劉帥
(北京慧摩森電子系統(tǒng)技術(shù)有限公司,北京 100083)
圓光柵編碼器具有高分辨率、高精度、結(jié)構(gòu)簡單和響應(yīng)速度快等特點(diǎn),使其在高精度分度盤、精密轉(zhuǎn)臺等精密測量領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。圓光柵編碼器主要有兩部分組成:光柵碼盤和讀數(shù)頭,讀數(shù)頭和安裝在旋轉(zhuǎn)軸上的光柵碼盤相對移動,讀數(shù)頭將光學(xué)信號轉(zhuǎn)為電信號輸出,傳輸?shù)娇刂葡到y(tǒng)采集使用。偏心誤差對于測量精度影響非常大,過大的偏心可能導(dǎo)致編碼器在整圈內(nèi)信號輸出不連續(xù)。
在旋轉(zhuǎn)過程中,旋轉(zhuǎn)軸的跳動會對編碼器的測量產(chǎn)生影響,降低系統(tǒng)精度。因此正確的軸承選擇是集成過程中非常重要的一部分。對于高精度應(yīng)用,推薦使用符合國際電氣制造業(yè)協(xié)會(NEMA)7級或者更好的軸承。空氣軸承近年來得到了廣泛的應(yīng)用,空氣軸承旋轉(zhuǎn)跳動精度比機(jī)械軸承更好。
光柵碼盤是在玻璃基片上刻畫出等間距的一圈光柵,相鄰光柵的間距在制作過程中就存在一定的誤差,目前常用的光柵柵距為20 μm,正負(fù)0.12 μm的誤差認(rèn)為是比較好的誤差等級,如圖1所示,R為光學(xué)半徑,C為柵距誤差即條紋誤差,θ代表柵距誤差帶來的角度誤差,S為θ對應(yīng)的圓弧,假設(shè)C≈S,θ=S/R。對于直徑越小的光柵碼盤,此項(xiàng)誤差帶來的影響越大。
因此,旋轉(zhuǎn)編碼器的測量精度主要取決于光柵尺的規(guī)格、條紋誤差和偏心誤差。

圖1 條紋誤差
圓光柵的旋轉(zhuǎn)精度主要分兩個(gè)部分:長行程誤差和短行程誤差,如圖2所示;……