一種航天用光電耦合器內(nèi)部氣氛含量?jī)?yōu)化控制

歐熠，王堯，冉龍明，張怡

（1.重慶聲光電技術(shù)研究所，重慶400060；2.中國(guó)人民解放軍空軍駐重慶地區(qū)軍事代表室，重慶400060）

一種航天用光電耦合器內(nèi)部氣氛含量?jī)?yōu)化控制

歐熠1，王堯1，冉龍明2，張怡1

（1.重慶聲光電技術(shù)研究所，重慶400060；2.中國(guó)人民解放軍空軍駐重慶地區(qū)軍事代表室，重慶400060）

光電耦合器內(nèi)部氣氛含量過(guò)高會(huì)加速光電耦合器的失效，光電耦合器的壽命與內(nèi)部氣氛含量呈負(fù)指數(shù)關(guān)系，即壽命隨內(nèi)部氣氛含量的提高而迅速降低。介紹了光電耦合器內(nèi)部氣氛含量的控制方法，通過(guò)優(yōu)化和改進(jìn)管殼除氫工藝、（管殼和芯片）清洗工藝、（內(nèi)瓷片和芯片）燒結(jié)工藝、助焊劑清洗工藝、平行封焊工藝，使一種氣密性陶瓷封裝光電耦合器內(nèi)部氣氛含量得到了優(yōu)化和控制。

優(yōu)化控制；光電耦合器；內(nèi)部氣氛含量

1 引言

對(duì)于氣密性陶瓷封裝光電耦合器內(nèi)部氣氛的分析，國(guó)內(nèi)研究比較多的是水汽含量[2～6]，文獻(xiàn)表明氣密性陶瓷封裝光電耦合器的內(nèi)部氣氛中水汽含量（體積比）已很好地控制在5 000×10-6以下，通常可以維持在1 000×10-6的水平[7～9]。但對(duì)于航天用光電耦合器而言，只控制水汽含量不能保證器件長(zhǎng)期和嚴(yán)酷環(huán)境下的可靠性，還需對(duì)二氧化碳、氧氣、氫氣含量進(jìn)行控制。

內(nèi)部氣氛含量過(guò)高會(huì)對(duì)光電耦合器造成惡劣的影響，具體如表1所示[10]。

因此，為滿足航天某項(xiàng)目的要求，提出了對(duì)某型號(hào)光電耦合器內(nèi)部氣氛含量的控制要求，對(duì)器件內(nèi)部水汽、氧氣、氫氣和二氧化碳的控制做出了明確的指標(biāo)要求：內(nèi)部水汽含量≤3 000×10-6，內(nèi)部氧氣含量≤4 000×10-6，內(nèi)部氫氣含量≤2 500×10-6，內(nèi)部二氧化碳含量≤5 000×10-6。……