面向現代制造的先進測試技術及其發展趨勢

殷國富，楊杰斌，趙雪峰，殷 鷹，陽 紅

（1.四川大學制造科學與工程學院，四川 成都 610065；2.中國測試技術研究院，四川 成都 610021）

1 引 言

制造業進入21世紀以來，面臨著如何增強企業間的合作能力，縮短產品上市時間，提高產品質量和生產效率，提高企業對市場需求的應變能力和綜合競爭能力的問題。用信息技術來提升、改造我國的傳統制造業，實施制造業信息化工程，推動制造企業實施數字化設計與制造集成，是機械制造業面臨的一項緊迫任務。制造業信息化工程實施對先進測試技術的需要更為迫切。因此，采用先進信息化數字測試技術和產品來迅速提升機械制造業水平，是當前一個重要的發展方向。作為現代制造系統運行質量保證體系中數據信息的獲取、分析和評定環節，先進測試技術和精密量具量儀是現代加工技術與裝備的眼睛，成為現代制造系統不可或缺的重要組成部分[1-3]。

目前，先進檢測技術有機集成到機械學科和先進制造中，為現代制造系統提供高效率、高精度和高質量的保證[4-5]。該文通過分析現代制造系統和現代測試技術特點，針對當前制造業信息化工程技術、高檔數控加工等現代制造系統應用的實際情況，分析論述現代制造技術與先進測試技術的協同發展的問題。通過討論先進測試技術現狀、需求與特征，分析論述了現代制造系統中的精密測試、在線檢測、數字化測試、計算機視覺測試、三坐標測試機等技術和應用發展概況，目的是圍繞現代制造業的發展需要，提出了先進測試技術領域的一些值得關注和重點研究的問題，供國內學術界和工業界同行參考。

2 現代制造與先進測試技術

現代制造系統是在吸收和發展機械、電子、信息、材料、能源及現代管理技術成果的基礎上，綜合應用于產品設計、制造、檢驗、管理、服務等產品生命周期的全過程，以實現優質、高效、低耗、清潔、靈活的生產模式，取得理想的技術和經濟效果的綜合化系統，也可以說現代制造系統就是一種信息系統[4-5]。如何提高制造系統的信息處理能力已經成為現代制造技術發展的一個重點。

先進測試技術是對被測對象的參量進行測量，將測量信息進行采集、變換、存儲、傳輸、顯示和控制的技術，是能大量儲存和快速處理信息的計算機技術和傳輸信息的通信技術的綜合[6-7]。

從表1可以看出，現代制造技術在向精密化、極端化、集成化、智能化、網絡化、數字化、虛擬化方向的發展過程中，促進了相應的先進測試技術的發展。同時，現代制造技術快速進步引發了許多新型測試問題，并將推進傳感器、測試技術、測試儀器系統與現代制造系統的協同發展，相互支持，構建集成一體化的現代制造集成系統（CIMS）。

3 先進測試技術現狀、需求與特征

現代制造企業需要強化具有自主創新技術的產品開發能力和制造能力，為了適應這種發展的需要，促進了先進制造技術發展和應用，同時也引發了許多面向現代制造的新型測試技術問題，推動著傳感器、測試計量儀器的研究與發展，促使測試技術中的新原理、新技術、新裝置系統不斷出現。國內外許多著名量儀量具制造廠商在近年來的CIMT（China International Machine Tool Show）展覽會上展示了他們所取得的部分科研成果，所展現的現代測試技術發展趨勢和面向市場與用戶、服務于加工制造現場、測試與加工制造過程融合集成的新動向，值得高度重視和密切關注[2]。

