光刻機打破ASML壟斷還要多久？

張依依

業界有種說法，“得芯片者得天下”，而光刻機對芯片制造工藝的進步至關重要。光刻機被譽為半導體工業皇冠上的明珠，其研發成本和制造難度巨大，高端的EUV光刻機更是光刻機中技術含量最高的設備。目前，全世界只有ASML（阿斯麥）一家廠商可生產EUV光刻機，EUV光刻機全球出貨量已達57臺。這種一家獨大的情況是否正常？其他廠商距離打破ASML高端光刻機的市場壟斷還有多遠的路要走？

ASML在高端光刻機市場

“一家獨大”

目前市場上主流的半導體光刻機供應商有荷蘭的ASML、日本的Nikon（尼康）和Canon（佳能），市場呈現“三分天下”的格局。賽迪智庫集成電路研究所相關人士告訴《中國電子報》記者，ASML在半導體高端光刻機市場一家獨大，且完全壟斷EuV光刻機的生產。相對而言，Nikon和Canon在半導體領域主要服務于中低端市場，先進制程遠落后于ASML，優勢僅在成本。

從全球范圍來看，相關數據顯示，2019年ASML、Nikon和Canon半導體用光刻機共出貨359臺。在半導體中低端市場，ASML占據34%的t-line光刻機市場份額，Nikon的市占率為18%，Canon則以4g%的份額在i-line光刻機市場占據領先。ASML在KrF光刻機出貨量上以65%的比例占據絕對優勢，Canon以34%的比例追隨其后，Nikon只占4%的KrF光刻機出貨量。

在半導體中高端市場，Canon已經“不見蹤影”，ASML則以絕對優勢“獨占鰲頭”，共出貨104臺ArF和ArFi光刻機，市占率分別為63Y0和88%，遠高于Nikon的37%和12%。

在EUV光刻機的生產上，一直以來只有ASML 一家公司能提供可供量產的EUV光刻機，因此ASML完全壟斷了EUV高端光刻機市場。ASML的“獨步天下”已眾所周知，但鮮為人知的是，在“戴上”EUV光刻機這頂“皇冠”之前，ASML也經歷了很多關鍵事件。……