搶抓機(jī)遇 大力推進(jìn)我國MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化

王躍林

MEMS的最大優(yōu)勢是可以利用微電子技術(shù)將傳感器、執(zhí)行器和處理電路集成在一起構(gòu)成單片集成傳感器或系統(tǒng)，更可以實(shí)現(xiàn)傳感器芯片的大規(guī)模批量制造，已廣泛用于信息、汽車、消費(fèi)、工控等領(lǐng)域，并成為國際競爭的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。

今年以來，我國包括代工業(yè)務(wù)在內(nèi)的芯片產(chǎn)業(yè)面臨著前所未有的市場挑戰(zhàn)，同時也迎來了更大的發(fā)展機(jī)遇，傳感器作為信息感知的基礎(chǔ)芯片也是如此。面對可能存在的供應(yīng)鏈風(fēng)險，國內(nèi)企業(yè)開始著手構(gòu)建穩(wěn)定的國內(nèi)供應(yīng)鏈，改變傳感器受制于人的被動局面。

我們一定要抓住國產(chǎn)傳感器需求迫切的機(jī)遇，采取必要的措施，大力推進(jìn)我國MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展，提升傳感器芯片的自主創(chuàng)新能力。

MEMS傳感器具有個性化、

分散化特點(diǎn)

集成電路發(fā)展迅速的原因是標(biāo)準(zhǔn)化，晶體管是其核心，制造圍繞標(biāo)準(zhǔn)單元晶體管進(jìn)行，產(chǎn)品是即插即用的標(biāo)準(zhǔn)集成電路，技術(shù)發(fā)展可通過摩爾定律清晰預(yù)測。令人遺憾的是，MEMS傳感器的特點(diǎn)是個性化的：一是沒有像晶體管那樣功能強(qiáng)大的標(biāo)準(zhǔn)單元，制造呈現(xiàn)個性化;二是沒有像CPU和存儲器市場那么大的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，產(chǎn)品呈現(xiàn)個性化。因此，其發(fā)展速度遠(yuǎn)低于業(yè)界的預(yù)測。

盡管MEMS傳感器個性化特點(diǎn)影響了其發(fā)展速度，但卻有利于我國實(shí)現(xiàn)跨越發(fā)展。主要體現(xiàn)在兩方面：一是制造個性化還沒有形成通用制造流程，技術(shù)更新?lián)Q代緩慢，對工藝設(shè)備要求遠(yuǎn)低于集成電路的要求，有利于我國實(shí)現(xiàn)制造突破;二是產(chǎn)品個性化帶來的是細(xì)分市場，產(chǎn)品形態(tài)與客戶高度關(guān)聯(lián)，單一公司難以壟斷，有利于我國發(fā)揮本土優(yōu)勢實(shí)現(xiàn)應(yīng)用突破。……