世界無(wú)二的ASML是怎么煉成的？

最近，從海外傳來(lái)了一則壞消息。荷蘭、日本和美國(guó)達(dá)成了新的協(xié)議，要向中國(guó)限制出口先進(jìn)芯片制造設(shè)備，說(shuō)白了，就是光刻機(jī)。拜登甚至親自會(huì)見(jiàn)日本、荷蘭領(lǐng)導(dǎo)人，討論了相關(guān)措施。

而就在短短半個(gè)月前，事情還不是這樣。1月15日，荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣施賴納馬赫爾表示，荷蘭不會(huì)草率接受美國(guó)對(duì)向中國(guó)出口芯片制造技術(shù)實(shí)施的新限制。現(xiàn)在比起幾年前，情況可能對(duì)我們更不利了。1月30日，中國(guó)外交部長(zhǎng)秦剛同荷蘭副首相兼外交大臣胡克斯特拉通電話，就雙邊關(guān)系等問(wèn)題深入交換了意見(jiàn)。

繼去年的《芯片法案》之后，美國(guó)變本加厲，鼓動(dòng)其盟友一起限制中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。這次將被卷入其中的企業(yè)包括阿斯麥（ASML）、尼康、東京電子等。雖然這份協(xié)議的詳細(xì)內(nèi)容尚未公布，但根據(jù)業(yè)內(nèi)人士了解，禁售范圍可能涉及EUV光刻機(jī)和最新一代DUV光刻機(jī)，而普通DUV大概率不在禁售名單。也就是說(shuō)，我們要被卡脖子的是最先進(jìn)制程（比如5納米、7納米）的光刻機(jī)。因?yàn)楹商m和日本企業(yè)壟斷了全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)。從華為、中興事件至今，過(guò)去5年（是的已經(jīng)5年了），很多人談到光刻機(jī)，都是群情激昂，然后一聲嘆息。這家叫阿斯麥的荷蘭企業(yè)，壟斷了全世界最先進(jìn)制程芯片的全部EUV光刻機(jī)市場(chǎng)，也就是高端里的高端。很多人旗艦機(jī)里的5納米、4納米制程芯片，只能用阿斯麥的EUV（極紫外）光刻機(jī)來(lái)做，連日本人也做不了。

有人說(shuō)EUV光刻機(jī)就是“工業(yè)皇冠上的明珠”。一臺(tái)先進(jìn)制程光刻機(jī)，可以賣到3～4億美金，比一架波音飛機(jī)都貴。它的重量可以達(dá)到180噸，零件超過(guò)45萬(wàn)個(gè)。運(yùn)輸一臺(tái)光刻機(jī)，需要使用40多個(gè)恒溫恒濕專用箱、專業(yè)防震氣墊車來(lái)運(yùn)輸，以及4架次的波音747貨機(jī)。雖然這樣的產(chǎn)品已經(jīng)登峰造極，但是阿斯麥這家公司一點(diǎn)也不高大上，當(dāng)我看完它的故事以后，我反而對(duì)我們更有信心。

今天我們先不討論中國(guó)光刻機(jī)研發(fā)的進(jìn)度，我們來(lái)看看荷蘭人當(dāng)年到底是怎么做成的。

阿斯麥不該是一家被捧上神壇的企業(yè)。相反，阿斯麥的成長(zhǎng)過(guò)程更像是一部創(chuàng)業(yè)爽劇：一家瀕臨倒閉的創(chuàng)業(yè)公司，是怎么從一個(gè)草臺(tái)班子開(kāi)始，九死一生，打敗所有巨人，然后登頂?shù)墓适隆Ｎ覀兦皫啄昕吹降闹袊?guó)創(chuàng)業(yè)者熱血故事元素，阿斯麥一樣都不缺。但看完它的故事，我也很矛盾，感到有些沮喪。以史為鑒，中國(guó)人完全有可能做出像阿斯麥一樣的企業(yè)。而有一些能卡住光刻機(jī)脖子的問(wèn)題，不是阿斯麥能夠解決的，也就不一定是中國(guó)人短時(shí)間能靠自己來(lái)解決的。

篳路藍(lán)縷

1952年，美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室迎來(lái)了一批特殊的客人。他們是來(lái)公開(kāi)“抄作業(yè)”的。在這里舉辦的一場(chǎng)晶體管技術(shù)研討會(huì)上，貝爾實(shí)驗(yàn)室同25家美國(guó)公司、10家外國(guó)公司分享了所有晶體管技術(shù)，收取專利授權(quán)費(fèi)25000美元。當(dāng)時(shí)參會(huì)的有一家小公司，叫飛利浦物理實(shí)驗(yàn)室，英文是Natlab（簡(jiǎn)稱“N公司”），這就是光刻巨人阿斯麥的前身。50年代，他們利用晶體管技術(shù)推出了各種元件，取得了巨大的商業(yè)成功。60年代初，N公司的一位研發(fā)分部主任去美國(guó)出差，帶回來(lái)一枚美國(guó)人做的芯片。

荷蘭人意識(shí)到他們錯(cuò)過(guò)了和世界先進(jìn)技術(shù)同步發(fā)展的機(jī)會(huì)。飛利浦研發(fā)主管對(duì)年輕工程師克洛斯特曼（小克）提出要求，讓他放下手頭工作，集中精力制作一枚芯片。當(dāng)時(shí)N公司沒(méi)有相關(guān)的光刻技術(shù)，于是小克決定自己搞一臺(tái)機(jī)器出來(lái)。那一年，美國(guó)的GCA（G公司）已經(jīng)賣出了幾十臺(tái)重復(fù)曝光光刻機(jī)。嚴(yán)格來(lái)說(shuō)，光刻機(jī)應(yīng)該叫曝光機(jī)，它的工作原理有點(diǎn)類似于單反相機(jī)。只不過(guò)高端的單反鏡頭支持6000萬(wàn)像素分辨率，而一臺(tái)7納米光刻機(jī)的像素可以達(dá)到1600億像素，是頂級(jí)單反的2666倍。它的作用是把掩膜板上的圖形，縮小以后投影到硅片上。

硅片上有光刻膠，膠里有光致敏劑，光一照就會(huì)變化。曝光以后，經(jīng)過(guò)烘烤固化、顯影處理，掩膜版上的圖形就復(fù)制到了硅片表面。至于“刻”硅片的過(guò)程，則是在曝光以后，由刻蝕機(jī)來(lái)完成的。所以光刻機(jī)的作用就像用陽(yáng)光照剪紙（掩膜），再在桌上放一張紙（晶圓），把剪紙陰影的邊緣描出來(lái)。然后刻蝕機(jī)再對(duì)準(zhǔn)桌上的描邊，剪出一張微縮的圖案。

