用于塑封設備的直線導軌安裝技術研究

陳迎志

(文一三佳科技股份有限公司集成電路封測裝備安徽省重點實驗室，安徽銅陵244000)

直線導軌是機械運動過程中通常使用的一種標準件，在半導體專用塑封設備中得到廣泛地應用。它的作用是用來支撐和引導運動部件，依靠導軌兩側兩列或四列滾珠循滾動，從而帶動工作臺按給定的直線方向在高負載的情況下，實現高精度而且平穩的往復直線運動。圖1所示為直線導軌，由直線滑軌和滑座組成。工作臺與滑座螺釘相連，在電機絲杠或同步帶的驅動下，工作臺與滑座一起在直線滑軌上作往復直線運動。

圖1 直線導軌

1 直線導軌的定位方式

直線導軌如何定位裝夾的呢？根據設計要求，直線導軌應固定導軌支架安裝面上，安裝面上設計臺階定位或以銷釘定位，如圖2所示。

圖2 直線導軌的定位方式

圖2中為雙排導軌安裝。雙排直線導軌安裝分主導軌安裝和副導軌安裝，在導軌支架上安裝雙排直線導軌時，首先將主導軌定位，目前比較普遍的是銷釘定位或臺階定位，要求將導軌安裝基準面（導軌上有標記）與定位臺階或定位銷緊密接觸，主導軌安裝完畢后，再安裝副導軌。

2 直線導軌的裝配過程及調試方法

2.1 安裝前準備

（1）直線導軌安裝所用工具準備：油石，防銹油，扭力扳手，細棉手套，千分表，水平儀，銅棒等。

（2）導軌安裝面的清潔處理；對于臺階定位的安裝部位的倒角必須符合圖紙要求，若發現倒角過大或凸出，應及時采用油石和銼刀處理，否則會造成導軌安裝精度不良或者會干涉滑塊。……