宿澤達, 安躍軍, 安 輝, 唐志英, 孔祥玲, 畢德龍
1.沈陽工業大學 電氣工程學院,遼寧 沈陽 110870;2.中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 真空干泵事業部,遼寧 沈陽 110168)
真空技術與人們的生活息息相關,從食品包裝到航空航天均離不開真空技術[1]。隨著中美貿易戰的持續發酵,芯片產業的重要程度愈發凸顯。對于生產芯片所需的真空泵、真空泵驅動電機等真空獲得設備的性能要求也越來越高。
在工業生產中,為了保證真空泵的真空度,常將驅動電機機殼與真空泵腔體直接相連,當真空泵工作到穩定狀態時,腔體內部為真空狀態,電機機殼內部也為極限真空狀態。在此狀態下,電機轉子的熱量無法通過熱對流進行散熱,只能通過熱輻射和熱傳導來傳遞熱量,散熱效率較低,導致轉子難以散熱。大部分熱量傳遞至轉軸上的軸承內套,使內套溫度高,但外套溫度低,導致軸承塑性形變。不但產生振動和噪聲,而且發生熱膨脹導致軸承內部游隙過小,內部負荷過大,嚴重時會導致軸承磨損或抱死,威脅真空泵的穩定運行,因此真空泵用驅動電機需要盡可能減少轉子上的損耗,降低轉子溫度。
目前,真空泵使用的驅動電機主要為感應電機[2]和永磁同步電機(PMSM)[3]。而針對這一工程問題,已經有學者開始尋找新的電機拓撲結構并已進行了一系列相關的研究工作。文獻[4-6]分別以永磁輔助式同步磁阻電機、同步磁阻電機、開關磁阻電機作為真空泵驅動電機展開研究,研究分析了各電機各部分的損耗及其穩態運行時的溫度分布;文獻[7]采用拼裝式結構解決電機下線難的問題,并能在一定程度降低電機溫度;也有學者通過尋找更優冷卻方式來降低電機溫升來達到更好的散熱效果,比如文獻[8]采用不同水道對真空泵用屏蔽電機進行冷卻并對散熱效果進行分析。
本文根據實際真空泵驅動工況要求,采用有限元法設計并優化了1臺磁通切換永磁電機(FSPMSM),并設計了2臺與其相同功率等級、定子外徑、轉子內徑、轉速的轉子永磁型電機,一臺是表貼式永磁同步電機(SPMSM),另一臺是內置式永磁同步電機(IPMSM)。首先對3臺電機的電磁性能進行了對比分析,并得到電機各部分損耗,確定了系統內熱源激勵,然后建立了3臺電機的電機與機殼一體化三維模型,3臺電機采用相同的水冷結構,最后根據電機內部熱交換及相關傳熱學理論,確定溫度場邊界條件,假設理想工況,通過溫度場仿真得到電機內部的溫度及熱應力的分布情況,并對3臺電機的熱性能進行了對比與分析。
本文設計的FSPM采用12/10極結構[9],定、轉子均為雙凸極結構,定子齒間嵌入永磁體作勵磁用。同時,定轉子采用削角的方式來減小轉矩脈動和定轉子鐵耗[10]。FSPMSM作為定子永磁式電機,永磁體和繞組位于定子上,因此可通過機殼水冷方式有效控制電機的轉子和整體溫升[11],避免真空工況下轉子溫度過高導致轉軸抱死的情況發生,可以保證真空泵機組的耐用性和可靠性。
為了更好地驗證所設計的FSPMSM性能,同時設計了具有相同技術要求的SPMSM和IPMSM與之進行對比。圖1~圖3是3臺電機的二維拓撲結構。

圖1 FSPMSM拓撲結構

圖2 SPMSM拓撲結構

圖3 IPMSM拓撲結構
3臺電機定轉子采用同型號的硅鋼片疊壓而成,永磁體選用磁性能優異的N30UH。
3臺電機參數如表1所示。為了更好地對比電機性能,3臺電機技術要求相同。

