脈沖LD泵浦電光調Q深紫外激光器

岱　欽，史瑞新，崔建豐，李　漫，李業秋，烏日娜，姚　俊

(1.沈陽理工大學 理學院，遼寧 沈陽　110159；2.吉林大學 口腔醫學院，吉林 長春　130021；3.鞍山紫玉激光科技有限公司，遼寧 鞍山　114000)

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脈沖LD泵浦電光調Q深紫外激光器

岱欽1*，史瑞新2，崔建豐3，李漫1，李業秋1，烏日娜1，姚俊1

(1.沈陽理工大學 理學院，遼寧 沈陽110159；2.吉林大學 口腔醫學院，吉林 長春130021；3.鞍山紫玉激光科技有限公司，遼寧 鞍山114000)

研制了千赫茲213 nm深紫外全固態激光器。激光器采用脈沖LD側面泵浦方式和電光調Q技術，實現了10瓦級基頻光的穩定輸出。利用多次倍頻技術，實現了穩定的213 nm深紫外激光輸出。當LD泵浦電流為80 A時，213 nm激光輸出的最大平均功率達到了151 mW，激光器重復頻率為1 kHz，激光脈沖寬度為10 ns，功率不穩定度為3%。同時，對激光在非線性晶體中的偏振匹配和不同重復頻率條件下的激光器運轉特性進行了分析。

深紫外；LD脈沖泵浦；全固態激光器

*Corresponding Author,E-mail:daiqin2003@126.com

1　引　　言

深紫外激光以其波長短、光子能量高、可聚焦能力強等優點，在精密加工和光刻、高密度數據存儲、激光醫療、環境監測、高端LIBS測量等領域都有重要的難以替代的應用[1-9]。通常的深紫外獲得方法有兩種：一是采用準分子激光器直接激發，二是通過多次倍頻。前者通常使用類似KrF之類的有毒氣體，有一定的潛在危險性，同時光束質量一般比較差，而且造價昂貴；后者多為低重復頻率如10 Hz的大能量脈沖激光器變頻，雖然效率和出光能量尚可，但由于頻率太低，很多應用無法滿足。深紫外全固態激光器與其他激光器相比具有諸多優點，利用深紫外非線性光學頻率變換獲得深紫外尤其是千赫茲量級重復頻率的深紫外相干光源已成為當前一個研究熱點[10]。……