麗水“芯”逐夢“萬畝千億”

文/ 李丹丹

大膽創新、積極求變，搶抓半導體產業發展“窗口”機遇，“無中生有”布局半導體全鏈條產業

麗水，是習近平總書記“綠水青山就是金山銀山”理念的重要萌發地和先行實踐地，是浙江乃至華東地區重要的生態屏障和生態文明建設示范區，生態環境指數連續17年位居全省第一，森林覆蓋率高達81.7%，被譽為“浙江綠谷”。“九山半水半分田”的麗水，提出加快建設以“生態經濟化、經濟生態化”為基本特征的現代化生態經濟體系，工業經濟基礎卻相對薄弱，傳統產業面臨著轉型挑戰，新的增長點亟待培育。戰略性新興產業是培育未來新動能、贏得競爭新優勢的關鍵所在。在此背景下，麗水經濟技術開發區大膽創新、積極求變，搶抓半導體產業發展“窗口”機遇，“無中生有”布局半導體全鏈條產業。短短四年時間，一個代表著中國半導體材料前沿方向的“萬畝千億”新產業平臺，在綠水青山之間拔地而起。

2023年2月，浙江省委書記易煉紅深入麗水經開區調研指導工作時指出：“麗水經開區半導體產業園的發展充分證明，只要鉚定‘從無到有’的開拓進取精神，革命老區也能集聚和打造世界一流企業。”半導體產業從無到有，產業規模從小到大，是什么讓麗水許下“萬畝千億”的夢想？又是什么讓夢想一步步靠近現實，變得清晰可及？步入新發展階段，又該如何向高質量、可持續邁進？

從“0”到“1”，開辟“麗水芯路”

近年來，隨著中美貿易戰加劇，美國對中國半導體產業不斷制裁和打壓，使得長期依賴進口的中國半導體行業面臨的“缺芯”問題越發突出。突破“卡脖子”關鍵核心技術，逐步實現國產替代，成為時代最強音。

2018年8月，麗水市委市政府提出“生態是麗水最大優勢、發展是麗水最重的任務”，要求“發展階段不可逾越、發展階梯可以跨越”“改變產業結構、重塑產業體系”，要“搶抓新一輪科技和產業革命機遇培育發展新動能”，培育“新技術、新產業、新業態、新模式”，“山區也能搞創新，山區跨越式高質量發展更須搞創新”……這是麗水在新階段，對于搶抓戰略機遇、堅定發展轉型的深刻認識與自省。

在“外部形勢日趨嚴峻”和“內部產業亟待轉型”雙重因素的疊加影響下，半導體產業進入了麗水的視野。2019年，麗水作出發展半導體產業的重大決策，以麗水經開區為主平臺“無中生有”布局半導體全鏈條產業。

從“0”到“1”絕不是一件容易的事。沒有基礎、沒有參考、沒有模版，麗水經開區如何快速破題？迎難而上，是經開區的魄力，也是麗水的底氣。在麗水經開區黨委書記、管委會主任劉志偉看來，麗水發展半導體產業并非無源之水、無本之木。麗水發展半導體產業的優勢有兩點：從發展背景來看，當前國內長三角地區已經具有較好的半導體產業集群基礎，可以直接輻射到麗水。從產業發展要求來看，半導體生產制造過程需要非常清潔的環境，這也是國外半導體企業大多位于生態優美地區的原因之一。這對于“秀山麗水”來說恰恰是一個再好不過的機會。

是否有其他細分領域，既能夠讓麗水被長三角半導體產業發展輻射，又能發揮比較優勢在細分領域找到一席之地？為了“選準賽道”，麗水經開區一方面跑遍全國各地學習取經；另一方面與中科院半導體研究所、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、浙江大學、復旦大學光電學院等國內頂尖的技術團隊和科研院所反復對接，尋求良策。

時值全省各地都在瞄準新興產業、未來產業，聚力打造“萬畝千億”新產業平臺，在充分考慮麗水的資源稟賦、區位優勢、產業基礎以及區域分工協作等因素后，麗水經開區明確了差異化發展的路線：以打造特色半導體“萬畝千億”新產業平臺為抓手，形成一條以硅基材料為主的功率器件半導體產業鏈。