表1 現代制造系統中需要的相應測試技術

在制造企業中，用于制造過程中測試計量的費用往往占生產設備和產品成本的很大比例。根據美國、日本等工業發達國家的統計資料，在汽車制造行業，用于測試儀器及測試計量的費用約占產品成本的10%，在微電子制造行業高達25%[8]。隨著制造業數控加工機床等先進裝備快速發展和應用，測試計量儀器設備在生產設備中所占的比重越來越大，重要性更為突出。我國正在實施的科技重大專項“高檔數控機床與基礎制造裝備”是根據《國家中長期科學和技術發展規劃綱要（2006～2020年）》的要求設立，目標是圍繞航空航天、船舶、發電設備、汽車、電子及通信設備等制造業的迫切需要，提升裝備制造業的自主創新能力和核心競爭力[9]。面向精密、高速、大型數控機床的檢測技術與儀器系統，高性能激光測試系統，面向汽車精密零件、大型鑄鍛件等產品的自動檢測與無損檢測技術都是該重大專項第1批課題研究的重要內容。

機械產品的加工精度和制造質量直接受測試計量水平的制約，甚至所要求的精度要靠其來保證。對加工精度和質量要求的不斷提高都轉換為對高精度測試技術的要求。在超精密切削中，超精密機床和超精密測試技術都對加工精度和表面質量有重要影響。網絡制造過程中，互換性要求很高。因此，現代制造對測試技術不斷提出在尺度、精度、環境、方式等方面的新要求。

總之，現代制造技術的快速進步引發了許多新型計測問題，推動著傳感器、測試計量儀器的研究與發展，促使測試技術中的新原理、新技術、新裝置系統不斷出現。隨著現代制造技術的應用發展，測試計量技術面臨著新的挑戰，呈現出一些新的特點[7，10-11]：

（1）精密測試與極端測試需求不斷增加。20世紀50～90年代，一般機械加工精確度由0.1mm量級提高到0.001 mm量級，相應的幾何量測量精確度從1 μm提高到0.01～0.001μm。大型發電設備、航空航天機械系統等產品的發展，導致從微觀到宏觀的尺寸測量范圍不斷擴大，目前從微觀到宏觀的尺寸測量范圍已達10-15～1025的范圍，相差達到40個數量級。極端測試還表現在測量對象復雜化、測試條件極端化。在現代制造系統中，部分測量問題出現測量對象復雜化、測試條件極端化的趨勢。如需要測量整個機械系統或裝置，參數多且定義復雜；或需要在高溫、高壓、高速、高危場合進行測量，使得測試條件極端化。

（2）在線測試與機電系統的集成化。要求測試技術從傳統的非現場、事后測試，進入制造現場，參與到制造過程，實現現場在線測試，促進現代制造系統的集成化與智能化，為制造業信息化工程的推進、實施現代集成制造系統奠定技術基礎。

（3）測試系統的網絡化與智能化。當測試儀器系統進一步實現了網絡化以后，儀器資源將得到很大的延伸，其性能價格比將獲更大的提高，機械工程測試領域將出現一個更加蓬勃發展的新局面。

（4）測試信息的集成與多信息融合。傳統機械系統和制造中的測試問題，主要面對幾何量的測試，涉及的測量信息種類比較單一。當前復雜機電系統功能擴大，精確度提高，系統性能涉及多種參數，測試問題已不局限于幾何量，往往包含多種類型被測量、如力學性能參數、功能參數等。測量信息種類多、信息量大是現代制造系統的重要特征，信息的可靠、快速傳輸和高效管理以及如何消除各種被測量之間的相互干擾，從中挖掘多個信息融合后的目標信息將形成一個新的研究領域，即多信息的集成與融合。

（5）虛擬測試與虛擬儀器。虛擬測試技術是面向虛擬制造的測試技術，虛擬測試系統使產品從虛擬設計開始就處于系統中，以便有針對性的選擇材料和設計結構;當進行零件的虛擬加工時，可以在相應的虛擬測試系統中，進行切削加工過程仿真、特種加工過程仿真、制造過程仿真和裝配仿真，并虛擬測試有關的應力、變形、溫度、形狀、尺寸等，為零件虛擬加工提供足夠充分的信息。

