鎖定“鉬”標 砥礪前行
——“高性能觸控顯示屏用鉬鈮合金靶材的技術研究及產品開發”項目簡介

濺射靶材是平板顯示、新能源及光伏行業不可或缺的重要基材，市場需求量大。為了有效拓展市場，金堆城鉬業股份有限公司(以下簡稱“金鉬股份”)成立鉬鈮合金靶材科研項目團隊。經過兩年的不懈努力，攻克了大規格鉬鈮合金靶材制粉、燒結、加工等關鍵工藝難題，掌握了大尺寸靶材的核心制備技術。

該項目小組在小規格鉬鈮靶材的基礎上展開了大規格鉬鈮合金平面靶材、管狀靶材的開發。項目組成員通過原料的純化解決了鉬鈮合金應用面板行業的第1個“卡脖子”問題——高純；通過特殊熱處理解決了作為阻擋層的鉬鈮合金能否有效發揮耐濕性的第2個關鍵問題——均質；通過工藝標準化控制解決了鉬鈮合金能否成功應用于面板行業的問題——大尺寸。

在解決原料的純化問題時，項目組決定采用高純CO進行提純試驗。大家連續奮戰了一個星期，收獲了不同組分的碳化物，通過一步一步追根溯源的探索實驗，最終獲得了提純原料的方法。

2021年開始，項目組利用實驗室設備，承接了用戶管狀靶材的訂單，并在約定的周期內順利交付。鉬鈮靶材認證順利通過，產品各項指標達到客戶最優標準。

目前，金鉬股份技術中心制備的鉬鈮合金管靶已經通過國內知名半導體及面板企業——映日科技股份有限公司的客戶認證，正進行連續訂單的生產。8.5代線大尺寸鉬鈮合金條靶也正在和客戶接洽。