表1 3臺電機參數表
永磁電機的空載氣隙磁密波形影響著電機的空載反電動勢和輸出轉矩。氣隙磁密波形的優劣直接影響電機的性能[12]。圖4為3臺電機的空載氣隙磁密波形對比圖。

圖4 3臺電機空載氣隙磁密波形對比圖
因為FSPMSM的氣隙磁密含有直流偏磁分量[13],所以導致正弦度與轉子永磁型電機相差較大。但是其峰值比2臺轉子永磁型電機更大,這是因為磁通切換定子永磁型電機采用了聚磁結構。
永磁電機的空載反電動勢是機電能量轉換的關鍵[14],圖5、圖6分別為3臺電機的空載反電動勢波形圖和反電動勢諧波分析圖。

圖5 3臺電機空載反電動勢波形圖

圖6 3臺電機空載反電動勢諧波分析圖
由圖6可知,3臺電機的空載反電動勢波形諧波幅值低,正弦度均較高。其中,磁通切換定子永磁型電機正弦度高是由于12/10極結構的FSPMSM具有繞組一致性和繞組互補性[15],可以減少或抵消永磁磁鏈和反電動勢波形中的高次諧波分量。
電機運行時的損耗是計算溫度場時的熱源,需要準確計算。對3臺電機額定運行時的損耗進行計算,可知主要損耗為定子繞組銅耗、定轉子鐵心損耗、永磁體損耗。圖7為3臺電機的損耗對比圖。

圖7 3臺電機損耗對比圖
由圖7可知,FSPMSM轉子上的總損耗比其他2臺轉子永磁型電機的轉子總損耗小,說明FSPMSM比轉子型永磁電機轉子總損耗有下降,證明本文設計思想具有可行性。從圖7還可知,與2臺轉子永磁型電機相比,FSPMSM的定子鐵耗更低,這是由于本文設計的磁通切換定子永磁型電機將永磁體嵌入定子中,并采用了定轉子削角結構,使得FSPMSM定子體積比2臺轉子永磁型電機小,定子約為2臺轉子永磁型電機定子的89%。因此,產生的鐵耗相對較少。另外,對比3臺電機的總損耗可以發現,FSPMSM的總損耗并不是最小的,一部分原因是其永磁體的渦流損耗要明顯比2臺轉子永磁型電機的渦流損耗大。這是由于轉子永磁型電機的永磁體是以同步速度隨轉子進行旋轉,與旋轉磁場基波不存在切割,只有高次諧波對永磁體有相對運動,會在永磁體上產生渦流損耗,但是高次諧波比基波含量小很多,因此產生的渦流損耗也很小。而FSPMSM的永磁體位于定子上,除了高次諧波會切割永磁體產生渦流損耗外,基波也會切割永磁體,產生渦流損耗,因此,相比之下,FSPMSM的永磁體損耗更大。
真空泵用驅動電機溫度場熱傳導、熱對流、熱輻射問題可以描述為[16]

(1)
式中:Kx、Ky、Kz分別為電機各介質x、y、z方向的導熱系數;T為物體溫度;q為熱源密度;c為比熱容;γ為密度;τ為時間;K為S1和S2面法向導熱系數;S1為電動機絕熱邊界面;S2為電機的散熱邊界面;α為S2面的散熱系數;Te為S2周圍介質的溫度是時間函數;Qi-j是由平面i到平面j傳遞的熱量;Ai是平面i的面積;Fij為2個平面的角系數;ε是平面的總發射率;Ti、Tj分別為2個平面的溫度。
為了簡化計算過程,溫度場模型的邊界條件設置如下:定轉子內各部件間為熱傳導邊界,機殼表面無空氣對流,設為自然散熱面邊界,溫度場仿真的環境溫度為25 ℃。
本文所研究的4.5 kW真空泵用驅動電機冷卻方式采用水冷設計,即沿機殼圓周方向設置螺旋水道。該冷卻方式屬于管道內強制對流傳熱,將水冷系統的傳熱能力等效成水道傳熱系數,并假設水道內表面光滑,無摩擦阻力。根據傳熱學原理[17]:

(2)
式中:Nu為努塞爾數;Re為雷諾數;Pr為普朗特數;h為水道傳熱系數;l為水道直徑;λ為流體熱導;v為運動黏度;a為熱擴散率;ρ為流體密度;cp為比熱容。
采用ANSYS Workbench進行三維溫度場的計算仿真,在SolidWorks中繪制電機、機殼與水道,然后裝配成完整的三維電機模型。FSPMSM三維模型如圖8所示。

圖8 FSPMSM三維模型
本文研究的真空泵用驅動電機通過在定子繞組中澆筑環氧樹脂來進行密封,以保證真空泵運行環境內的真空性和無泄漏性。將畫好的三維電機模型導入Workbench中,電機各部分損耗與其體積之比作為溫度場仿真中的熱源賦給溫度場計算模型,計算得到電機溫度分布[18-19]。圖9、圖10分別為SPMSM、IPMSM和FSPMSM的轉子與軸承溫度分布圖。

圖9 3臺電機轉子溫度分布圖

圖10 3臺電機軸承溫度分布圖
3臺電機轉子、軸承最高溫度如圖11所示。

圖11 3臺電機轉子、軸承最高溫度對比圖
從仿真結果可以發現,FSPMSM的轉子鐵心最高溫度和軸承最高溫度比轉子永磁型電機低,原因是FSPMSM轉子上的總損耗比另外2臺轉子永磁型電機轉子上的總損耗低。在相同冷卻條件下,FSPMSM的轉子鐵心產生的熱量更少。在真空泵長時間運行工況中,FSPMSM轉子的溫升更小,運行更安全。
當電機內各部件受溫度影響時會產生熱形變,而且各部件的形變量與溫度變化量成正比。當溫度變化較大時,各部件會產生較大的熱形變,可能在電機的薄弱部位發生結構問題[20]。
根據熱應力理論,通過將彈性力學中的胡克定律推廣到熱應力問題上,得到物體熱應力的數學表達式[21]:

(3)
式中:εx、εy、εz為x、y、z方向上的應變;E為物體的彈性模量;σx、σy、σz為x、y、z方向上的正應力;μ為泊松比;β為線性膨脹系數。
針對軸承內套溫升高,易磨損的問題,對轉軸上軸承的熱形變進行了仿真分析,將溫度場的仿真結果作為熱應力場的載荷代入熱應力場進行仿真[22-23]。由于本文關注的是轉軸上軸承的熱形變,將研究重點為轉軸上軸承部分的熱應力場分布。圖12、圖13所示分別為采用3臺電機的轉軸與軸承的熱形變圖和熱應力圖。表2為3臺電機軸承內套、外套、滾珠的最大熱形變和熱應力對比表。

圖12 3臺電機軸承熱形變分布對比圖

圖13 3臺電機軸承熱應力分布對比圖

表2 3臺電機熱形變與熱應力對比表
通過仿真結果可以發現,3臺電機的軸承內套形變量均大于軸承外套,并且,與轉子永磁型電機相比,FSPM的熱形變、熱應力更小,在真空泵驅動電機額定運行工況下,使出現軸承抱死的危險情況得以降低。
FSPM在真空泵用驅動電機領域具有良好的發展空間和巨大潛力。本文通過多物理場仿真的方法,采用有限元軟件對所設計的FSPMSM、SPMSM、IPMSM的電磁場、溫度場以及熱應力場進行了仿真計算與對比分析,得出以下主要結論:
(1) 通過對比3臺電機的電磁場和溫度場仿真結果可知,FSPMSM比轉子永磁型電機轉子溫升更低,比同功率等級的SPMSM低了6.41 ℃,即11.18%;比IPMSM低了15.67 ℃,即23.50%。仿真結果驗證了采用FSPMSM可以解決真空泵驅動環境下轉子溫升高,散熱難的問題。
(2) 通過3臺電機熱應力場對比,可以發現FSPMSM的熱形變比轉子永磁型電機電機更小,比同功率等級的SPMSM低了1.83×10-4mm,即19.7%;比IPMSM低了4.97×10-4mm,即40%。仿真結果驗證了采用FSPM作為真空泵驅動電機,軸承的熱形變更小,減少了軸承抱死的風險。