芯片設備 星火燎原

樊暢

技術門檻高，占據上游，半導體生產設備和材料在整個產業鏈中的地位不容小覷。

根據國際半導體產業協會SEMI的統計，2016年全球半導體設備出貨額412億美元，全球半導體材料出貨額443億美元，共計800多億美元。

受益于中國市場需求增加猛增，2017年半導體設備熱度不減，全年出貨金額達560億美元，同比大幅增長40%，目前該領域中國仍然主要依靠進口。

差距懸殊

從下表可以看出，全球半導體設備企業前十名的營收門檻為8.9億美元。前十名企業均來自美國、荷蘭以及日本。

回到國內，中國2016年營收最高的半導體設備公司收入9.08億元（1.37億美元），盡管2017年的具體數字尚未公布，但可以看出，中國企業離世界十強的門檻相去甚遠。

不過中國半導體制造設備增速很快。前十強的增速快于整體水平，市場集中度在不斷提高。

2017年半導體設備板塊實現營收52.47億元，同比增長56.05%，2018年一季度實現營收13.60億元，同比增長46.08%，繼續保持高速增長趨勢。

從總體規模來看，全球市場約為412億美元，中國設備廠家全部加起來才8.63億美元，占比僅為2%左右，可見進口替代空間巨大。

哪些企業最受益？

中國半導體設備企業中最值得關注的有以下幾家企業。

北方華創（002371.SZ）

北方華創是我國最大規模的專業半導體設備企業，2017全年實現營業總收入22.23億，同比增37.01%，凈利潤1.26億元，同比增長35.21%。

其中，半導體設備收入占總體營收的51.59%，增長速度超過40%。北方華創產品涉及氧化爐、刻蝕機和薄膜沉積三類。

長江存儲3D NAND FLASH產線的氧化爐設備就采用北方華創的產品，該款氧化爐在進入長江存儲產線之前，已經批量應用于中芯國際、上海華力芯片生產線。長江存儲還購買了北方華創的刻蝕機和PVD機臺。

北方華創在硅刻蝕機領域實現突破，2016年研發出了14nm工藝的硅刻蝕機。目前中芯國際在研發的14nm工藝，就在驗證使用北方華創的硅刻蝕機。

北方華創在PVD設備和單片退火設備領域也實現了批量出貨，目前主要在28nm級別。在薄膜沉積設備領域，北方華創進展較快，多種14nm的生產設備也在產線驗證中。

北方華創還有第四種關鍵設備——清洗機。2017年8月7日，北方華創花費1500萬美元收購了美國Akrion公司。后者是一家專注于硅片清洗設備業務的公司。

中電科電子裝備公司

中電科電子裝備公司，2016年銷售收入9.08億元，中電科裝備隸屬于中國電子科技集團。

電科裝備目前是國內唯一集研發、制造、服務于一體的離子注入機供應商，已經為中芯國際完成了將近200萬片的生產量。

2017年11月21日，電科裝備自主研發的200mmCMP商用機完成內部測試，發往中芯國際天津公司進行上線驗證。實現了我國在此領域零的突破。

除了集成電路晶圓制造兩大關鍵設備以外，電科裝備還是國內主力的集成電路封裝設備制造商，其封裝設備累計銷售2000余臺套，已經批量應用于長電科技、通富微電、蘇州晶方等國內知名封測企業。

晶盛機電（300316.SZ）

晶盛機電主要營收來自單晶爐為核心的單晶硅生產設備，主要應用于光伏產業。據悉，2017年以來接到的總半導體設備訂單才剛剛達到1.3億元。不過，其獲得了全球十大硅片供應商之一臺灣合晶科技8000萬元的設備訂單。

2017年10月31日，晶盛機電與中環股份以及無錫市政府簽訂合作協議，計劃在江蘇宜興建設集成電路用大硅片生產與制造項目，總投資30億美元，第一期投資15億美元。國內極度缺乏大硅片項目，處于被日韓臺卡脖子的狀態，日本信越、日本SUMCO、臺灣環球、德國Siltronic、韓國SKSiltronic五家壟斷了98%的份額，其中日本的兩家占了全球60%。因此晶盛機電該項目值得后續關注。

中微半導體

2017年中微半導體實現銷售額11億元。產品主要覆蓋三大領域，一是LED芯片MOCVD機臺。

中微半導體在2017年10月宣布，其MOCVD設備Prismo A7機型出貨量已突破100臺，邁向重要里程碑，該款MOCVD在2016年才推向市場，由于持續接到新訂單，中微預計2017年底可望出貨約120臺MOCVD設備。

整個中國大陸市場2017年預計新增的MOCVD大約為200臺，按照中微半導體的出貨量，國內市場占有率可以達到30%-40%，甚至以上，這是非常不錯的成績。

第二個產品是介質刻蝕機，用于集成電路芯片制造，目前已經可以做到22nm及以下，中微半導體的14nm也在產線進行驗證，同時在推進5nm的聯合研究。

第三是硅通孔刻蝕設備，主要用于集成電路芯片的先進封裝。

中微處于比較好的發展態勢，MOCVD機臺已經受住了量產的考驗，將會迎來大批量出貨時期，其多年來集中力量攻關的等離子體介質刻蝕機，已經在國際大廠部署多年。

上海微電子公司

在光刻機領域，上海微電子公司2016年半導體設備收入為2.9億元，該公司具備研發和制造光刻機的能力。也是國內唯一從事光刻機研發制造的公司，不過目前只能做到90nm。業界主要制程工藝，基本已經在65nm以下，上海微電子也在進行65nm制程工藝光刻機的研發。

目前，荷蘭ASML已經占據光刻機領域大約80%的市場份額，壟斷了高端光刻機市場，日本尼康在高端光刻機上已經徹底敗退， 英特爾、臺積電、三星、格羅方德、聯電以及中芯國際等晶圓廠的光刻機目前基本來自ASML。

最先進的EUV光刻機全球僅有ASML能夠生產，ASML在2016下半年出售的兩臺EUV光刻機，單價都超過1億美元，而落后EUV一代的ArF光刻機平均售價也在四五千萬歐元左右。可以說光刻機是集成電路制造領域最后的皇冠。

以上幾家生產設備廠家，客戶集中在國內，客戶包括中芯國際、華力微電子等廠家。

中國集成電路產業的發展，直接影響甚至決定著上游國產設備廠家的發展。中國電科、北方華創、中微半導體、上海微電子、盛美半導體組成的中國半導體設備群體，成才空間巨大，星星之火，可以燎原。