這個(gè)過(guò)程之所以是這樣，是因?yàn)?0世紀(jì)50年代，化學(xué)家詹姆斯·納爾從顯微鏡當(dāng)中獲得的啟示。顯微鏡可以把小東西放大，那么如果把顯微鏡顛倒過(guò)來(lái)，是不是就可以讓大圖像變小？人們可以利用這種原理，在微小臺(tái)面上“打印”復(fù)雜圖案，從而在半導(dǎo)體材料上繪制出集成電路，做成芯片。

那么當(dāng)要打印的電路圖越來(lái)越復(fù)雜、細(xì)小，這個(gè)過(guò)程會(huì)出現(xiàn)什么困難呢？一大難點(diǎn)在于光刻系統(tǒng)高速運(yùn)行的過(guò)程中要保持精準(zhǔn)。比如一片晶圓上需要曝光的單元有幾百個(gè)。晶圓在曝光運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，可能是鏡頭不動(dòng)，機(jī)器操縱晶圓動(dòng)來(lái)動(dòng)去，那么就涉及到加速-急停-加速-急停。

在晶圓“剎車”的時(shí)候，位置要對(duì)準(zhǔn)到什么程度？要達(dá)到1納米以內(nèi)的對(duì)齊精度，也叫“套刻精度”（Overlay）。不然你“刻”一會(huì)兒，該“刻”的位置就歪了，就像剪紙剪跑偏了。有人比喻這個(gè)過(guò)程，相當(dāng)于兩架飛機(jī)并排飛，一個(gè)人拿出刻刀，在另一架飛機(jī)表面一粒米大小的面積上刻字。

而阿斯麥的光刻機(jī)系統(tǒng)，在保持這種精度的前提下，全年可以穩(wěn)定運(yùn)行超過(guò)98%的時(shí)間，停機(jī)檢修工作只需要7天左右，剩下350多天都能幫你“印鈔”，阿斯麥設(shè)定的每一個(gè)部件正常工作時(shí)間要達(dá)到3萬(wàn)小時(shí)以上，也就是4年左右。

只不過(guò)小克剛上手研究的時(shí)候，阿斯麥（也就是N公司）離這種水平還差著十萬(wàn)八千里。小克的老板覺(jué)得自己人研究太慢了，就先找美國(guó)G公司買了一臺(tái)光刻機(jī)。當(dāng)時(shí)這臺(tái)機(jī)器粗糙到，如果想要移動(dòng)晶圓位置，還得手動(dòng)擰螺絲來(lái)調(diào)整。

每移動(dòng)幾厘米，誤差就會(huì)達(dá)到幾微米，也就是頭發(fā)絲十分之一的寬度。

小克覺(jué)得美國(guó)人的機(jī)器不是特別牛。60年代后期，飛利浦的半導(dǎo)體材料部也發(fā)現(xiàn)美國(guó)人的光刻設(shè)備滿足不了生產(chǎn)需要了，就找到了自家N公司商量，雙方一拍即合：一起弄出來(lái)一臺(tái)光刻機(jī)。

當(dāng)時(shí)N公司依托飛利浦，擁有很多精密技術(shù)和設(shè)備，比如一個(gè)光電標(biāo)尺可以測(cè)出0.1微米的位移，在當(dāng)年都是非常先進(jìn)的。還有液壓軸承、空氣軸承，都是飛利浦沒(méi)有商業(yè)化的技術(shù)，但N公司內(nèi)部可以生產(chǎn)，對(duì)滿足光刻機(jī)的精度要求非常重要。但他們搞不定鏡頭。小克找到了德國(guó)蔡司，對(duì)方覺(jué)得N公司要的鏡頭數(shù)太少，拒絕給他們定制，隨后小克找到了法國(guó)的C公司（CERCO）解決了這個(gè)問(wèn)題。就在同一時(shí)期，美國(guó)的G公司也找到了更好的鏡頭供應(yīng)商——尼康。

但是飛利浦在用G公司光刻機(jī)的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)他們的設(shè)備不可靠，第一套掩膜（也就是“剪紙”）良率高，之后的就很拉胯。

飛利浦在光刻機(jī)上貼了溫度計(jì)，發(fā)現(xiàn)電極讓滑軌變熱，滑軌熱脹冷縮就會(huì)翹曲，軌道從直線變成了弧線，雖然弧度很小，但是會(huì)破壞精度。小克團(tuán)隊(duì)注意到鎖定滑軌的約束螺栓，調(diào)整它的松緊，就能把晶圓臺(tái)的偏差校正到零點(diǎn)幾微米之內(nèi)，隨后在自家的機(jī)器上改良了這一點(diǎn)。

1967年，小克信心滿滿地帶著N公司的光刻機(jī)原型參加飛利浦的年度展覽。飛利浦的董事會(huì)成員也來(lái)到了展臺(tái)旁。小克正在眉飛色舞地講解，董事卻溜到旁邊展臺(tái)看新款洗衣機(jī)了。對(duì)飛利浦集團(tuán)來(lái)說(shuō)，一臺(tái)能年銷幾萬(wàn)臺(tái)的“三大件”遠(yuǎn)比一臺(tái)沒(méi)有商業(yè)前景的破機(jī)器誘人得多。但飛利浦的半導(dǎo)體材料部是懂行的，他們訂購(gòu)了1臺(tái)N公司的光刻機(jī)，非常滿意，每套掩膜之間的對(duì)齊精度也很高。

在1976年飛利浦的年度報(bào)告里寫(xiě)著這樣一句話：“由于在光學(xué)、機(jī)械和控制系統(tǒng)方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，我們成功地在研發(fā)設(shè)備中實(shí)現(xiàn)了位置移動(dòng)10厘米而位移偏差只有0.1微米。”但是這項(xiàng)技術(shù)除了用來(lái)自戀，沒(méi)有其他用處。

到80年代初，美國(guó)G公司的光刻機(jī)拿下了IBM、仙童、西門(mén)子等大客戶，1981年的銷售額達(dá)到了1.1億美元，3年翻了近10倍。而N公司這邊研發(fā)一片混亂，一臺(tái)售出的光刻機(jī)都沒(méi)有。