4 面向現代制造的先進測試技術及其進展

在機械產品制造過程中，幾何尺寸與形位測量已從簡單的一維、二維坐標或形體發展到復雜的三維物體測量，從物體的整體性宏觀發展到局部性微觀。當前傳感、測試計量和計測儀器在現代機械制造過程中的作用和重要性較之過去有明顯提高，現代加工的設計理念、制造技術、測試方法已從傳統的非現場、事后測試進入制造現場，涉及到整個制造過程，實現現場的在線測試與控制，同時還需要參與到企業的信息化系統中。為此，本節重點對部分有代表性的先進測試技術、儀器系統以及應用發展情況進行分析綜述。

4.1 精密測試技術及其應用發展

目前，普通機械加工的加工誤差從過去的mm級向μm級發展，精密加工則從10μm級向μm級發展，超精密加工正在向nm級發展。精密測試技術是一門集光學、電子、傳感器、圖像、制造及計算機技術為一體的綜合性交叉學科，它與精密加工技術相輔相成，要求測量誤差比加工誤差高一個數量級，精密測試技術需要與精密加工技術的發展保持同步。目前研究與開發工作主要體現在如下方面：

（1）在實施“高檔數控機床與基礎制造裝備”科技重大專項中，需要針對高速數控機床、精密數控機床或重型數控機床的需要，開展綜合誤差補償技術研究，形成機床運行誤差的在線檢測、預測及軟硬件補償的技術，在高速、重型、精密類數控機床中應用并顯著提高其工作精度。

（2）高性能激光測試系統，重點是雙頻激光干涉儀，此種儀器測量準確度高，測量范圍大，常用于超精密機床作位置測量和位置控制測量反饋元件設備。目前，需要開發測量線值、直線度、平面度、角值等性能指標參數的高性能激光測量系統，達到線性測量分辨率 0.005μm，線性測量精度≤±0.7×10-6，最高測量速度≥60 m/min，長期穩頻精度±0.05×10-6。重點研究雙縱模穩頻、光強漂移及測量光束損耗的補償等技術，研制以激光干涉為基礎的數控轉臺測量儀、以激光差動干涉原理的數控機床插補誤差測量儀。

（3）近年來在超精密測試中比較常用的測試技術與儀器有掃描顯微測量、nm測量的掃描X射線干涉等技術。掃描顯微測量方法主要用于測量表面的微觀形貌和尺寸，用極小的探針對被測表面進行掃描測出表面的三維微觀立體形貌。X射線干涉顯微測量技術是近年來新發展的nm測量技術，是一種測量范圍大，較易實現的nm級測量方法[11-12]。

（4）精密測試儀器進入生產現場已成為先進制造系統的一個重要標志，精密與超精密測試技術及誤差補償技術、加工測試一體化成為研究重點和熱點問題，精密與超精密測試儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發展[13]。

4.2 制造現場在線檢測與數字化測試技術

數字化測試技術是數字化制造技術的一個重要的、不可或缺的組成部分。將測試技術和儀器集成于高檔數控機床或先進的制造生產線中，可使復雜精密數控切削加工機床的在線測試實現對復雜、高精度型面輪廓工件加工質量的實時檢測與監控。目前技術研究和集成應用體現在以下方面：

（1）數控機床在線檢測技術。數控加工是現代制造技術的基礎。每當一批零件開始加工時，有大量的檢測需要完成，包括夾具和零件的裝卡、找正、零件編程原點的測定、首件零件的檢測、工序間檢測及加工完畢檢測。在線檢測技術的發展為數控加工過程的質量檢測提供了一套行之有效的方法，逐漸取代了傳統的手工測試和離線測試，促進加工測試一體化的發展。

