催化劑二氟化鈷的制備

吳祥虎，王百林，程 緊

·研究與開發·

催化劑二氟化鈷的制備

吳祥虎1，王百林2，程 緊3

(1.廣東華特氣體股份有限公司，廣東 佛山 528241；2.郴州湘能半導體氣體有限公司，湖南 郴州 423000；3.江西華特電子化學品有限公司，江西 九江 330321)

在特定的溫度和介質中，將潮濕的二氯化鈷放在特制的烘箱中烘干，得到硬化成型的二氯化鈷，造粒過篩并裝入反應塔，在通入氬氣加熱進一步脫水后與氟化氫反應，通過控制反應溫度與通入氟化氫的流量制備二氟化鈷。分析了得到的二氟化鈷的純度與性能，與理論計算值非常接近。實驗結果表明，在特定的工藝條件下，由二氯化鈷與氟化氫反應制備的二氟化鈷純度可達99%以上，還原性良好，所產生的氯化氫也可以回收利用。

二氟化鈷；二氯化鈷；氟化氫；氯化氫

0 引 言

隨著時代的發展，電子產品的應用日漸廣泛，電子芯片生產中必不可少的氟碳類氣體更是供不應求，雖然氟碳類氣體應用廣泛，但是產量卻是少之又少，20世紀90年代氟碳類氣體產品主要靠國外進口，近年來我國自主研發的氟碳類氣體產品也有所增加，進而穩固了我國電子氣的市場。

氟碳類產品的生產中應用較為廣泛的催化劑主要是CoF2，由于CoF2屬于無機金屬鹽類，難以固化成型，且CoF2易潮解，故對產量造成了一定影響。

本文就CoF2的制備方法和設備(見圖1)做了一定的研究，得到了純度為99%且還原性較好的CoF2，用此方法制得的CoF2作催化劑，合成的C3F8粗品純度最高可達99.8%，大大降低了C3F8精餾純化的時間，節約了生產成本，提高了生產效率。……