油壓軸承也出了問(wèn)題。有一天，油泵機(jī)發(fā)出刺耳的嘶嘶聲，機(jī)油從導(dǎo)管噴涌而出，整個(gè)超凈工作室沾滿了油污。他們決定要改用永磁體來(lái)驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

經(jīng)歷無(wú)數(shù)次失敗，他們的線性電機(jī)實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)目標(biāo)：運(yùn)動(dòng)時(shí)達(dá)到極高的加速度，帶來(lái)光刻機(jī)更高的吞吐效率；靜止時(shí)停在該停的位置，達(dá)到極高的靜態(tài)精度。

但是大家不知道該怎么量產(chǎn)這臺(tái)機(jī)器。因?yàn)榇蠹也幌矚g搞一大堆圖紙，出了問(wèn)題都是拿嘴溝通，解決了就拉倒。結(jié)果所有知識(shí)分散在所有人的腦袋里，連第二臺(tái)機(jī)器都不知道該怎么“復(fù)制”出來(lái)。

N公司想了一招：懶得動(dòng)筆，那就把所有流程都用相機(jī)拍下來(lái)。在經(jīng)歷了非常動(dòng)蕩的內(nèi)部磨合之后，他們終于將一臺(tái)測(cè)試樣機(jī)送到了IBM。對(duì)方雖然提出了一些改善建議，但看上去就要下訂單了。負(fù)責(zé)人喬治樂(lè)觀地說(shuō)：“他們會(huì)訂購(gòu)三四十臺(tái)呢！”但是接下來(lái)很長(zhǎng)時(shí)間，IBM都沒(méi)有下訂單。團(tuán)隊(duì)士氣低迷，而飛利浦內(nèi)部對(duì)光刻機(jī)項(xiàng)目的質(zhì)疑也越來(lái)越大。半導(dǎo)體材料部門(mén)從G公司訂購(gòu)的設(shè)備總能按時(shí)交貨，但自家N公司的設(shè)備卻總是延期。

G公司一年能賣200臺(tái)光刻機(jī)，N公司只有5臺(tái)，還是供給飛利浦。飛利浦CEO德克下令：“盡快結(jié)束光刻機(jī)這種沒(méi)意義的項(xiàng)目。”他們打算叫停或出售飛利浦各種不賺錢的業(yè)務(wù)，這是西方大公司的常規(guī)操作。

有一家荷蘭本地的芯片設(shè)備廠商想要接盤(pán)，它的名字叫ASM（先進(jìn)半導(dǎo)體材料公司），但是N公司高層很快就把它的名字劃掉了，嫌人家體量太小。這時(shí)候，美國(guó)G公司最大的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手P公司（Perkin-Elmer）受邀來(lái)到飛利浦考察。他們參觀完光刻機(jī)制造產(chǎn)線以后告訴他們：“你們這簡(jiǎn)直就是一間用金磚做的茅房。”

意思是雖然技術(shù)不錯(cuò)，但是沒(méi)必要弄這么昂貴。

更讓P公司高管驚訝的是，飛利浦董事會(huì)高層對(duì)芯片市場(chǎng)一無(wú)所知，對(duì)光刻機(jī)業(yè)務(wù)滿臉嫌棄。他們問(wèn)N公司的人：“呃，你們大領(lǐng)導(dǎo)知道自己在說(shuō)啥嗎？”P(pán)公司有意愿收購(gòu)，但隨后他們又參訪了另一家公司，就改了主意。N公司覺(jué)得自己就像沒(méi)人要的孩子。但只說(shuō)對(duì)了一半。因?yàn)锳SM的老板德?tīng)枴て绽啵ɡ掀眨┦冀K不死心。

他的公司在1978-1983年間收入增長(zhǎng)了6倍。1983年春天，負(fù)責(zé)飛利浦光刻機(jī)業(yè)務(wù)的技術(shù)董事克魯伊夫（老克）在報(bào)紙上讀到了ASM成功地故事。他意識(shí)到：老普這家伙還挺有錢的。

當(dāng)時(shí)飛利浦全新的步進(jìn)式光刻機(jī)距離完工只剩一步之遙，而ASM成了他們最后一根救命稻草。1983年，當(dāng)老克第一次走進(jìn)老普辦公室的那天，他們只用了不到1個(gè)小時(shí)就敲定了飛利浦和ASM建立合資企業(yè)的計(jì)劃，也就是后來(lái)的阿斯麥（ASML）。

老普想做的事情很簡(jiǎn)單：他的公司生產(chǎn)其他幾乎所有種類的芯片制造設(shè)備，除了光刻機(jī)。收了N公司，他就能做成設(shè)備全產(chǎn)業(yè)鏈一條龍。

雙方股權(quán)50%對(duì)50%。但實(shí)際上，只有老普拿著真金白銀注資210萬(wàn)美元，而飛利浦幾乎“一毛不拔”，拿著一批過(guò)時(shí)的設(shè)備、原料充抵注冊(cè)資金180萬(wàn)美元，只掏了30萬(wàn)現(xiàn)金。連飛利浦的管理人員都看不下去了：“這家新公司買杯咖啡就能破產(chǎn)。”在收購(gòu)之后，老普才發(fā)現(xiàn)阿斯麥的產(chǎn)量真是馬尾巴穿豆腐——提不起來(lái)，連年產(chǎn)40臺(tái)的目標(biāo)都達(dá)不到。那家法國(guó)的C公司也很拉胯，供應(yīng)的16個(gè)鏡頭里只有1個(gè)能滿足客戶IBM的要求。一些著名分析師表示：這家合資公司注定失敗。

1984年春天，阿斯麥擁有47名意志消沉的飛利浦員工。他們之所以肯來(lái)，是因?yàn)榧瘓F(tuán)保證4年后他們可以轉(zhuǎn)崗回到飛利浦。那一年，G公司和尼康是全球光刻機(jī)的冠亞軍，而阿斯麥的市占率依然是0。而佳能、日立和其他國(guó)際公司也在爭(zhēng)搶蛋糕。

他們計(jì)劃在1986年參加硅谷的國(guó)際半導(dǎo)體展會(huì)，展示一款新光刻機(jī)來(lái)?yè)屨际袌?chǎng)。

但在兩年內(nèi)量產(chǎn)一臺(tái)比對(duì)手更強(qiáng)的光刻機(jī)，幾乎不可能。阿斯麥的第一任CEO賈特·斯密特（老賈）擔(dān)起了這副重?fù)?dān)。