（2）測試儀器與制造系統的集成。將現代測試技術及儀器融合、集成于現代制造系統，從而構建成完備的閉環制造系統，為“零廢品”制造奠定了基礎。例如，格里森公司及克林格貝爾公司開發圓柱齒輪/錐齒輪閉環制造系統中，采用先進的齒輪測量中心及相應的齒輪測量軟件，與CNC齒輪加工機床相連，實現了圓柱齒輪、弧錐齒輪的CAD/CAM/CAI的閉環制造[14]。

（3）三維形貌測試技術。這是一類重要的幾何量測試技術方法，在模具、逆向工程、質量控制等方面有著廣泛應用。形貌測量已經過多年發展，形成了很多應用技術和系統。當前，形貌測量的研究方向是：現場測試并且要使用簡便；精度高、速度快；量程擴大，向微納和超大尺寸兩端延伸。具體研究內容包括微形貌測量、大形貌測量及整體誤差控制、精度分析及評價[15-16]。

（4）機器人測試技術。機器人是一類具備全部自由度、運動形式靈活、高度柔性的自動化設備。近些年來，機器人技術發展迅速，控制性能、重復定位精度和可靠性都有很大程度提高。目前，工業機器人能夠實現0.04mm的重復定位精度，為機器人用于測量提供了精度保證。以機器人為運動平臺，結合精密測量原理的在線精密測量設備，具有高度柔性和靈活的應用形式，展現出良好的應用前景。

4.3 計算機視覺測試技術

基于計算機視覺的測試技術是一種將計算機視覺、圖像處理和測試技術相結合的光學測試方法，原理上具有非接觸、可實時在線、精度高、信息量豐富等優點。與計算機視覺研究的視覺模式識別、視覺理解等內容不同，視覺測試技術重點研究物體的幾何尺寸及物體的位置測量，如轎車白車身三維尺寸的測量、模具等三維面形的快速測量、大型工件同軸度測量、共面性測量等。視覺檢測技術在目前被認為是實現在線精密測試的一種最有效手段，可以理想地解決多尺寸在線測試問題，通過對生產線中每個加工環節的加工狀態、加工產品的每個零部件進行實時檢測，提供制造過程生產線狀態和產品質量的完整信息。

視覺測試技術在國外發展很快，早在20世紀80年代，美國國家標準局就預計檢測任務的90%將由視覺測試系統來完成。目前，國內外利用視覺檢測技術研制的儀器與系統已較為普遍，如高速高精度數字化掃描系統、非接觸式光學三坐標測量機等先進儀器。

典型的基于計算機視覺測試系統結構如圖1所示。在需要的環境光照條件下，成像設備（CCD、攝像機、圖像采集卡等）把被測對象三維場景的圖像采集到計算機內部，應用圖像處理技術對采集到的原始圖像進行預處理，通過邊緣提取和亞像素技術得到所測對象的亞像素級邊緣，從圖像中提取感興趣的特征，進行模式識別與分類整理，運用人工智能等方法完成所要求的測試任務。

在視覺測試系統中，圖像識別處理技術已經成為測試技術中的重要課題之一。圖像識別測量過程包括：圖像信息的獲?。粓D像信息的加工處理，特征提取；判斷分類與結果輸出。

將視覺測試系統與工業機器人相結合并運用于現代制造系統，進行自動控制、零件測試、模式識別等工作是本學科領域研究的熱點問題之一，具有視覺功能的智能機器人將得到越來越廣泛的應用。針對柔性生產線機械加工工件的種類多、傳送不規范、運動速度較快以及現場環境光線多變的特點，以NJRA3-1小型多關節裝配機器人的5自由度運動機構作為攝像機的運動平臺，采用視覺檢測技術獲取機械零部件的幾何結構信息，開發研制了用于工業機器人的、在運動過程中檢測、識別和定位機械零部件的視覺檢測系統，軟件功能模塊見圖2所示。該系統可實現對機械零部件的檢測、圖像信息處理、定位與選取。

