用于塑封設(shè)備的直線導(dǎo)軌安裝技術(shù)研究

陳迎志

(文一三佳科技股份有限公司集成電路封測(cè)裝備安徽省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，安徽銅陵244000)

直線導(dǎo)軌是機(jī)械運(yùn)動(dòng)過(guò)程中通常使用的一種標(biāo)準(zhǔn)件，在半導(dǎo)體專用塑封設(shè)備中得到廣泛地應(yīng)用。它的作用是用來(lái)支撐和引導(dǎo)運(yùn)動(dòng)部件，依靠導(dǎo)軌兩側(cè)兩列或四列滾珠循滾動(dòng)，從而帶動(dòng)工作臺(tái)按給定的直線方向在高負(fù)載的情況下，實(shí)現(xiàn)高精度而且平穩(wěn)的往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。圖1所示為直線導(dǎo)軌，由直線滑軌和滑座組成。工作臺(tái)與滑座螺釘相連，在電機(jī)絲杠或同步帶的驅(qū)動(dòng)下，工作臺(tái)與滑座一起在直線滑軌上作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。

圖1 直線導(dǎo)軌

1 直線導(dǎo)軌的定位方式

直線導(dǎo)軌如何定位裝夾的呢？根據(jù)設(shè)計(jì)要求，直線導(dǎo)軌應(yīng)固定導(dǎo)軌支架安裝面上，安裝面上設(shè)計(jì)臺(tái)階定位或以銷釘定位，如圖2所示。

圖2 直線導(dǎo)軌的定位方式

圖2中為雙排導(dǎo)軌安裝。雙排直線導(dǎo)軌安裝分主導(dǎo)軌安裝和副導(dǎo)軌安裝，在導(dǎo)軌支架上安裝雙排直線導(dǎo)軌時(shí)，首先將主導(dǎo)軌定位，目前比較普遍的是銷釘定位或臺(tái)階定位，要求將導(dǎo)軌安裝基準(zhǔn)面（導(dǎo)軌上有標(biāo)記）與定位臺(tái)階或定位銷緊密接觸，主導(dǎo)軌安裝完畢后，再安裝副導(dǎo)軌。

2 直線導(dǎo)軌的裝配過(guò)程及調(diào)試方法

2.1 安裝前準(zhǔn)備

（1）直線導(dǎo)軌安裝所用工具準(zhǔn)備：油石，防銹油，扭力扳手，細(xì)棉手套，千分表，水平儀，銅棒等。

（2）導(dǎo)軌安裝面的清潔處理；對(duì)于臺(tái)階定位的安裝部位的倒角必須符合圖紙要求，若發(fā)現(xiàn)倒角過(guò)大或凸出，應(yīng)及時(shí)采用油石和銼刀處理，否則會(huì)造成導(dǎo)軌安裝精度不良或者會(huì)干涉滑塊。……