微電子工廠涉及的呼吸防護(hù)用品的標(biāo)準(zhǔn)

朱震宇　楊一　王振　何基康

摘 要：從事芯片生產(chǎn)的微電子工廠，常使用多種危險化學(xué)品，并有使用以上危險物質(zhì)的工藝操作，涉及到呼吸防護(hù)用品的合適選擇和正確使用。另外，存在對呼吸防護(hù)用品的配置和管理的相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)和法律法規(guī)制度。在微電子工廠安全管理中必須合法、正確、有效地選型和使用呼吸防護(hù)用品。本文從4個方面歸納相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中重要條款，供呼吸防護(hù)用品選型和使用時比較參考。

關(guān)鍵詞：呼吸防護(hù)用品，標(biāo)準(zhǔn)，微電子工廠

DOI編碼：10.3969/j.issn.1002-5944.2023.16.013

0 引言

從事芯片生產(chǎn)的微電子工廠，會使用較多種類的危險化學(xué)品，包括有毒有害特種氣體和窒息性氣體，也有使用以上危險物質(zhì)的工藝操作，會涉及到呼吸防護(hù)用品的適用選擇和正確使用。另外，涉及建設(shè)項目的安全評價和職業(yè)衛(wèi)生評價，環(huán)境安全和職業(yè)健康體系審核，安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化評審，政府應(yīng)急管理部門針對危險化學(xué)品倉庫的消防和安全檢查，都會對呼吸防護(hù)用品的配置和管理有相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)和法律法規(guī)制度要求。本文研究了40多份涉及到呼吸防護(hù)用品配置、使用、生產(chǎn)技術(shù)相關(guān)的國內(nèi)現(xiàn)行有效的標(biāo)準(zhǔn)，對其中重要條款進(jìn)行歸納對比，供在微電子工廠生產(chǎn)安全管理工作中合法、正確、有效地選型及使用呼吸防護(hù)用品提供參考。

1 呼吸防護(hù)用品分類和涉及標(biāo)準(zhǔn)說明

呼吸防護(hù)用品按防護(hù)原理分類，分過濾式和隔絕式2類。按供氣原理和供氣方式分類，分為自吸式、自給式、動力送風(fēng)式3類。按防護(hù)部位及氣源與呼吸器官的連接方式分類，分為口罩式、口具式、面具式3類。按人員吸氣環(huán)境分類，分為正壓式、負(fù)壓式2類。按氣源攜帶方式分類，分為攜氣式和長管式2類。按呼出氣體是否排放到外界分類，分為閉路式、開路式2類。

涉及微電子工廠呼吸防護(hù)用品有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，大致分為3類，第1類是關(guān)于微電子廠有毒有害工藝操作、有毒有害物質(zhì)庫房儲存、微電子廠使用到的有毒有害物質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，這些標(biāo)準(zhǔn)中有一些個體防護(hù)配備要求的說明條款。第2類是有關(guān)綜合性應(yīng)急救援物資配備、個體防護(hù)裝備配置規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)[1]，第3類是具體各類呼吸防護(hù)用品的標(biāo)準(zhǔn)[2- 4]。以上標(biāo)準(zhǔn)包括國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

不僅呼吸防護(hù)用品分類有很多種，有關(guān)生產(chǎn)作業(yè)現(xiàn)場應(yīng)急物資配備選用和個人防護(hù)裝備配備的標(biāo)準(zhǔn)也有多種，而且國內(nèi)外呼吸防護(hù)用品生產(chǎn)商在技術(shù)資料中給出的規(guī)格等級劃分也各有差異，有必要對相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行梳理歸納，以利于在微電子工廠的生產(chǎn)安全管理工作中合法、正確、有效地選型及使用呼吸防護(hù)用品，保障員工的安全健康和應(yīng)急救援需求，并滿足相關(guān)管理體系和各方面的管理規(guī)定。另外，對員工進(jìn)行安全和職業(yè)衛(wèi)生教育培訓(xùn)時，也可以引用相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)條款，作為培訓(xùn)課件內(nèi)容。

2 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中重要條款歸納比較

本文作者多年從事職業(yè)健康安全體系和環(huán)境管理體系（EHS體系）工作，參與過多項微電子廠房建設(shè)，參與過多項新建及改擴(kuò)建建設(shè)項目的環(huán)評、安評和衛(wèi)評，在歷年工作中積累較多涉及到呼吸防護(hù)用品的國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)從以下4個方面歸納相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中重要條款，供呼吸防護(hù)用品選型和使用時比較參考。

第一方面，涉及庫房儲存，有毒有害工藝操作，有毒有害物質(zhì)，高毒作業(yè)崗位職業(yè)病危害等標(biāo)準(zhǔn)，歸納了標(biāo)準(zhǔn)中要求的呼吸防護(hù)用品配置要求條款。如表1所示。