圖2 工業機器人視覺檢測功能模塊

4.4 三坐標測量機技術及其應用發展

三坐標測量機（CMM）是適應現代制造系統發展趨勢的典型代表，是一種在機械制造領域得到廣泛使用的幾何尺寸數字化檢測設備，幾乎可以對生產中的所有三維復雜零件尺寸、形狀和相互位置進行高準確度測量。目前三坐標測量機在技術上新的發展是：

（1）系統集成應用技術。坐標測量機測試軟件與CAD/CAM、三維反求系統軟件集成，可以把CAD/CAM系統以在線工作方式集成在一起，形成數字制造系統。

（2）誤差自補償技術。先進測試軟件系統中包含有系統誤差補償、系統參數識別和優化技術，同時在硬件設計上采用了新的技術，例如，德國Carl Zeiss公司最近開發的CNC小型坐標測量機采用熱不靈敏陶瓷技術（Thermally insensitive ceramic technology）和誤差自補償技術，使坐標測量機的測量精度在17.8℃～25.6℃范圍不受溫度變化的影響。

（3）數據處理技術與軟件。坐標測量機軟件系統具有測量數據獲取、處理、傳送以及建立數據庫等多項功能，可對測量系統給出的檢驗數據進行實時分析評估，自動生成各種統計報表。例如，日本Mitutoyo公司研制開發了一種圖形顯示及繪圖程序，用于輔助操作者進行實際值與要求測量值之間的比較，具有多種輸出方式。

（4）非接觸式測試探頭?；谌菧y量原理的非接觸激光光學探頭應用于CMM上代替接觸式探頭，通過探頭的掃描可以準確獲得表面粗糙度信息，進行表面輪廓的三維立體測量與識別，在對復雜曲面輪廓進行測試時精度可高于1μm。

（5）數碼柔性坐標測量。傳統坐標測量機受運動形式影響，不能應用于現場，數碼柔性坐標測量技術充分利用當前高精度數碼光學成像技術、圖像處理技術與模式識別技術、攝影成像原理，可以在工業現場組建全光學的柔性坐標測量設備，實現空間點坐標的高精度、大范圍、快速、非接觸測量。

4.5 無損檢測技術及其在線檢測系統

無損檢測是利用材料的某些物理量由于有缺陷而發生的變化，測量其變化量，從而判斷材料內部是否存在缺陷。目前，常用的無損檢測方法主要包括磁粉檢測、滲透檢測、渦流檢測、超聲檢測、X射線檢測等方法。無損檢測是工業生產中實現質量控制、節約材料、改進工藝和提高勞動生產率的重要手段，也是設備安全運行的重要檢測手段。

在2009年3月發布的“高檔數控機床與基礎制造裝備”科技重大專項第一批課題申報指南中，也涉及到面向汽車精密零件、大型鑄鍛件等產品的自動檢測與無損檢測技術的研究問題，目標是開發批量生產配套使用的高效率、高精度、智能化的自動檢測技術、系統平臺、設備和生產線，提供重大裝備配套的大型鑄鍛焊件超聲波與高能射線無損檢測、熱態在線測試等技術與設備[9]，配套相應的缺陷檢測與數據處理軟件或彩色圖像分析軟件。

針對大型發電設備、重型壓力容器等大型設備在制造過程中進行無損檢測的需要，在研究大型回轉件超聲波在線探傷方法、關鍵實施技術的基礎上，開發了一套在加工現場檢測大型回轉件內部缺陷的數字化超聲波檢測系統，總體結構方案見圖3所示。該系統由超聲波發射與接收板卡、在線檢測自適應探頭夾持裝置、缺陷定位子系統、供回油系統、便攜式工控計算機及運動小車等組成，具有超聲波數據的在線采集、顯示、分析處理、數據消噪、數據壓縮、數據存儲以及回放、缺陷特征提取、缺陷分析、探傷報告打印等功能[17]。

目前，超聲檢測技術也由以前的模擬檢測儀器發展到數字化檢測儀器，由以前的依靠經驗判斷缺陷發展到全自動探傷，并可對缺陷進行定性和定量的分析。國內外超聲檢測正在向著自動化、數字化和智能化方向發展。