在阿斯麥幾乎沒(méi)人喜歡他獨(dú)斷專行的風(fēng)格，多年后當(dāng)他離職時(shí)，同事按慣例給他眾籌的離職紅包里只裝了80美元。但他是帶著阿斯麥起飛的第一人。

他逼著大家改變工作流程，每天拿出一部分精力來(lái)記錄工作日志，整理文檔。客戶明確告訴老賈，他們不需要?dú)W洲的光刻機(jī)：“等你賣出去20臺(tái)，再來(lái)找我談吧。”老賈沒(méi)有一蹶不振，而是發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)升級(jí)過(guò)程中的機(jī)會(huì)：從大規(guī)模集成電路（LSI，細(xì)節(jié)大于1微米）到超大規(guī)模集成電路（VLSI，細(xì)節(jié)小于1微米），產(chǎn)業(yè)需要新一代光刻機(jī)，處理的晶圓尺寸也會(huì)從4英寸升級(jí)到6英寸。而當(dāng)時(shí)業(yè)界沒(méi)有形成解決方案。尼康、G公司，都還在用導(dǎo)程螺絲桿來(lái)移動(dòng)晶圓臺(tái)，圖像細(xì)節(jié)定位精度大于1微米，而阿斯麥掌握著技術(shù)優(yōu)勢(shì)。老賈認(rèn)為，這是阿斯麥彎道超車的機(jī)會(huì)——兩年后，交出一臺(tái)成熟的VLSI光刻機(jī)。

他估計(jì)，這需要投入1億美元。他需要去求2個(gè)爸爸——兩個(gè)前期只投入了210萬(wàn)和30萬(wàn)美元的爸爸們。老賈精心準(zhǔn)備了一套PPT，給董事們畫(huà)出了新的大餅，指出阿斯麥的一些技術(shù)無(wú)人能比，行業(yè)未來(lái)一定會(huì)大洗牌，成為頭部公司的市占率和回報(bào)是非常可觀的。“我們可能需要多達(dá)1億美元，但只是一個(gè)粗略的估計(jì)。具體的數(shù)字可能更少，也許5000萬(wàn)就夠了。”事后證明，老普估的很準(zhǔn)。

包括老普在內(nèi)，董事們很震驚，這個(gè)保底數(shù)字是當(dāng)時(shí)母公司ASM全年的營(yíng)收，而ASM剛剛扭虧為盈。最后老賈得到的回復(fù)是：你可以接著搞，董事會(huì)追加300萬(wàn)美元（0.03億美元），剩下的錢你自己想辦法。之后，老賈一邊找錢，一邊招人。

他們需要軟件、電子、機(jī)械、光學(xué)、測(cè)量和控制技術(shù)等各個(gè)學(xué)科的人才。為了釣到更多的魚(yú)，他們?cè)趫?bào)紙上登招聘廣告，怕公司沒(méi)名氣，擅自用了飛利浦的標(biāo)識(shí)——老賈假裝自己不知道，還被母公司罵了一頓。結(jié)果收到了300份簡(jiǎn)歷，很多人的求職信上都標(biāo)著“請(qǐng)轉(zhuǎn)交飛利浦公司”，大家都是沖著大廠來(lái)的。

彎道超車

20世紀(jì)80年代，隨著日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，尤其是內(nèi)存產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，佳能和尼康獲得了巨大的發(fā)展機(jī)會(huì)。從日本到美國(guó)，他們一步步蠶食著G公司原本占有的市場(chǎng)。1984年底，日本光刻機(jī)市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)美國(guó)。這一年，阿斯麥把公司搬到了荷蘭南部的費(fèi)爾德霍芬，一座人口只有4.5萬(wàn)人的城市。今天，全世界以萬(wàn)億美元計(jì)算產(chǎn)值的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)都要看這座小城的臉色。但是在當(dāng)年，阿斯麥的大部分員工就是在這樣一些簡(jiǎn)易板房里開(kāi)發(fā)光刻機(jī)的。

為了這一次“彎道超車”計(jì)劃，阿斯麥開(kāi)始網(wǎng)羅供應(yīng)商。為了做出直線電動(dòng)機(jī)，他們需要50個(gè)定子，也就是發(fā)電機(jī)中保持固定不動(dòng)的部分。他們?cè)陲w利浦的供應(yīng)鏈當(dāng)中尋找工廠，這些企業(yè)每年都是給飛利浦做上萬(wàn)件零部件配套的。他們告訴對(duì)方一年只需要50個(gè)，談話就結(jié)束了。阿斯麥的員工覺(jué)得自己像個(gè)沒(méi)人搭理的小娃娃。

但他們沒(méi)有退縮，而是找到飛利浦各個(gè)工廠求援，一開(kāi)始都吃了閉門(mén)羹。這些工廠沒(méi)見(jiàn)過(guò)這么執(zhí)拗的人，他們的態(tài)度也開(kāi)始松動(dòng)。最終阿斯麥員工發(fā)現(xiàn)，只要穿過(guò)幾條街，就可以在飛利浦的玻璃工廠里找到一些精密的玻璃部件。

供應(yīng)鏈解決了，但交貨又成了問(wèn)題。缺少一個(gè)部件，光刻機(jī)就不能工作。負(fù)責(zé)供應(yīng)鏈的克拉森幾乎要崩潰了。他周五下午問(wèn)飛利浦的司機(jī)，零件啥時(shí)候到。司機(jī)說(shuō)：“都快五點(diǎn)啦，這周沒(méi)戲啦。”因?yàn)轱w利浦員工從不加班。克拉森絞盡腦汁，想出一轍，沒(méi)想到真的管用：給他們?nèi)还P加班費(fèi)，送上幾杯啤酒，再來(lái)兩瓶葡萄酒。所以他的后備箱里裝滿了各種酒。為了確保不缺東西，他要求所有東西堆在他眼前。結(jié)果他的辦公室里堆滿了電纜、插頭和成箱的零件。

