硼硅酸鹽超高精度磨削表面粗糙度

硼硅酸鹽超高精度磨削表面粗糙度

硼硅酸鹽(BK7)廣泛應用于汽車和光學工業，用于生產許多關鍵的光學元件。在正常的生產實踐中，BK7元件的表面經過研磨、拋光等一系列的生產操作，以獲得高光學質量的納米光潔度。在本研究中，從BK7到機器平面使用超高精度研磨主軸安裝在超高精度機床上。通過監測得到的高采樣率的聲學信號，觀察該過程。本研究對三種磨削參數、切割深度、進給速度和轉速進行了研究。

超高精度加工系統和加工參數的正確組合可以實現良好的表面處理。通過優化設計的響應面模型，實現了80nm的最小值。因此，使用低的進料速度、切削深度和高轉速可以達到更好的表面處理效果。在BK7玻璃表面粗糙度上，其進料率是最具影響的參數。因此，增加給料會造成表面的不良。然而，在高的給料和切割深度下，提高輪速可以稍微改善表面粗糙度。此外，給料的影響取決于與速度的相互作用效應。

實驗結果表明，地面試樣的表面粗糙度具有較強的獨立性。結果表明，不同進料速度的影響比切割深度和輪速的影響更明顯。此外，還觀察到聲發射事件的振幅隨磨削參數的變化而發生顯著變化。研究結果表明，聲發射傳感技術有可能成為BK7玻璃超高精度磨削的有效監測方法。

刊名：Procedia CIRP（英）

刊期：2016年第45期

作者：G.Onwuka

編譯：杜桂枝