4.6 網絡化測試技術及其遠程無損評判系統實例

網絡制造的實質是通過計算機網絡進行生產經營業務活動各個環節的合作，以實現企業間的資源共享、優化組合和異地制造，其基礎是信息的處理、交換、傳送和通訊。這一先進制造模式使得網絡化測試技術與具備網絡功能的新型儀器應運而生，為測試與儀器技術帶來了前所未有的發展空間和機遇。網絡制造和網絡測試協同發展是這一高新科技相互結合的關鍵技術問題，基于Internet的測控系統的一種體系結構方案見圖4所示。

當前，無線傳感器網絡是學術界和產業界關注的一個重要技術領域。該網絡是由部署在工作區域內、具有數據處理和無線通信能力的微小傳感器節點，以自組織方式構成的分布式智能化網絡系統，通過各類微型傳感器協同工作，監測、感知、采集和處理各種監測對象的信息，通過無線通信網絡傳送到用戶終端。將無線傳感器網絡運用到現代制造系統中，必將促進網絡制造模式的進一步發展。

在網絡化制造環境下，以先進的智能化檢測技術、傳輸技術、處理評判技術及網絡技術支持的計算機集成質量管理系統，能夠突破傳統質量管理在空間、時間、信息獲取能力、處理水平和處理能力等方面上的限制，為實現產品生命周期內質量環節的全過程集成和全面質量管理提供了手段。基于網絡的遠程智能檢測技術為異地領域專家進行遠程評判、管理提供了有力條件。圖5是一種基于Web的智能遠程無損評估系統。該系統構建在智能檢測技術、智能決策技術以及動態網頁技術的基礎上，可為遠程客戶提供無損檢測知識、檢測數據處理與評估、缺陷識別與決策服務[18]。測試技術網絡化有利于降低測試系統的成本，實現遠距離測控和資源共享。

5 研究與應用展望

圖5 遠程無損評判系統結構框圖

制造業的規模和水平是衡量一個國家綜合實力和現代化程度的主要標志。為使我國由制造大國轉變為制造強國，必須實現從傳統制造向現代制造的轉變?，F代制造中的先進測試控制技術是實現制造過程高附加值和產品高質量的重要保障?？傮w而言，我國精密測試技術和儀器的現狀仍然遠遠不能滿足國內機械裝備制造業迅速發展的需求，尤其是在先進測試技術和儀器的基礎理論研究、共性關鍵技術的開發方面與國外工業發達國家相比還有較大的差距。測試技術的研究要緊緊圍繞現代制造業的發展需要，不斷拓展新的測試原理和測試技術方法，開發先進儀器儀表和系統。就現代機械制造領域而言，以下將是一些值得關注、重點研究和應用的技術發展方向：

（1）新型傳感原理的創新和測試傳感器的開發，例如，基于MEMS工藝的集成多參數傳感器、耐高溫壓力傳感器、微慣性傳感器、光纖傳感器等。

（2）面向現代制造系統，尤其是高檔數控機床加工系統的在線精密測試技術及精度補償技術、加工測試一體化技術、非接觸及數字化測試技術與設備。在微米級和納米級的測試技術與設備方面，掃描隧道顯微鏡、掃描探針顯微鏡和原子力顯微鏡的應用于原子級的操作、裝配和改形等加工處理將是前沿技術問題。發展高分辨率激光干涉測試系統在超精測試和超精加工機床上的應用技術、復雜幾何型面輪廓測試技術及儀器。

（3）大尺寸、超大尺寸測試技術和儀器系統。代表性研究方向和重要測試問題如：大尺寸、高速跟蹤坐標測試系統、激光跟蹤干涉三維尺寸測試系統、面向大型尖端裝備制造的超精密測試，飛機制造中形狀尺寸測試、超大型電站裝備和重機裝備制造中的超精密測試。