在鏡頭方面，他們一腳踢開(kāi)了不靠譜的法國(guó)C公司，再次找到蔡司。但對(duì)方再次拒絕為阿斯麥定制鏡頭，而是讓他們從庫(kù)存里挑。阿斯麥給蔡司畫(huà)大餅，說(shuō)未來(lái)幾年會(huì)擴(kuò)大數(shù)倍的訂單量，蔡司一點(diǎn)也不感興趣，因?yàn)橐粋€(gè)蔡司“金手指”工匠要培訓(xùn)幾年甚至十幾年，人才供給跟不上。經(jīng)過(guò)一番軟磨硬泡，蔡司最終還是答應(yīng)了。但是蔡司上來(lái)就坑了阿斯麥一把。由于密封鏡頭的膠水同其他材料的熱膨脹系數(shù)不一樣，鏡片用著用著就會(huì)發(fā)生漂移，圖像變得模糊，客戶退回了一批又一批產(chǎn)品。蔡司當(dāng)年的這個(gè)問(wèn)題不僅坑了阿斯麥，也坑了美國(guó)的G公司。在承認(rèn)這個(gè)問(wèn)題之后，蔡司才低下了高傲的頭顱，開(kāi)始同阿斯麥共同研發(fā)光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)的解決方案。

1985年，阿斯麥的新機(jī)器PAS 2400制造完成。老賈打算敲鑼打鼓地宣傳一番。在半導(dǎo)體展會(huì)上，他們?cè)趨⒂^手冊(cè)上買下了10個(gè)版面，拿自家機(jī)器與行業(yè)主流產(chǎn)品進(jìn)行對(duì)比，跟現(xiàn)在手機(jī)發(fā)布會(huì)上的參數(shù)對(duì)比沒(méi)什么兩樣。在展會(huì)上老賈還發(fā)現(xiàn)一個(gè)好消息：他們的PAS 2400幾乎一直正常運(yùn)行。而尼康等企業(yè)的光刻機(jī)在演示過(guò)程中都出了問(wèn)題。為了維修設(shè)備，對(duì)手的展臺(tái)經(jīng)常閉門(mén)謝客。

那年夏天，阿斯麥終于拿下了AMD的一臺(tái)測(cè)試樣機(jī)訂單。客戶反饋不錯(cuò)，但就是不下訂單。當(dāng)年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)進(jìn)入下行周期，光刻機(jī)買家很少，美國(guó)和日本企業(yè)還是占據(jù)主導(dǎo)地位。老賈有些灰心了：沒(méi)有一家正經(jīng)廠商下訂，連飛利浦都拒絕承諾購(gòu)買。與此同時(shí)，母公司ASM也陷入困境，虧損580萬(wàn)美元。

為了幫阿斯麥找市場(chǎng)，老普甚至跑到保加利亞拿到了一臺(tái)訂單。員工說(shuō)：“沒(méi)客戶，沒(méi)機(jī)器。老板像瘋子一樣到處跑，到處花錢，就好像錢會(huì)過(guò)期一樣。”1986年，阿斯麥依然沒(méi)客戶，而每個(gè)月的開(kāi)支高達(dá)數(shù)百萬(wàn)美元。市場(chǎng)變化太快了，PAS 2500也不能滿足需求了。美國(guó)企業(yè)正朝著專用集成電路（ASIC）發(fā)展，阿斯麥需要研發(fā)新一代升級(jí)版——PAS 3000，并實(shí)現(xiàn)高度的自動(dòng)化。很多研發(fā)人員陷入了長(zhǎng)期“996”和“007”的狀態(tài)里。阿斯麥在當(dāng)?shù)刈饬艘粭潣枪┘影鄦T工睡覺(jué)，另一些人把睡袋放在后備箱，以防“睡樓”里住滿了人。

1986年，市場(chǎng)復(fù)蘇，AMD訂購(gòu)2臺(tái)PAS 2500，中國(guó)訂購(gòu)了一臺(tái)油壓驅(qū)動(dòng)的舊式PAS 2000。那些想在VLSI領(lǐng)域大干一場(chǎng)的芯片制造商開(kāi)始關(guān)注日本之外的設(shè)備廠商。老賈給大家鼓勁：“今年我們賣多少臺(tái)，那就是基數(shù)，明年就能翻5～10倍！”

1986年5月，第一臺(tái)PAS 2500量產(chǎn)光刻機(jī)終于下線了。當(dāng)?shù)谝慌_(tái)交付給客戶的光刻機(jī)用叉車裝進(jìn)卡車的時(shí)候，負(fù)責(zé)維護(hù)機(jī)器的工程師維克的心提到了嗓子眼。

他發(fā)現(xiàn)有一個(gè)標(biāo)記某部件的氣球漏氣了，他跳進(jìn)卡車?yán)铮褮馇虼盗似饋?lái)。同事哈哈大笑，說(shuō)他就好像在給機(jī)器做人工呼吸。卡車一路緩緩行駛，阿斯麥沒(méi)有聯(lián)系交警開(kāi)道。每當(dāng)車隊(duì)停在十字路口，員工們一窩蜂地走上去指揮交通。這臺(tái)機(jī)器的正常交付給阿斯麥員工注入了強(qiáng)心劑，大家工作熱情高漲，自愿加班，有時(shí)候甚至?xí)円共煌！５珶o(wú)論這時(shí)故事充滿多少溫情與熱情，他們都不是國(guó)際舞臺(tái)的主角。阿斯麥?zhǔn)姓悸手挥?%，只能靠荷蘭政府提供的研發(fā)撥款和補(bǔ)貼來(lái)維生。

蔡司的鏡頭問(wèn)題最終把G公司拉下王座，而尼康改進(jìn)了自家的光學(xué)系統(tǒng)，乘勢(shì)而上，在80年代后期成為全球光刻機(jī)的新霸主。老普在接盤(pán)以后對(duì)阿斯麥無(wú)法盈利的處境越來(lái)越憤怒，1986年母公司虧損2500萬(wàn)美元，阿斯麥虧了1400萬(wàn)美元。而這時(shí)蔡司的鏡頭有一半都不合格，另一半還遲遲不到貨。

老普壓力大到頂不住了，母公司在芯片爐等設(shè)備上掙的錢全都用來(lái)給阿斯麥填窟窿了，即便這樣阿斯麥工資也快發(fā)不出來(lái)了，老賈還要母公司追加投資，老普和老賈甚至?xí)谧呃壤锘ハ嗯叵＠掀罩荒芸紤]出售阿斯麥，斷尾求生。他聯(lián)系了日本的三井物產(chǎn)、住友集團(tuán)洽談收購(gòu)，未果。直到1987年6月1日，AMD終于下了25臺(tái)PAS 2500的訂單，那天老賈高興得在走廊里吹了一天的口哨。但是兩個(gè)月后，他卸任的日子也到來(lái)了，另一家德國(guó)公司把他挖走了。300多人給他籌集的離職紅包，放在一個(gè)帽子里，不到80美元。

