拳拳報國心　創新永不止

宦菁

歷經7年時間，田新帶領鑫華半導體不斷攻堅克難，突破技術重圍，不僅填補國內半導體級原材料制造的空白，還讓鑫華半導體躋身行業前列，成為全球半導體材料產業鏈的重要組成部分。

2019年5月，裝載著集成電路用高純度硅料的貨船緩緩駛出港口，駛向韓國。當日，江蘇鑫華半導體科技股份有限公司（下文簡稱鑫華半導體）總經理、協鑫集團中央研究院副院長田新雖如往常一般忙碌在研發的崗位上，但思緒卻禁不住地翻涌奔騰。1年多的時間、317次生產試驗、629項技術和設備的優化改進，憑借著70%的國產設備，鑫華半導體終于系統性解決了集成電路用高純度硅料雜質釋放這一業界難題，生產的集成電路用高純度硅料通過一系列嚴格的驗證、檢測，實現了小批量出口。

從數量上看，這批高純度硅料的出口似乎并不出奇，但對于在集成電路領域長期處于“卡脖子”狀態的國內半導體材料行業而言，鑫華半導體的這次出口有著劃時代的意義——不僅突破了原料端徹底祛除和雜質控制這一技術，還在全球首創自動化無接觸的硅料處理系統，成為我國首家向國際市場出口集成電路用高純度多晶硅的制造企業，標志著我國電子級多晶硅突破海外多年技術封鎖，填補了國家集成電路產業的一項空白。

通過多年研發和產業化攻關，如今的鑫華半導體擁有5000噸/年的電子級多晶硅生產線，已經成為國內唯一一家產品質量和產業規模達到全球一流水平的電子級多晶硅材料供應商，完成了中國60多年來在此領域未曾實現的突破和超越。

使命立身

時間拉回到6年前，2015年12月，協鑫集團旗下的江蘇中能硅業科技發展有限公司和國家集成電路產業投資基金共同投資設立了鑫華半導體。也是從那時起，一直在多晶硅及相關技術領域深耕的清華大學領軍創新工程博士、高級工程師田新，肩負起帶領鑫華半導體研發團隊的責任，向著實現科創突破的目標進發。

“鑫華半導體的成立是帶著使命的，就是為了解決中國集成電路原材料電子級多晶硅完全依賴進口、受制于人的局面。”田新說。當時，電子級多晶硅材料的技術完全掌握在德國、日本等國家手中，國內在該領域的研究幾乎是一片空白。等不到，也要不到，田新和研發團隊面對的，是幾近于空白的技術領域。

從零開始，在我國電子級多晶硅理論研究和產業化經驗極度缺乏的基礎上，懷揣科創報國的使命，田新帶領團隊通過自主研發并積極調動和引入智能制造、先進材料等相關領域的成果，主導研究開發了三氯氫硅超痕量雜質提純技術、高效化學氣相沉積工藝和無接觸一體化智能后處理系統等，解決了長期困擾我國高純多晶硅領域的“卡脖子”技術難題，實現了對國外老牌企業的“彎道超車”。

敢為人先

作為國內多晶硅材料研發、生產的龍頭，協鑫在該領域已有近十年的積累。站在協鑫GCL法多晶硅超大規模清潔生產技術的基礎上，立足自身核心技術體系，田新帶領團隊對國外現有的先進技術去蕪存菁，歷經3年多時間的技術整合和研發攻關，自主構造出“精餾提純—氣相沉積—副產物循環利用—產品自動化處理”的閉路循環體系。在這個過程中，團隊完成了超過600項的核心技術和設備的改進、創新，最終形成了具有完全自主知識產權的電子級多晶硅生產工藝，在技術層面不再受制于人，水平比肩國際領軍企業。

生產工藝實現突破，但大規模生產線依舊是擺在田新與團隊面前的一大難題。沒有設備，鑫華半導體便在引進國外先進技術理念和半導體行業制造標準的基礎上，聯合眾多國內設備廠家共同開發。憑著一股不服輸的勁頭，團隊與設備廠家不僅開發出潔凈設備、潔凈材料，讓整個項目的設備國產化率超過70%，還不斷改良工藝技術，掌握了多項核心技術，實現了國內相關設備從無到有，創造了多個行業“首次”。

