent5800/5900系列、Prodigy 7、ICPE-9820以及國產各型號ICP光譜儀機型均采用這種結構，分辨率都達到0.007nm（200nm），光譜范圍達到165～900nm以上。而高光譜分辨率和寬光譜范圍都意味著探測器需要更大感光面積與更多像素數，早期當探測器制造工藝不能滿足時，ICP光譜儀通常采用分波段采集的方式來實現，如iCAP6000/7000系列都采用短波波段（166～240nm）與長波波段（240～847nm）分別采集，同時增加短波段譜線積分曝光時間以提高靈敏度。

PQ9000采用中階梯光柵與棱鏡分級色散以進一步優化達到0.003nm的光譜分辨率，通過棱鏡掃描，配合高速線陣CCD檢測與數據處理系統可以在極短的時間內完成全波段譜線測試。

而單通道順序掃描型光譜儀Ultima系列采用1m焦距的高刻線密度平面光柵掃描分光，分辨率可達0.006nm，為增大光譜范圍、兼顧檢測K766.49nm與Al167.08nm等特征譜線，儀器采用了4320線/mm與2400線/mm兩光柵配合定制的紫外增強HDD高速動態探測器實現120～800nm的光譜范圍掃描。SPECTRO ARCOS采用了2塊3600線/mm與1塊1800線/mm凹面全息光柵配合分布在羅蘭圓上的32片線陣CCD檢測器實現全譜段130～770nm譜線的同時檢測。

（5）隨著探測器元件制造技術的突破，ICP光譜儀能夠采用更大面積的面陣探測器件，感光面積達到1平方英寸以上，如Prodigy7采用了28mm×28mmCMOS探測器、iCAP Pro系列采用24.576mm×24.576mmCID探測器件，單次曝光即實現全譜測量，性能更優于早期型號。除了感光面積，面陣CCD、CID、CMOS等探測器件在靈敏度、噪聲抑制等方面也有了更大提升，結合相機驅動采集和多級半導體制冷技術，完成高速降噪采集，保障ICP光譜儀提供最佳的測試性能。

（6）在配套應用軟件方面，越來越多儀器制造商開始打造智能專家系統而不是簡單操作儀器的工具。借助大數據與物聯網技術，軟件可以為操作者提供儀器狀態監控、故障診斷、方法開發、樣品前處理、數據分析等全套解決方案，促進ICP光譜儀更好地服務于各應用領域。綜上所述，ICP光譜儀在幾十年的發展中性能不斷提升，等離子體具有更好的穩定性、能夠適應更多種類樣品、激發更多元素的特征譜線、實現全波段譜線快速檢測、也更加集成化智能化。從表1中比較也可以發現，國產ICP儀器在一些性能指標上已接近或趕超進口同類產品，但由于發展起步晚，形成有競爭力的產品較少，品類相對單一，在儀器功能和方法開發方面以模仿跟從居多，仍有大量應用領域有待進一步開發。未來的分析儀器市場競爭和機遇同樣巨大，在不斷進行技術革新提升儀器性能、打造與進口產品相匹敵的通用ICP光譜儀的同時，結合實際分析需求研制專用型測試儀器、開展聯用等也是拓展應用領域、增加儀器競爭力的重要手段。

3? 結語

ICP光譜儀是廣泛應用在國民生產各領域的重要元素分析儀器，經過幾十年的發展在儀器各方面均有了長足進步。本文列舉了國內外ICP光譜儀器市場中最新機型的主要技術參數，從儀器各部件結構性能討論了近年來ICP光譜儀器的發展情況。目前，全方位提升儀器性能、不斷開拓新的應用領域、研發智能化集成化的高品質ICP光譜儀器是行業發展趨勢，也是國內儀器制造商亟待追趕的方向。

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