關于電子行業職業病化學有害因素防護設施的分析

宋巍

【摘 要】通過舉例分析的形式，對電子行業職業病化學有害因素的防護進行分析，重點分析了防護設施和應急救援設施，為電子行業企業的職業病危害防護提出建議。

【關鍵字】化學有害因素;防護設施;應急救援設施

中圖分類號： R136 文獻標識碼： A 文章編號： 2095-2457（2019）08-0198-002

DOI：10.19694/j.cnki.issn2095-2457.2019.08.087

【Abstract】Through the form of example analysis， analyzing the protection of the chemical hazardous agents leading to occupational diseases in the electronics industry， the protective devices and emergency rescue facilities are focus analyzed and the suggestions are made for enterprises to prevent the occupational disease hazards in the electronic industry.

【Key words】Chemical hazardous agents; Protective devices; Emergency rescue facilities

從職業衛生的角度來說，電子行業有著其特殊的一面，電子行業往往會使用大量、多種類成分復雜的氣體及液體化學物質，如氫氟酸、氟化物、氨、四甲基氫氧化銨（TMAH）等，部分化學物質為高毒、致癌物質，還有大部分化學物質在我國尚未制定相應的檢測方法和職業接觸限值[1]。但因電子行業的生產設備往往密閉性好，局部通風設施完善，散發到作業場所的化學毒物檢測結果基本上是“小于檢出限”。以下以電子行業中的“集成電路芯片制造”和“導電薄膜生產”為例，對電子行業的職業病化學有害因素防護重點進行分析。

1 生產工藝及職業病化學有害因素分析

1.1 集成電路芯片制造企業

1.1.1 生產流程圖

1.1.2 主要職業病化學有害因素

氨、氯化氫及鹽酸、氟化氫、氟化物、過氧化氫、乙二醇、異丙醇、磷化氫、磷酸、硫化氫、硫酸、氯、氫氧化鈉、砷化氫、二氧化硫、六氟化硫等。

1.2 導電薄膜生產企業

1.2.1 生產流程圖

1.2.2 主要職業病化學有害因素

丙酮、草酸、磷酸、氫氧化鉀、氟及其無機化合物、正庚烷、過氧化氫、甲醇、萘、碳酸鈉、氯化氫、乙醇胺、乙酸乙酯、異丙醇、異佛爾酮、丁醇、四甲基氫氧化銨等。

1.3 職業病化學有害因素影響分析

電子行業因發展迅猛的緣故，生產工藝淘汰速度也快，企業往往生產線生產不到十年，有的甚至是一、兩年便需要根據市場需求更新換代，改變工藝，重新更換產品、生產線和原輔料，再加上使用的化學品種類多，導致企業涉及的化學有害因素種類多且變化性較大;另外因為電子行業對生產精密度高要求的緣故，企業一般選用的是全自動化、密閉式、先進性較高的的生產設備及生產線，使用化學品的生產機臺基本都會自帶抽氣、排氣裝置，并通向相應的酸排、堿排、有機排等排氣管道;有的企業需要人工在機臺操作或是人工上料、卸料，有的企業則采用機器人操作，除了檢修、設備維護等特殊情況，員工只需要在中控室操作即可。由于以上幾點原因，正常生產情況下，雖然化學有害因素種類較多、使用的劑量也較大。

2 職業病化學有害因素防護設施分析

以上所述電子行業企業，在采取職業病防護方面，因其生產需求，無法采取最有效的“以無毒或低毒物質代替有毒高毒物質。”的方法進行防護，故以“（1）改善有害的生產工藝與作業方法防止有害物質擴散;（2）將產生有害因素的設備密閉化、自動化;（3）采取隔離或遠距離操作;（4）采取局部通風等工程防護措施。[2]”幾類方法進行防護。

第（1）、（2）類在電子行業中是普遍采用的，一般來說也是生產設備本身自帶的防護措施。具體方式諸如：a.化學藥劑由專用桶封裝，通過系統自動控制經管道加入機臺，不需人工操作。b.特殊氣體采取專用氣瓶柜盛放，并放置在專用氣體間，氣瓶柜具有氣體氣瓶自動切換、自動吹洗，根據氣體濃度監測報警信號，自動關閉相關氣瓶柜的供氣閥門等自控功能。c.生產機臺采取全密閉形式，防止化學危害因素擴散。這兩類防護措施雖然是電子行業基本防護措施，但也因從源頭隔斷了有害物質的傳遞而最為有效。