在此基礎上，田新帶領鑫華半導體率先在國內建成了首條世界水平的5000噸/年電子多晶硅生產線。這不僅是電子級多晶硅大規模產業化在國內的首次亮相，更是痕量雜質提純、高等級潔凈控制、全流程在線質量監控等長期困擾我國高純電子級多晶硅量產關鍵難題的跨越和突破。鑫華半導體生產的電子多晶硅產品的高純特性達到了目前工業提純能實現的最高水平，成為國內高端電子級多晶硅的標桿，并實現6英寸到12英寸硅晶圓的全覆蓋。

人才推動

奮斗不息，創新不止。踐行協鑫集團“創新、創業、爭先、領先”精神的鑫華半導體，沖鋒在科技創新最前沿，致力于泛半導體材料的開發工作，在電子級多晶硅、硅基電子特氣、第三代半導體材料、新能源材料、特種陶瓷材料領域開展了眾多創新工作，取得了積極進展。“團隊骨干技術人員來自集成電路與工程、化學工程與工藝、應用化學、材料學、過程裝備與控制等領域，大多具備10年以上的行業經驗，形成了一支結構合理、相對穩定、高效精干且具備國際化研究視野和技術創新水平的研究創新團隊?！睋镄陆榻B，團隊目前擁有博士2人、碩士15人，江蘇省“雙創人才”1人、省“333高層次”人才1人及省緊缺人才多人。

作為技術和工藝的總負責人，田新不僅發表多篇專業性論文，擁有11項電子級多晶硅相關發明專利，獲得江蘇省智能制造專家、中國IC發展優秀青年科學家、徐州市杰出科創企業家等榮譽稱號，還始終不忘肩負“科創報國”的使命，組織和帶領團隊多次承擔國家級、省級高精尖縱向課題的研究，實現了多個技術領域的突破。

歷經7年時間，田新帶領鑫華半導體不斷攻堅克難，突破技術重圍，不僅填補國內半導體級原材料制造的空白，成為助推半導體產業鏈國產化的重要力量，還讓鑫華半導體躋身行業前列，成為全球半導體材料產業鏈的重要組成部分。

《青商》：您認為鑫華半導體能夠在電子級多晶硅技術領域異軍突起，源自于哪些核心競爭力？

田新：我想用四點總結一下——

第一是機遇。在全球新一輪經濟和國家“強芯”戰略的重大機遇下，鑫華半導體能夠依托協鑫集團自身的硅材料人才、技術、研發、制造等領域的核心優勢，集中力量辦大事。

第二是人才。在協鑫，人才是最寶貴的財富，對我們鑫華半導體來說更是如此，人才是企業發展不斷向前的動力。

第三是自信。人民有信仰、國家有力量。這種發自內心、深入骨子里的文化自信，讓我們有了“不達目標不罷休”的決心，激勵著我們奮進。

第四是責任。正是責任感，讓鑫華半導體勇擔“國家使命”，以振興民族產業為己任，承擔了多項國家級課題，成功突破海外多年技術封鎖，填補國內半導體級原材料的空白。

《青商》：當您和團隊在攻克技術難關時，如果久久不能成功，您的心態如何？

田新：要正確面對科研中的失敗，要有一種把科研中的失敗當作“樂趣”的心態。當攻克技術細節不順利或遇到意想不到的問題時，往往是機會來臨的時候。

《青商》：是什么支撐您和團隊一直在技術領域堅持深耕？緣何能有穩如泰山的定力？

田新：我想用一句話概括——讓打勝仗成為信仰，沒有退路就是勝利之路。

《青商》：您如何理解工匠精神？

田新：我認為工匠精神不僅意味著內心篤定且精于細節的執著，更是幾十年如一日的堅持與韌性。一個充滿活力的創新企業離不開天馬行空的“才氣”，也需要腳踏實地的“匠氣”。從制造業大國向制造業強國轉變的過程，需要成千上萬優秀的產業工人來提升國際競爭力。弘揚工匠精神正是契合了這一時代需求。

《青商》：您如何理解“科創報國”這四個字？或者說您覺得科創報國的關鍵是什么？

田新：科創報國背后真正的含義是實現中華民族偉大復興夢?？萍际菄覐娛⒅?，創新是民族進步之魂。“科技協鑫、數字協鑫、綠色協鑫”，科技為什么被放在首位？我們始終將科技創新工作視為第一生產力，堅持將大量資金投入科技研究。企業要壯大，國家要強盛，核心技術是“命門”。這是要不來、買不來、討不來的，靠的只能是自己！