荏原AAS100WN真空泵自主維護

陳白冰，黃曉許，曹 珂，高曉生

(中國空空導彈研究院，河南 洛陽 471000)

真空泵是半導體生產線中最常見的基礎設備之一，為各個環節的生產工序提供真空工藝條件。PECVD工藝主泵常采用螺桿式真空泵。運行過程中殘余反應氣體會攜帶少量氮化硅顆粒進入真空泵內，即使具有氮氣稀釋功能，氮化硅顆粒仍會附著在泵殼與螺桿上，導致螺桿與泵殼之間間隙減小，造成主軸卡死。因此必須定期對泵組進行分解維護保養或維修恢復其性能。

1 自主維護流程

（1）閱讀設備說明書，學習真空泵的工作原理。

（2）對故障泵組進行拆解，了解零部件結構、安裝順序與相互關系，進行工作原理分析。

（3）將主要零件精確測繪，一般部位的測量精度達到0.02mm，對關鍵配合尺寸的測量精度要達到0.002mm。對關鍵旋轉零件做摸底測試，參考軸承手冊對所用軸承查明型號，分析應用特點，了解選型原理。對關鍵的軸承進行檢測，復核型號，了解受力情況和磨損情況。

（4）用繪圖軟件對各個零件進行精確三維立體建模，模擬仿真裝配，觀察各零件在裝配圖中的位置關系，確定零件間的配合性質，了解零件的功能用途。

（5）從設計者的角度，對照泵組應實現的功能，研究各個零件的作用，裝配要求。結合使用環境，歸納泵組的特點。對照設備所實現的工藝要求，參照真空設計手冊中該類型泵的類似產品得出結論。

（6）拆解多個真空泵，積累不同工況下平均無故障時間數據，分析故障產生原因，確定維修重點。……