心中有方向，腳下有力量。經開區通過“雙招雙引”戰略性先導工程，精準招引項目。玨芯微電子是一家集研發、設計、生產、封裝、測試及應用等為一體的光電探測器和特種芯片晶圓制造企業，是典型的“小而專、小而全”企業。如今玨芯的“高溫制冷紅外探測器”已經成為國內該領域的一張王牌。然而就在四年前，玨芯微電子的落地經歷“一波三折”，通過專業機構分析鑒定：“項目技術含量高，成敗的關鍵在核心人才團隊”。有了這份“權威建議”，玨芯微電子快速集結6名國內半導體領域前沿專家，經開區采用“政府引導+市場化運作模式”，最終促成了項目的落地，變不可能為可能，拉開了麗水崛“芯”之路的序幕。

2019年6月，玨芯微電子正式入駐麗水經開區，之后僅用了10個月的時間便產出成果。2023年3月，玨芯憑借“高溫制冷紅外芯片及探測器技術”獲得了由國家科技部主辦的“全國顛覆性技術創新大賽”最高獎，實現了麗水市在全國唯一顛覆性技術專業領域“歷史性重大突破”。

麗水經開區在第一時間全面復盤，總結“基金招商+投貸聯動”的經驗，一方面，迅速建設麗水芯片產業園，科學規劃精準招引，另一方面，更加深刻地體會到以國內半導體產業權威機構為代表的“最強大腦”對半導體產業發展的戰略意義。經開區未來要打造高能級產業園必然離不開高能級科研院所、創新平臺與科研人才的集聚。

令人振奮的是，麗水市政府聘任中國科學院院士、紅外物理學家、半導體物理和器件專家、復旦大學光電研究院院長褚君浩院士為半導體全鏈條產業首席科學家，在麗水經開區設立“院士工作站”。

四年來，經開區先后引進了中國科學院院士、研究員、副研究員、高級工程師等一大批高層次人才，四年間新增博士及以上高層次人才793人，半導體產業專家庫收錄高層次專家48人，已經初步形成了由中科院、高校、科研單位等組成的科研力量，為麗水特色半導體“萬畝千億”新產業平臺的提供了強有力的智力支持。

百舸爭流千帆競,勇立潮頭敢為先。站在新的產業機遇期，麗水經開區主動轉變觀念，“白手起家”謀劃新的增長，“騰籠換鳥”立足新的起點，“二次創業”開啟新的征程。所有人都在拭目以待，在這片秀山麗水的“萬畝”土地上，特色半導體產業最終將成長為什么模樣。

從“1”到“N”，逐夢“萬畝千億”

從0到1的歷史性突破，給予了經開區發展半導體產業極大的信心。但對于產業鏈如何打造？走什么樣的產業發展模式？“萬畝”土地如何生出“千億”產值？這些都是經開區要應對的問題。

對此，褚君浩院士認為，在麗水形成一條半導體產業鏈生態鏈不能簡單模仿，而是要在不斷學習和實踐探索中找到符合麗水實際的半導體產業發展之路。經過不斷探索實踐，麗水經開區給出了“麗水方案”——“Smart IDM”模式。

一般而言，傳統的IDM模式半導體產業是集芯片設計、制造、封裝、測試等多產業環節于一體，一家公司就擁有半導體全流程生產能力。但在傳統的IDM模式下，僅僅是引進一家企業就需要上百億的資金作為支撐，這對于還處在發展初期的經開區來說，顯然不適用。

麗水首創的“Smart IDM”模式，即在一定區域范圍內，引入芯片設計、制造、封裝、測試等各個環節獨立的市場主體。該模式既解決了麗水資金支撐難的困境，又將傳統功率半導體產業發展模式的優勢合為一體。在政府的引導下，產業鏈上下游公司作為關聯又獨立的主體，既相互協作，在開發區內形成產業集聚。同時，又擁有各自獨立優勢，保持獨立運營、自主開發產品、接受市場競爭，更具靈活性。

2020年5月，總投資55億元的8-12英寸電子級半導體材料（晶圓片外延片）項目晶睿電子落地經開區，開工7個月就實現投產。被經開區的營商環境所打動，晶睿電子“轉換角色、以商招商”引薦廣芯微、芯微泰克等“兄弟”企業，又吸引了上海正帆特氣等關聯項目“接二連三、結伴組團”落地，麗水經開區“Smart IDM”模式初步成型。