（4）網絡化多傳感器測試及測試信息融合技術，這是提升測試系統性能的關鍵技術之一，在計算機網絡環境下的系統集成技術直接影響儀器儀表和測試控制科學技術的應用廣度和水平。

（5）零廢品生產中的測試控制技術。需要重點研究的問題是：工件加工前快速準確地對機床加工設備進行校檢的技術方法；生產過程中對工件進行在線測試；從精度理論方面需要研究動態精度理論，包括動態精度的評價技術。通過在線測試數據分析加工和測試過程中誤差分布的動態特性，進行加工質量預測，做到質量超前控制。

（6）與國家重大工程相配套的測控儀器及其系統集成技術。需要解決智能化和高精度、高可靠性、大量程等有特殊要求的自動化儀表與系統集成技術。

總之，現代制造系統的發展需要先進測試技術的同步支持和協同發展。在面向未來制造系統的測試技術及儀器系統研發中，需要加大科研投入，重視基礎研究，產學研合作，緊密聯系制造過程的應用需要，促進先進測試測試技術的快速發展，為現代制造的發展發揮更大的作用。

[1]Wei Gao，Yasuhiro Takaya，et al.Advances in measurement technology and intelligentinstruments forproduction engineering[J].Measurement Science and Technology，2008，19（8）：1-3.

[2] 謝華錕.CIMT2009展覽會量具量儀展品述評[J].世界制造技術與裝備市場，2009（5）：40-44.

[3] 葉聲華，秦樹人.現代測試計量技術與儀器的發展[J].中國測試，2009，35（2）：1-6.

[4]顧新建，祁國寧，譚建榮.現代制造系統工程導論[M].杭州：浙江大學出版社，2007.

[5] 王先逵.現代制造技術及其發展趨向[J].現代制造工程，2008（1）：1-8.

[6] 吳國慶，王格芳，郭陽寬.現代測控技術及應用[M].北京：電子工業出版社，2007.

[7]國家自然科學基金委員會工程與材料科學部.學科發展戰略研究報告：機械與制造科學[R].北京：科學出版社，2006.

[8] 吳耀金，張治民，于建民，等.先進制造過程的測試技術及其發展趨勢[J]，鍛壓裝備與制造技術，2006（6）：27-30.

[9]“高檔數控機床與基礎制造裝備”科技重大專項2009年第1批課題申報指南[EB/OL].[2009].http://www.most.gov.cn/tztg/200903/t20090306_67813.htm.

[10]Angrisani，Leopoldo，Measurements for networking：An overview [C]∥IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference Proceedings，2008：1328-1333.

[11]董紅磊.精密加工與精密測量技術的發展[J].宇航計測技術，2008，28（6）：20－22.

[12]Pryputniewicz，Ryszard J.Advances in optoelectronic methodology for micro-and nano-scale measurements[C].Proceedings of SPIE-the Iinternational Society for Optical Engineering，2007，16（2）：66-76.

[13]Weckenmannl A，Peggs G，Hoffmannl J.Probing systems for dimensional micro-and nano-metrology[J].Measurement Science and Technology，2006（17）：504-509.

[14]謝華錕.數控刀具制造及切削加工領域中數字化測量技術及量具量儀的發展[J].工具技術，2008，12（42）：3-9.

[15]Tsukahara，Hiroyuki.Three-dimensional measurement technologies for advanced manufacturing [J].Fujitsu Scientific and Technical Journal，2007，43（1）：76-86.

[16]Azernikov S.Emerging non-contact 3D measurement technologies for shape retrieval and processing[J].Virtual and Physical Prototyping，2008，3（2）：85-91.

[17]趙秀粉.超聲波自動檢測關鍵技術及大型回轉件在線檢測系統研究[D].成都：四川大學博士學位論文，2008.

[18]嚴寒冰.面向網絡化產品質量管理系統的智能測控與評估技術研究[D].成都：四川大學博士學位論文，2008.