第二方面，涉及應(yīng)急物資配置，個體防護(hù)裝備配置，消防物資配置有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，歸納了標(biāo)準(zhǔn)中要求的呼吸防護(hù)用品配置要求條款，重點是相關(guān)要求的匯總表格。如表2所示。

第三方面，涉及具體種類的呼吸防護(hù)用品國家標(biāo)準(zhǔn)，歸納了一些需要重點關(guān)注的技術(shù)說明條款，主要涉及氣瓶貯氣量，供氣時間，過濾件的標(biāo)色及防護(hù)時間，標(biāo)記組成說明。如表3所示。

第四方面，歸納了呼吸防護(hù)用品的儲存、檢查、使用、報廢等管理要求有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)條款。如表4所示。

3 其它注意事項

微電子企業(yè)產(chǎn)品、技術(shù)、設(shè)備有差異，使用的有毒有害化學(xué)品和原材料有差異，廠房和動力保障設(shè)施有差異，員工數(shù)量和受教育程度有差異，應(yīng)根據(jù)實際需要，并仔細(xì)閱讀理解廠家的技術(shù)資料，考慮具體作業(yè)環(huán)境的毒害等級，留有安全余量，合理選擇呼吸防護(hù)用品和應(yīng)急救援所需要個體防護(hù)裝備，使用前應(yīng)仔細(xì)閱讀使用說明書，按規(guī)范操作。

另外有一些注意事項。

（1）自吸式過濾元件（過濾盒）一定要與防護(hù)氣體類型相匹配。注意過濾元件是有使用壽命的，優(yōu)先選擇有壽命（失效）指示器的過濾元件。過濾元件的更換計劃應(yīng)由專業(yè)人員來制定實施。

（2）使用自吸式過濾器具時，不要在包含未知種類或濃度不明的毒氣及蒸氣的空氣中使用。不要在立即對人的生命和健康產(chǎn)生危險的空氣中使用。

（3）正壓式呼吸器，平時就要試用，保證使用人員的臉型與面罩匹配。當(dāng)面部胡須毛發(fā)或其它情形影響面部與呼吸器密封墊之間密合時，不得使用過濾式呼吸器具。每次使用時都要進(jìn)行氣密性檢查。如果使用可重復(fù)填充氣瓶，配在呼吸器具上的氣瓶要保持在充滿可用狀態(tài)。

（4）應(yīng)經(jīng)常訓(xùn)練，保證使用人能夠熟練使用相關(guān)器具。

（5）呼吸防護(hù)用品的配置數(shù)量，可以對照相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)的要求配置。

（6）不同類型的呼吸防護(hù)用品，價格差異很大，使用有效期不同，可根據(jù)需要合理選擇。

（7）有些防護(hù)服是正壓通風(fēng)氣衣，配全長管供應(yīng)潔凈呼吸空氣，也可起到呼吸防護(hù)器具的功能。

（8）針對有毒有害氣體氣瓶意外泄漏，可以配置應(yīng)急救援容器，用于危險氣體泄漏鋼瓶的緊急處理，泄漏鋼瓶可以安全放置于應(yīng)急救援容器內(nèi)（一般適用于充裝壓力不超過163 MPa、容積不超過50L的毒性、腐蝕性類等氣體鋼瓶），便于轉(zhuǎn)移至安全區(qū)域或原廠，待妥善后續(xù)處理。這種處置方式可以防止事故發(fā)生場所有毒有害氣體濃度繼續(xù)上升，防止事故擴(kuò)大。

參考文獻(xiàn)

[1]張希文，劉琳，呂歡，等.解讀GB39800.2-2020《個體防護(hù)裝備配備規(guī)范 第2部分：石油、化工、天然氣》標(biāo)準(zhǔn)[J]. 中國個體防護(hù)裝備，2021（5）：34-37.

[2]中國標(biāo)準(zhǔn)出版社.個體防護(hù)裝備標(biāo)準(zhǔn)匯編（上）（第3版）[M].北京：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社，2021.

[3]中國標(biāo)準(zhǔn)出版社.個體防護(hù)裝備標(biāo)準(zhǔn)匯編（中）（第3版）[M].北京：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社，2021.

[4]中國標(biāo)準(zhǔn)出版社.個體防護(hù)裝備標(biāo)準(zhǔn)匯編（下）（第3版）[M].北京：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社，2021.

作者簡介

朱震宇，通信作者，碩士，高級工程師，注冊安全工程師，研究方向為微電子廠房建設(shè)、設(shè)備儀表安全管理。

楊一，碩士，注冊安全工程師，研究方向為職業(yè)健康安全管理體系和環(huán)境管理體系。

王振，碩士，注冊安全工程師，安評師，研究方向為安全評價。

何基康，本科，研究方向為微電子廠房消防管理和應(yīng)急救援。

（責(zé)任編輯：張佩玉）