不過，取得初步成績的麗水經開區并沒有停止腳步，決心招引一批技術國內領先、比肩世界的好項目落地，將目標瞄準了國家戰略性金屬材料“鉭”。麗水經開區巧借“麗水寧波山海協作”的機遇，多次邀請寧波江豐電子材料股份有限公司董事長姚力軍到麗考察，切身感受麗水“重科技引人才的力度之大、措施之實、心意之誠”。2020年6月，姚力軍決定把“超大規模集成電路制造用超高純鉭項目”落地麗水，設立同創（麗水）特種材料有限公司，僅用了8個月的時間，實現了“當年建設，當年投產”，實現了全球最前端5nm技術節點高純鉭靶材的量產，滿產后可年產超過400噸的超高純鉭錠，產量有望達到世界第一。

在中國半導體行業協會集成電路分會理事長、國家科技重大專項02專項技術總師葉甜春看來，麗水的“鉭”項目不僅解決了鉭制造“卡脖子”問題，結束了長期依賴進口的局面，而且是制衡全球鉭材料產業的“殺手锏”項目，具有戰略意義。屆時，麗水將成為世界級的超高純鉭靶材生產基地，成為中國集成電路制造用靶材發展史上新的里程碑。

此外，麗水經開區還將目光投向了半導體行業頭部企業。國內能獨立完成從12英寸單晶、拋光，到外延研發、生產的“全能型企業”中欣晶圓就是其中之一。“在秀山麗水之間照樣能辦好國際化的高新技術企業。”中欣晶圓董事長賀賢漢感慨地說，打動他的是麗水對半導體產業的科學規劃和精準定位，是麗水對戰略性新興產業和未來產業的深刻認識和深遠謀劃，也是麗水對企業、對項目的務實高效服務，中欣晶圓公司把麗水打造成中國外延之都。2021年11月，開工不到一年，中欣晶圓廠房提前一個月實現竣工。

麗水“獨特的生態環境和良好營商環境”的疊加效應，讓中欣晶圓多次選擇麗水，把總投資120元的富樂德半導體項目落到麗水，還布局了半導體材料、傳感器等配套項目，和麗水技師學院開展聯合辦學，共同成立了國內首家半導體工匠學院，實行校方和企業共同協力培養半導體“產業工匠”的“雙主體”培養模式。

如果說頭部企業落地是麗水半導體產業發展的“助推器”，那么百億級項目、細分領域領軍型企業則是麗水特色半導體產業可持續發展的“壓艙石”。麗水首個百億級制造業項目——東旭高端光電半導體材料項目，運用了國內光電半導體材料生產中最先進的“國家科技進步獎、中國專利金獎”等技術工藝，2022年6月開工10月試生產。麗水首個通過國家發改委窗口指導項目——旺榮半導體8英寸功率器件項目，總投資50億元，彌補我國8英寸功率半導體芯片供應缺口問題，今年8月投產。麗水首個高端特色硅基晶圓代工項目——廣芯微電子年產120萬片6英寸高端特色硅基晶圓代工項目，僅用145天實現通線試產，目前已經投入試生產。

短短四年間，麗水經開區以從“0”到“1”為基礎，創新“鏈長+院長+校長+行長”協同機制，探索特色半導體產業鏈現代化治理體系改革。由黨工委書記擔任“鏈長”推進組鏈成群、“院長”攻堅核心技術、“校長”精準培養工匠、“行長”供足金融活水，按照“高大上、鏈群配”要求實施“雙招雙引”戰略性先導工程，累計落地半導體項目31個，總投資超過600億元，2022年成功入選浙江省“萬畝千億”新產業培育平臺，構建形成“鏈主牽引—項目支撐—企業組鏈—產業集群”的發展態勢，構筑“遷不走”的產業生態。

麗水特色半導體產業鏈“Smar t IDM”生態圈初步成型，芯片材料（晶睿電子、中欣晶圓、同創特材、創欣新材料、正帆特氣）、設計（麗雋功率半導體、芯微半導體）、設備（聯芯半導體、睿昇半導體、麗暉智能）、制造（旺榮半導體、廣芯微電子、芯微泰克）、封裝測試（意芯半導體、頂米科技），基本形成“一園、一鏈、兩基地”的發展格局，即半導體產業園、以硅基材料為基礎的功率器件特色半導體全產業鏈、全國外延片主要研發生產基地和世界級超高純鉭材料生產基地。

道阻且長，行則將至；行而不輟，未來可期。從打造“Smart IDM”模式到招引行業領軍企業、百億級標志性項目，麗水經開區走出了一條另辟蹊徑的“萬畝千億”騰飛之路。談到未來，麗水經開區將以十年為期，到2030年特色半導體產業平臺實現千億產值。

