電子級TMAH的市場供需分析

魏建東

摘 要：TMAH即四甲基氫氧化銨，作為濕電子化學品中的顯影液，廣泛應用于半導體及半導體顯示領域，用于微細圖形的加工。隨著半導體及半導體顯示行業的快速發展，TAMH的需求大幅提高，為了分析TMAH的投資可行性，本文通過查閱大量文獻及實地走訪調研，研究TMAH的國內及目標市場華南地區的生產供應及市場需求情況，為制定TMAH的投資方向和投資戰略夯實基礎。

關鍵詞：TMAH;供需分析;半導體;半導體顯示

中圖分類號：TM63 文獻標識碼：A 文章編號：1671-2064（2020）02-0237-02

TMAH即四甲基氫氧化銨，無色透明溶液，分子式：（CH3）4NOH;分子量91.15，是一種具有優良腐蝕性能的各向異性腐蝕劑，選擇性好，無毒且不污染環境，主要有工業級和電子級兩大類，電子級TMAH在電子行業中廣泛用作TFT-LCD、IC正膠顯影劑，硅晶片蝕刻劑等，由于用于微細線路的制作[1]，為了保證產品的良率及質量要求，電子級TMAH有更為嚴格的質量控制指標，其金屬離子含量為ppb級別，顆粒>=0.5?m數不超過100個/ml，電子級TMAH的生產方法主要有氧化銀沉淀法、離子交換樹脂法、堿置換法、離子膜電解法和電滲析法[2]，或者是多種單一方法的組合等。

1國內電子級TMAH的供需分析

1.1電子級TMAH國內產能

國內TMAH的生產企業主要有杭州格林達化學有限公司、滄州信聯化工有限公司、無錫三開高純化工有限公司、鎮江潤晶高純化工有限公司。2018年，全國電子級TMAH產能為11.2萬噸（格林達5萬噸/年，滄州信聯3萬噸/年，無錫三開1萬噸/年，鎮江潤晶2.2萬噸/年），但較多產量應用于低端領域。

格林達為國內TMAH的龍頭企業，在杭州建都生產基地，并為了與BOE產線相呼應，計劃在合肥和鄂爾多斯新建相應生產及回收裝置，其工藝采用了一條比國際上所用生產技術更先進，更綠色的生產路線，所產的濕化學品（TMAH）在全球的占有率為25%、中國大陸90%，韓國35%，客戶主要有BOE、CSOT、天馬、三星電子、LGD、AUO等國內外知名面板企業。

格林達生產工藝的技術特點：

（1）純化技術（開發了過程控制提純技術，即原料提純，中間體提純，電解過程提純）;

（2）選定了特殊電解陽極（遠高于釕鈦電極的使用壽命）;

（3）特種離子交換膜的選用;

（4）高精度的過程濃度在線檢測控制技術;

（5）開發出適應電子元器件表面清洗、顯影、蝕刻用的獨特界面活性體系;

（6）開發出更為環境友好的碳酸鹽電解法的生產工藝方法。

1.2全國電子級TMAH需求

由于電子級TMAH主要用于面板及半導體行業，因此可以通過國內面板及12寸晶圓的產量及增長趨勢來推測電子級TMAH的需求量及發展趨勢。

1.2.1全國面板行業對TMAH的需求

隨著全球面板生產線加速向中國大陸轉移，國內外面板企業正積極布局在中國大陸的生產線，加上重大產業規劃和政策的扶持，中國顯示面板的產能逐漸增加，目前，中國已超過韓國成為全球最大的面板生產基地[3]。表1為全國現有面板產能。

全國在建及計劃建設的面板產線見表2。

未來在建及計劃建設的12英寸晶圓產線見表4。

根據公司對CSOT T1、T2的實地調研，并通過計算得知，每生產1平方米面板需要消耗0.26kgTMAH，從而計算知2018年我國現有面板企業對電子級TMAH的需求量約為2.03萬噸，若在建及規劃建設的面板線投產后，預測2020年全國（大陸）面板行業TMAH的需求量將達到3.64萬噸。

1.2.2全國半導體行業對電子級TMAH的需求量

TMAH在半導體晶圓生產過程中用作正型光刻膠的顯影液，目前主流的晶圓廠為8寸和12寸產線，雖然，2015年之后18寸晶圓廠有少量投產，但12寸晶圓廠仍是主要投產的目標。目前國內12寸晶圓廠有8座，產能為466千片/月，計劃和在建12寸晶圓廠有12座[4]，預計新增產能為635千片/月，預估2020年產能需求達到每月352萬片8寸晶圓約當量，其中12寸晶圓比重高達82%。

根據《2015年濕化學品行業分析報告》中得知國內12英寸半導體晶圓生產過程中顯影液的單耗量為22.56噸/萬片。

表3及表4知，我國12寸晶圓對TMAH的需求量約為3萬噸/年，其中未來需求1.7萬噸/年。

綜上所述，2018年全國面板行業及12英寸晶圓行業對電子級TMAH的需求量約為3.29萬噸，在建及規劃產線投產后，全國對電子級TMAH的需求量預計將達到6.6萬噸/年。

2華南地區電子級TMAH的供需結構

2.1華南地區電子級TMAH產能

目前華南地區沒有電子級TMAH的工業化生產。

2.2華南地區電子級TMAH需求量

2.2.1華南地區面板行業對TMAH的需求量

由表1及表2可知，位于華南地區的面板產線有13條，其對電子級TMAH的需求量為13803噸/年，其中已有產線的需求量為7796噸/年。

2.2.2華南地區半導體行業對TMAH的需求量

由表4可知，未來隨著晉華集成、聯電廈門、中芯國際和紫光等產線的投產，華南地區12英寸晶圓對TMAH的需求量將超過5000噸/年。

綜上所述，華南地區對電子級TMAH的需求量將達到1.88萬噸/年。

3結論

隨著半導體及半導體顯示行業的快速發展，電子化學品的需求市場快速擴大，其中濕電子化學品中顯影液TMAH作為中等技術含量的產品，已在國內建設了多條生產線，并實現了進口產品的替代，經過實地調研，發現國內整體TMAH產能已超過需求，但是高端領域供應不足，在高端領域仍有一定的替代空間，另外TMAH地域供求極度不平衡，作為TMAH需求量較高的華南地區暫無生產裝置，該地區有較大的市場缺口，僅從華南地區的市場供需分析，該區域存在投資機會，可以為進一步研究和制定投資戰略奠定基礎。

參考文獻

[1] 張為，姚素英，劉艷艷，等.四甲基氫氧化銨在MEMS中的應用[J].微電子學，2001（06）：422-424.

[2] 許小榮，范少文，董妍妍，等.四甲基氫氧化銨的制備及應用研究進展[J].化工進展，2011（S1）：295-297.

[3] 潘卓偉.平板顯示產業現狀分析[J].科技中國，2018，245（02）：74-78.

[4] 張倩.集成電路產業現狀分析[J].科技中國，2018，245（02）：79-83.