至此，阿斯麥燒錢規(guī)模已累計(jì)5000萬(wàn)美元。還能再糟糕一點(diǎn)嗎？不會(huì)了，因?yàn)樘旖得湍辛恕?986年，張忠謀受邀回到中國(guó)臺(tái)灣，出任臺(tái)灣工研院的院長(zhǎng)。1987年，工研院和飛利浦成立了一家合資公司，名叫“臺(tái)積電”，飛利浦占股27.5%，是臺(tái)積電最大的外部股東，還將一些芯片生產(chǎn)線轉(zhuǎn)移到了中國(guó)臺(tái)灣。結(jié)果1988年底，臺(tái)積電新產(chǎn)線就快裝好的時(shí)候，發(fā)生了一場(chǎng)大火。臺(tái)積電把所有煙熏火燎過(guò)的光刻機(jī)退回了阿斯麥，還下了17臺(tái)新訂單。阿斯麥發(fā)現(xiàn)這些退回來(lái)的機(jī)器，有的只讓煙熏了一下，很容易修好。而為火災(zāi)買單的保險(xiǎn)公司成了阿斯麥1989年最大的客戶。當(dāng)年的74臺(tái)訂單讓阿斯麥利潤(rùn)翻了一番，達(dá)到700萬(wàn)美元，全球市占率達(dá)到15%。

但是大火不是年年有，阿斯麥怎么才能更上一層樓，超過(guò)尼康和佳能呢？你需要把事情做對(duì)，然后耐心等著對(duì)手出錯(cuò)。1988年，合資企業(yè)解散，阿斯麥從兩個(gè)爸爸手中獨(dú)立了出來(lái)。如果有朝一日阿斯麥上市或出售，老普的ASM將受益。為了抓住DRAM（一種內(nèi)存）市場(chǎng)蓬勃發(fā)展的機(jī)會(huì)，所有光刻機(jī)廠商都在布局。

光刻機(jī)中不同波長(zhǎng)的光對(duì)應(yīng)著不同的制程工藝。總體上，光刻機(jī)用的光線一直是往更短波長(zhǎng)發(fā)展的，從紫外、深紫外到極紫外，都快接近X射線了。佳能和尼康選擇“跳過(guò)i線”，直接從g線跳到深紫外線（DUV，圖中的KrF和ArF），但碰到了棘手的技術(shù)問(wèn)題，當(dāng)時(shí)連適合248納米DUV的光刻膠都沒(méi)有。而阿斯麥剛剛歷盡劫難，沒(méi)能力大舉投入DUV，只能老老實(shí)實(shí)做i線。從荷蘭政府和歐共體那里，阿斯麥拿到了1650萬(wàn)美元用來(lái)研發(fā)新的 PAS 5500，也就是i線的步進(jìn)式光刻機(jī)。

這時(shí)候，阿斯麥遇到了臺(tái)積電之后的第二個(gè)貴人——IBM。IBM財(cái)大氣粗，為了從6英寸晶圓升級(jí)到8英寸，他們決定第一個(gè)吃螃蟹，業(yè)內(nèi)第一套8英寸設(shè)備的研發(fā)費(fèi)用他們包圓了。8英寸晶圓面積是6英寸的1.778倍，能切出的晶粒（Die）就更多，浪費(fèi)更少，幫企業(yè)掙到更多的錢。最后IBM投入的這筆金額是——10億美元。

但對(duì)阿斯麥不利的是，他們?cè)贗BM的供應(yīng)商名單中排在最后一名，第5名。IBM大部分人傾向于尼康這些“老牌”巨頭。巧的是，在美國(guó)紐約州達(dá)奇斯縣的東菲什基爾，IBM全新工廠的負(fù)責(zé)人凱利沒(méi)有墨守成規(guī)，而是對(duì)所有供應(yīng)商一視同仁。相比于對(duì)手，阿斯麥的優(yōu)勢(shì)是精確的曝光對(duì)準(zhǔn)。IBM的高管希望來(lái)到阿斯麥公司考察新機(jī)。PAS 5500的總架構(gòu)師老范（范登布林克）要求所有人嚴(yán)陣以待，各司其職，演示10個(gè)子系統(tǒng)模塊，比如鏡頭組、電動(dòng)晶圓臺(tái)。在IBM高管來(lái)訪前的周末，老范親自給所有工程師的老婆們打電話：“對(duì)不起，您的丈夫這周末必須加班，我們需要他。”

但是1991年1月11日，老范接到IBM的電話：他們來(lái)不了了。海灣戰(zhàn)爭(zhēng)打響，IBM不讓高管坐飛機(jī)，因?yàn)槟菢訒?huì)有風(fēng)險(xiǎn)。老范急眼了，在公司里瘋狂咆哮，因?yàn)槿绻貌幌翴BM，阿斯麥可能離倒閉關(guān)門(mén)就不遠(yuǎn)了。同事老波（波拉克）看著他發(fā)泄完，點(diǎn)了一支煙：“你知道不，咱們應(yīng)該直搗黃龍，去他們IBM。”老范驚了：“但咱沒(méi)法帶機(jī)器過(guò)去啊。”老波說(shuō)，立馬成立一個(gè)攝制組，把原本要展示的所有內(nèi)容拍成錄像帶。老范喜出望外。他們找了一家專業(yè)的影視公司，拍攝剪輯好以后第二天就飛到了IBM總部。凱利等高管看了影片，有人差點(diǎn)從椅子上摔了下來(lái)。用他們的原話來(lái)說(shuō)：“我們從來(lái)沒(méi)見(jiàn)過(guò)這么先進(jìn)的設(shè)備。”

PAS 5500在業(yè)內(nèi)率先使用模塊化設(shè)計(jì)，并行開(kāi)發(fā)，每個(gè)模塊都留有自動(dòng)通信接口，最終拼裝成一臺(tái)光刻機(jī)。這種設(shè)計(jì)的研發(fā)、生產(chǎn)效率都大大提高。而且模塊化設(shè)計(jì)可以讓客戶隨意選配各種部件包，包括各種鏡頭，各種尺寸，各種光源，各種投影模式，應(yīng)有盡有。所以阿斯麥把這一代光刻機(jī)做成了一代光刻平臺(tái)。就這樣，阿斯麥實(shí)現(xiàn)了IBM的破冰之旅。

