打造一流微納制造平臺

20世紀70年代，微電子技術呈飛速發展趨勢。為適應我國兵器工業專用電路品種多、數量少、要求特殊、更新換代快等特點，加快基礎應用技術及軍用微電子技術研究，助推我國常規兵器機械化、電子化水平提升，安徽北方微電子研究院集團公司（簡稱“微電子院”）的前身——光電集成器件研究分所正式成立。

經過幾十年的發展，微電子院如今已成為國家半導體行業優勢單位、中國兵器工業集團微電子領域研產一體化產業集團。

技術創新不停歇

從依托國產設備構成的1.5英寸半導體集成電路研制能力，到借助引進厚膜混合集成電路生產線、形成4英寸半導體集成電路研制能力，再到建成6英寸半導體集成電路工藝線、6英寸硅基MEMS工藝線、6英寸LTCC工藝線等九大工藝制造平臺，連續攻克3微米、1.5微米、0.25微米到12納米設計與制造技術……40多年來，微電子院始終堅持在服務國家和集團公司戰略中找定位、謀發展，在加強關鍵核心技術攻關中固主業、強基業，在打造微納制造獨門絕技中求突破、建新功，技術和工藝創新不斷取得新突破。

進入新時代，微電子院認真審視微納制造技術應用的新領域，開辟了硅基MEMS/ MOMES器件與微系統、光電器件與組件、智能傳感與智慧互聯等八大技術路徑。

作為國內最早研究MEMS制造技術單位，微電子院的硅基MEMS制造技術已對標國際，形成多套工藝體系，包括G- SOI工藝體系、E- SOI工藝體系、TSV- SOI工藝體系、BCB-壓阻工藝體系、介質橋膜工藝體系以及MOEMS體硅工藝體系。其中，超高縱深垂直全不等高梳齒工藝、高真空度晶圓級真空鍵合工藝、多層硅硅直接鍵合工藝等關鍵技術達到國際先進水平，產品領域涉及慣性MEMS、光MEMS、環境感知MEMS等，涵蓋了不同領域的制造和生產需求，高性能慣性MEMS器件銷量穩居行業第一，近5年累計銷售達15萬余軸，有效支撐了我國自主可控高性能MEMS產品的研制。

當前，作為光學技術發展最活躍的領域之一，微納光學元件可以像集成電路一樣在潔凈室內批量制造，正逐步實現商業化應用。

微電子院精準地捕捉到微納光學元件潛在的巨大應用價值，基于自身在MEMS技術上的優勢，按照“突破一批、布局一批、跟蹤一批”的原則，與多家國內單位開展聯合攻關，有望取得新的突破。

產業創新不懈怠

全面建成社會主義現代化強國，離不開堅實的物質技術基礎。黨的二十大報告提出，要“建設現代化產業體系”“加快構建新發展格局，著力推動高質量發展”。今年的政府工作報告把“大力推進現代化產業體系建設，加快發展新質生產力”擺在各項工作之首。這給戰略性新興產業之一的微納制造產業帶來了難得的發展機遇。

對此，微電子院精準捕捉市場需求信息，因需施策、因策用力，充分發揮研發設計、晶圓制造、封裝測試、集成應用全產業鏈的價值創造能力，用好先進傳感、高端芯片、微納系統、硅光集成、人工智能等領域技術儲備，堅持IDM和代工“雙管齊下”，以科技創新優勢轉化為產業發展優勢。

一是連續啟動“春苗計劃”1.0和2.0版，將慣性器件、壓力傳感器、溫度傳感器等孵化成3個百萬級產品和3個千萬級產業。

二是推進微納制造產業基金公司、晶圓制造公司、傳感器公司、電子雷管模組公司“1+3”產業平臺落地。

三是利用微納制造作為新興產業的自有稟賦，先后謀劃在國務院國資委、科技部、工信部和省市實施集成電路、人工智能、微納制造等項目中的站位，成為腦機接口、人形機器人、特種機器人等戰略性新興產業和未來產業的牽頭單位、榜主單位、參與單位。

四是通過組織召開MEMS中國（蚌埠）智能傳感器產業發展大會、腦機接口產業創新發展大會、特種機器人智能傳感器創新發展大會等重要會議，組建創新聯盟，成立創新聯合體，聚集優質資源，建立完善研學產用一體推進的產業鏈，全面支持傳統產業轉型，搶占未來產業高地。

管理創新不止步

人是企業擁有的重要資源，也是企業的核心競爭力所在。微電子院雖然近幾年實現了快速發展，但規模體量還是不大，企業化運作才剛剛開始，人才儲備還有不少的短板。

為此，微電子院結合時代和行業發展特點，通過“引、育、培、聯”等途徑有效緩解人才短缺矛盾。

近5年來，微電子院通過成建制引進傳感器、電源、ASIC電路、封裝等5個技術團隊100余人，與高校合作培養碩博士、開辦微納制造“3+1”定制班，選送青年人才苗子進院校和上級機關學習，在北京、西安、合肥、廣州建立研發中心及測試中心等人才飛地，與清華、北大、中科院等40多家高校和科研院所開展戰略合作，全面提升聚集和使用優質創新資源的能力。

與此同時，微電子院還改革事業部制，通過組建科技產業部，實行業務板塊管理；建立市場開發部、市場分公司“1+6”市場銷售體系，構建“虛擬+實股”“一項一策”等“1+N”激勵機制；設立質量安全“兩個百萬”正向激勵基金，全面激發人才活力。

值得一提的是，在生產經營中，微電子院邊實踐邊總結，先后提出一系列創新理念引領公司高質量發展。例如，用“企業與職工同發展”“產業夢、平臺夢、員工福利夢”激發員工積極性創新性；用“堅持不懈對外合作，堅持不懈打造合作共贏的營銷體系”指導科研和市場工作；用“管理嚴一點、日子苦一點、發展快一點、考核狠一點”的拼勁與狠勁干事創業；用自主可控、黨建引領等五項重點工程明確發展路徑。這些理念通過實踐，已在職工中形成共識，被寫入微電子院“十四五”發展規劃。

國家有政策，集團有支持，市場有需求，職工有期待。如今，微電子院正處于快速發展的大好時期。下一步，微電子院要在習近平新時代中國特色社會主義思想的指導下，牢記國資央企科研創新、產業控制、安全支撐的使命任務，著力推進創新鏈、產業鏈、人才鏈、資金鏈融合發展，全面提升服務強軍勝戰、服務新質生產力發展、服務現代化產業體系建設的能力，朝著打造國內一流的微納制造平臺和融合發展的微電子產業基地目標不懈奮斗。

編輯/王盈 統籌/簡單