逐夢“芯”征程 奮進向未來

九萬里風鵬正舉，“芯”征程未來可期。麗水在短短四年時間里強力推進特色半導體“萬畝千億”新產業平臺建設。一個個優質項目的落地，一批批創新成果的涌現，促成了半導體產業在麗水“從無到有”“從有到優”“從優到精”，未來如何進一步實現“從精到強”的轉變，是留待麗水解答的重要命題。新的發展時期，對麗水經開區的考驗仍在繼續。

——麗水半導體產業可持續發展之路如何走？

在褚君浩院士看來，麗水的半導體產業是否可持續，在未來能否具有競爭力，關鍵在于集聚更多的前沿科技和高端人才資源。

首先,要持續加強“政產學研用金”的有效聯動和深度融合。充分發揮政府的引導作用，實現資源整合和優化配置，深入推進科技成果轉化，形成“1+1＞2”的合力。通過政府優環境、企業主體強創新、學科人才激活力、科技研發出成果、成果轉化增效益、金融配套強保障。這是麗水半導體產業發展不斷注入新動能，實現可持續發展的必然選擇。

其次，要持續關注半導體產業需求和供給。從需求層面來看，與應用端建立密切的聯系和聯動，開辟更多新的應用場景，比如新能源、低碳技術、交通汽車電子、人工智能、智慧城市的建設。從供給層面來看，半導體產業可持續發展的核心是技術水平，尤其是關鍵核心技術的攻克，要推動在國際國內都具有較強競爭性的關鍵核心技術創新，積極布局第三代半導體。

最后，還要進一步“招大引強”，引進更多的鏈主企業、龍頭企業，進而帶動整個麗水半導體產業加快發展。同時，進一步圍繞當前產業鏈，做強塊狀產業鏈，將垂直鏈與塊狀鏈高度融合形成強大的產業集群。

——麗水新的考驗是什么？如何突破成長的煩惱？

“以產業定位科技、以科技索引人才、以人才支撐產業”。這是麗水經開區培育特色半導體產業生態的“金鑰匙”。四年來，麗水半導體得到極大發展，科技和人才集聚度較以往有了很大提升，但差距仍然不小。這是當前麗水半導體產業縱深發展出現瓶頸的最核心問題。麗水半導體產業要想脫穎而出，需要提升自身研發實力、布局前沿技術，重點攻克核心“卡脖子”技術，做出在國際國內一流的技術創新。

劉志偉表示，麗水經開區正在強力推進創新深化，構筑跨越式高質量發展的強大動力引擎，全力培育支撐產業可持續發展的科技要素、構筑科創體系，以“萬畝千億”新產業平臺打造為契機，大力培育半導體產業科創平臺，為人才發展提供更多新平臺、新空間。

首先，堅持“引產業必須引研究院”。投資21.26億元建設高能級科創平臺浙西南科創中心產業園，引進了中國科學院院士褚君浩院士工作站、復旦大學光電研究院玨芯實驗室、北京大學微電子系芯片設計研發、杭州電子科技大學麗水研究院等科研院所，持續對接中科大、西安電子科技大等一流科研機構，打造成為集聚引進戰略科技力量的強磁場。

其次，攥指成拳引育高水平研發機構，通過“問海借力”舉措，把域外科創飛地打造成為集聚引用戰略科技力量的橋頭堡，積極推進上海、杭州、深圳等地科創飛地平臺建設，以期與“萬畝千億”新產業平臺形成分工協作和優勢互補的創新格局。

此外，連續三年實施“才聚浙麗、科創未來”行動，切實保障高層次人才“來麗留麗，成為新麗水人”，累計投資上百億，引進華東師范大學附屬麗水學校、北京師范大學麗水實驗學校，建設第一人民醫院、麗水國際會展中心等，確保來到經開區的高管、科技人員以及產業工人的子女享受到長三角以及國內一流的教育、醫療等公共服務，為人才創業創新提供良好的公共服務保障，通過創建省級產城融合示范區和現代服務業高端制造業融合發展區等載體，助力特色半導體“萬畝千億”產業平臺跨越發展。

借力揚帆天地闊，擊鼓催征正當時。四年多來，麗水經開區用“芯”交出了一張又一張亮眼的成績單，也為山區縣發展高新技術產業和未來產業探索出了一條特色之路。從“摸著石頭過河”到“走出一條新路”，再到“迎著朝霞追趕”，麗水“萬畝千億”的夢想正在一步步照進現實。