為了大批量供應(yīng)光刻機(jī)，阿斯麥轉(zhuǎn)過(guò)頭去開(kāi)始倒逼蔡司轉(zhuǎn)型升級(jí)。蔡司6個(gè)“金手指”辛苦一年，只能交付10個(gè)i線光學(xué)元件。產(chǎn)能低得像一個(gè)噩夢(mèng)。他們必須摒棄過(guò)去“金手指”工匠純手工打磨鏡片的方式，加入全自動(dòng)化設(shè)備。隨著PAS 5500的普及，蔡司終于解決了鏡頭生產(chǎn)對(duì)人工的依賴問(wèn)題。

1996年，拋光機(jī)器人就可以讓鏡頭元件的精度達(dá)到原子級(jí)別，只需要80個(gè)人就能年產(chǎn)200多個(gè)復(fù)雜鏡頭。再后來(lái)，蔡司高管加入阿斯麥監(jiān)事會(huì)，雙方建立獨(dú)家排他關(guān)系，阿斯麥入股蔡司，還為后來(lái)的EUV光刻機(jī)蔡司光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)提供資金支持。雙方緊緊地綁在了一條船上。

但回到90年代初期，阿斯麥最大的問(wèn)題還是缺錢。1991年，阿斯麥虧損了500萬(wàn)美元。飛利浦并購(gòu)部門(mén)建議關(guān)掉阿斯麥。阿斯麥方面表示PAS 5500訂單能讓公司起死回生，懇求老東家不要斷奶！他們還腆著臉找飛利浦借了2100萬(wàn)美元來(lái)發(fā)工資。

1993年，情況開(kāi)始改善，訂單量、交付量顯著提升，公司現(xiàn)金流第一次開(kāi)始正向凈流入，盈利1100萬(wàn)美元。他們拿著2100萬(wàn)美元的支票拍到了飛利浦同事的桌上，笑得像個(gè)傻子一樣，其他在場(chǎng)的人都使勁鼓掌。第二天飛利浦財(cái)務(wù)部的人打電話來(lái)把他們罵了一頓：“下次別再用支票付這么多錢了，集團(tuán)損失了兩天的利息呢！”

這一時(shí)期，阿斯麥的步進(jìn)光刻機(jī)比競(jìng)品貴25%，但是生產(chǎn)精度和生產(chǎn)率都更高，能很快幫客戶把錢掙回來(lái)。他們甚至有信心跟客戶簽“不賺錢不付款”的合同，一開(kāi)始只收80%的錢，尾款根據(jù)客戶業(yè)績(jī)支付。

為了籌到更多的錢擴(kuò)大生產(chǎn)，阿斯麥在90年代初期選擇上市，并拿下了韓國(guó)三星等大企業(yè)的訂單。飛利浦通過(guò)阿斯麥上市獲得了1.25億美元。1996年，荷蘭新聞周刊Elsevier將阿斯麥排在值得購(gòu)買的股票列表的第一名。

20世紀(jì)末，他們離登頂全球光刻機(jī)霸主只剩一步之遙。那時(shí)候，阿斯麥的一些員工穿著T恤衫走來(lái)走去。衣服上印著一行大字：我們會(huì)打敗日本人。那么尼康，是如何走下神壇的？

登峰造極

20世紀(jì)末，當(dāng)時(shí)先進(jìn)的制程工藝從130納米來(lái)到90納米，晶圓尺寸從8英寸來(lái)到12英寸，光刻機(jī)的波長(zhǎng)也從248納米進(jìn)入193納米。用干式193納米（波長(zhǎng)）光刻機(jī)，極限的制程工藝是65納米。怎么做出40納米以下制程的芯片，所有半導(dǎo)體專家都在探索。

當(dāng)時(shí)給出的方案包括157納米F2激光、電子束投射、離子投射、EUV（13.5納米）和X光等。尼康等企業(yè)都選擇了157納米激光方案，因?yàn)殡y度低一些。阿斯麥沒(méi)想好，于是決定157納米和EUV兩條路線齊頭并進(jìn)。結(jié)果尼康做了半天，樣機(jī)測(cè)試結(jié)果并不理想，一直琢磨怎么縮短光的波長(zhǎng)，沒(méi)弄好。

而2004年，阿斯麥利用當(dāng)時(shí)最新的“浸潤(rùn)原理”，做出了浸沒(méi)式光刻機(jī)。而浸潤(rùn)原理很簡(jiǎn)單，就是在光刻膠上方抹一層水，水的介質(zhì)折射率是1.44，那么193納米÷1.44≈134納米。

2006年，阿斯麥的新款光刻機(jī)在英特爾順利通過(guò)40納米工藝驗(yàn)證，拿下了英特爾的大訂單。而此時(shí)尼康在157納米路線上積重難返，新型光刻機(jī)也無(wú)人問(wèn)津。因?yàn)榘⑺果湽饪虣C(jī)最后一片鏡片是純平的（能放水），而尼康的是曲面鏡片。如果尼康要改用浸沒(méi)式系統(tǒng)，整個(gè)鏡頭光路都要推倒重來(lái)，至少需要2年時(shí)間。2009年，阿斯麥反超尼康，首次占據(jù)了光刻機(jī)7成的市場(chǎng)份額，把尼康逼到了墻角，此后再無(wú)翻身的余地。而阿斯麥利用193納米浸沒(méi)式光刻機(jī)一路做到了7納米制程工藝。

但是即便如此，這也只是停留在深紫外（DUV）的領(lǐng)域，還沒(méi)有達(dá)到今天登峰造極的極紫外（EUV）光刻機(jī)領(lǐng)域。從1997年開(kāi)始，英特爾為了突破193納米的限制，發(fā)起了EUV LLC聯(lián)盟，集合阿斯麥、AMD、摩托羅拉、美國(guó)三大國(guó)家實(shí)驗(yàn)室，召集幾百名頂級(jí)科學(xué)家，投入2億美元，發(fā)表幾百篇論文，只為了從理論上驗(yàn)證EUV的可行性。EUV使用的13.5納米光線，波長(zhǎng)太短，連空氣都穿不透，只能在真空環(huán)境中傳播，現(xiàn)實(shí)中沒(méi)有任何單層材料可以反射它，而是需要幾十層鉬和硅層層疊疊摞起來(lái)，在鏡片上鍍膜才能完成，每一層只有納米級(jí)別的厚度，且每層誤差不能超過(guò)0.01納米，相當(dāng)于京滬高鐵一根鐵軌，起伏不能超過(guò)1毫米。2003年，理論驗(yàn)證完成，聯(lián)盟解散，球傳到了阿斯麥腳下。

