天津大學半導體裝備關鍵耗材國產化獲技術突破

天津大學先進材料與高性能制造團隊在氮化鋁、氮化硅陶瓷半導體設備耗材高精度加工基礎與應用研究方面取得新突破。其自主研發的主軸微納調控超精密制造系統，為硬脆材料高精度低損傷加工提供了重要的技術支撐。相關研究成果近日在線發表于《極端制造》。