崔 潔,霍 杰,劉子陽,徐品烈
(北京中電科電子裝備有限公司,北京 100176)
一臺新型半導體專用設備的成功研發,是橫跨電子、機械、自動化、光學和計算機等眾多學科,涉及機、光、電、軟件等眾多核心技術和高科技領域。所以,設備軟件是在特定的機械電氣硬件環境下運行滿足客戶的工藝要求。同時,設備軟件作為軟件的一部分,廣泛應用于工業生產中。下面將從軟件的角度,結合專用設備的特點,具體介紹自頂向下的設備軟件的模塊化具體設計方法。
一般,半導體電子設備供應商根據半導體市場需要、客戶的工藝要求,設計開發具備什么樣功能和性能的半導體專用設備;而要達到設備設計要求,需要機、電、軟件協調配合實現設備整機和各功能部件;然后通過裝配調試設備,最終滿足客戶工藝要求和市場的需要。另外,后續還需要對設備進行定期追蹤維護和技術升級??偲饋碚f,設備開發的流程如圖1所示,是一個自頂向下、不斷細化的過程。

圖1 設備開發流程圖
自頂向下作為一種軟件工程化的設計思想,適用于設計各種規模的系統開發,是一種逐步求精設計程序的過程和方法。軟件工程的目的是倡導工程的原理、原則和方法進行軟件開發,軟件開發的流程是覆蓋整個軟件生存期的系統開發、運行和維護等全過程。
其中,瀑布式開發方法是經典的軟件生命周期開發方法,是嚴格按照軟件開發的步驟進行實施的一種軟件開發方法?!?br>