這個(gè)聯(lián)盟成立的一個(gè)特殊背景是，美國(guó)人要不要向外國(guó)企業(yè)開(kāi)放研究成果？美國(guó)政界多數(shù)人認(rèn)為荷蘭是美國(guó)可靠的合作伙伴，但不包括日本。就這樣，美國(guó)允許了阿斯麥獲得美國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室最先進(jìn)的光刻研究成果，而把尼康和佳能排除在外。在聯(lián)盟尚在的2001年，阿斯麥還收購(gòu)了美國(guó)最后一家頭部光刻企業(yè)SVG，阿斯麥獲得了一些EUV光刻方面的專利技術(shù)。

2010年，阿斯麥造出了人類第一臺(tái)EUV工程樣機(jī)。直到今天，它都是世界上唯一一家量產(chǎn)EUV光刻機(jī)的企業(yè)。它已經(jīng)成為荷蘭最大的出口企業(yè)，全球最大的芯片設(shè)備制造商。這就是阿斯麥的故事。

這是一個(gè)能讓國(guó)人既振奮又沮喪的故事。振奮的地方在于，我們看阿斯麥的成長(zhǎng)，跟一家創(chuàng)業(yè)公司九死一生的故事沒(méi)什么兩樣。從一小撮人開(kāi)始，他們甚至都沒(méi)有信心活下去，隨時(shí)想著“跑路”回飛利浦上班，到挺過(guò)一道道難關(guān)，實(shí)現(xiàn)出貨，實(shí)現(xiàn)簽單，實(shí)現(xiàn)逆襲。這樣的事荷蘭人能做到，中國(guó)人能做不到？

但是讓人沮喪的地方在于，我們?cè)趪?guó)內(nèi)和友邦當(dāng)中，可能嚴(yán)重缺乏像蔡司、尼康這樣的頂級(jí)光學(xué)儀器制造商。以智能手機(jī)鏡頭為例，國(guó)內(nèi)雖然有舜宇光學(xué)這樣的企業(yè)可以提供相機(jī)模組了。但是國(guó)產(chǎn)旗艦機(jī)的頂級(jí)光學(xué)解決方案依然嚴(yán)重依賴海外供應(yīng)商，比如蔡司和索尼。更不要提什么EUV光刻機(jī)的國(guó)產(chǎn)光學(xué)解決方案了。

從蔡司的發(fā)展史來(lái)看，培養(yǎng)頂級(jí)半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)的技術(shù)能力可能是一個(gè)比打造光刻機(jī)系統(tǒng)更漫長(zhǎng)的過(guò)程。因?yàn)楣饪虣C(jī)的鏡頭是全世界最大、最精細(xì)的單反。玩過(guò)攝影的人都知道，好鏡頭和差鏡頭的一大區(qū)別在于圖像畸變的程度。攝影的時(shí)候畸變，你還可以后期處理，但光刻機(jī)的成像必須矯正到0，就要靠插入鏡頭來(lái)解決鏡頭帶來(lái)的問(wèn)題。結(jié)果就是一套套越來(lái)越復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)。這其中很多鏡片都是來(lái)修正成像質(zhì)量的。最后導(dǎo)致一個(gè)光刻機(jī)鏡頭可能1米多高、1噸多重。你需要能把光路精確地算出來(lái)，把鏡頭組合設(shè)計(jì)出來(lái)、制造出來(lái)，達(dá)到極高的工藝精度，還能完成整個(gè)鏡頭組的定心安裝。蔡司表示，如果把EUV光刻機(jī)鏡片的面積放大到德國(guó)國(guó)土面積，那么鏡頭的高低誤差也只有0.1毫米。

如果想要做好國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)，我們第一步要做的就是培育好國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī)供應(yīng)鏈體系。人才供給、高端材料供給、零部件和機(jī)加工設(shè)備供給，缺一不可。研發(fā)一臺(tái)光刻機(jī)，需要光學(xué)、數(shù)學(xué)、物理、化學(xué)、力學(xué)、材料、精密儀器、機(jī)械、自動(dòng)化、軟件識(shí)別等多學(xué)科人才通力合作。而據(jù)阿斯麥老總自己估計(jì)，他們自己只生產(chǎn)EUV光刻機(jī)15%的零部件，其余都是從上千家公司購(gòu)買的。他們有一整套嚴(yán)謹(jǐn)細(xì)密的供應(yīng)商監(jiān)控手段。

讀過(guò)今天的故事，相信你已經(jīng)理解了，這家公司一開(kāi)始連工作日志都懶得記，能達(dá)到今天的供應(yīng)鏈管理水平都是一點(diǎn)點(diǎn)積累起來(lái)的。產(chǎn)業(yè)升級(jí)，國(guó)產(chǎn)替代，沒(méi)有什么神話，只有一磚一瓦。現(xiàn)在，我們應(yīng)該定一個(gè)像阿斯麥當(dāng)年的目標(biāo)：先打敗日本人。因?yàn)橹械投斯饪虣C(jī)，比如28納米、90納米制程設(shè)備，由于較低的技術(shù)壁壘，競(jìng)爭(zhēng)者數(shù)量多，尼康與佳能憑借價(jià)格優(yōu)勢(shì)占據(jù)中低端市場(chǎng)主導(dǎo)地位。從中低端慢慢做起，培育產(chǎn)業(yè)鏈，一步步往上走。

就像阿斯麥的CEO溫寧克說(shuō)的：“如果中國(guó)得不到這些機(jī)器，他們就會(huì)自己研發(fā)。這需要時(shí)間，但最終他們會(huì)實(shí)現(xiàn)目標(biāo)。”“中國(guó)的‘物理定律’和我們這兒的一樣，你越給他們施加壓力，他們?cè)接锌赡芗颖杜Α！?/p>

所以不要急，不要像日本人當(dāng)年那樣，連國(guó)產(chǎn)DUV光刻膠都沒(méi)有的時(shí)候，就急著去做EUV。EUV只占全球光刻機(jī)市場(chǎng)的8%，剩下的92%等著我們?nèi)尅尩搅耍蔷褪墙o中國(guó)EUV鋪好的墊腳石。我們這一代人，等著看中國(guó)EUV摘桃子的那一天。