第（3）類只是如以上提及的某“集成電路芯片制造”企業，生產線完全采取機器人自動操作的情況而言，但對于大多數電子行業企業而言，這一點也難以做到，一來需要員工在機臺操控設備，二來需要員工上料、下料、加藥，如以上提及的某“導電薄膜生產”企業，更有涉及電子行業下游的企業，還需要大量勞動者進行裝配式作業，勞動者不可避免近距離靠近危害源頭。

第（4）類防護措施，也就是局部通風措施，一般來說主要有兩類，一類是配合設備的密閉性以及根據有害物質種類機臺本身自帶的排氣裝置，一般包括酸排、堿排、有機排、熱排、一般排等幾類，每種不同的排氣管道對應著不同的凈化處理系統，因此，電子行業的廢水、廢氣處理往往龐大而多樣化。第二類局部通風相對第一類來說往往容易被企業忽視，即設備維護、檢修時使用的移動式排風設備，因為在設備維護、檢修時，往往需要打開機臺，露出設備內部，這時候沒有用盡的藥劑或是正在使用的藥劑就有暴露在空氣中的可能，而此時機臺自身的排氣裝置一般是關閉狀態，這時候就需要使用移動式排氣裝置在打開設備時提前排氣，以及在勞動者作業時隨時進行排氣，這種排氣裝置往往是通過軟管連接到車間內的排氣系統，不用時收起，使用時展開，方便、有效。

3 職業病化學有害因素應急救援設施分析

對于電子行業來說，對化學有害因素的應急救援措施的重視程度不應低于對防護設施的重視程度，因為使用大量高毒、易導致急性中毒的化學品，一旦出現泄漏、停電、防護設施故障等情況，如果沒有采取妥善的應急救援措施，便會極易引發嚴重的集體性中毒事故。因此，應急救援措施是預防和及時控制勞動者急性職業損傷，確保勞動者得到及時救治、避免和控制身體傷害擴大、危害因素擴散所必須的防護設施。

職業病化學有害因素的應急救援設施可分為“（1）監測報警裝置、（2）現場緊急處置設施、（3）急救或緊急處置用品、（4）強制通風設施等。[2]”

3.1 監測報警裝置

以上提及的某“集成電路芯片制造”企業有設置較為全面的監測報警裝置，如在特種氣體供應室、氣體管道入口室、氣體監測室及工藝設備使用點裝設“毒性氣體濃度檢測報警系統”。另外電子行業企業還需配備精密度較高的便攜式檢測報警裝置，如發生停電事故或其他可導致化學毒物散發的事故時，便于檢測環境危害程度，判斷人員是否可以進入車間。

報警值的設置需根據《工業企業設計衛生標準》的要求設置，因為報警設備一般的報警值單位為ppm，所以在評估是否滿足標準限值要求的時候，需要根據有害氣體的分子量進一步進行公式轉換，轉換為單位為mg/m3的報警值，即基于25℃和1個大氣壓：Ymg/m3=Xppm×分子量÷24.45。因為傳感器種類和精度的限制，市場上可以購買到的符合要求的報警裝置化學有害因素種類有限，常見的如一氧化碳、氨、磷化氫、氯化氫及鹽酸、砷化氫、乙硼烷、氯氣、二氧化硫等。

（2）現場緊急處置設施

電子行業主要使用的現場緊急處置設施為噴淋洗眼器，以及專用的應急洗眼液。現場緊急處置設施的主要功能是處置噴濺于勞動者皮膚黏膜上的有毒、有害物質，避免急性職業損傷進一步加劇[2]。對其設置的主要要求包括靠近可能發生相應事故的地點、保證連續供水、有清晰的標識、定期維護保養。

（3）急救或緊急處置用品

急救或緊急處置用品這里指的主要是生產現場設置的急救藥品或用品，一般來說企業可參考《工業企業設計衛生標準》中附錄《表A.4急救箱配備參考清單》結合《MSDS》要求進行配備。企業往往忽視的問題是急救箱沒有設置在工作場所便于勞動者取用的地方或是用鎖鎖住，這樣可能導致勞動者無法在產生需求的第一時間獲取藥品，錯過醫療時機。另外藥品有效期及消耗情況的點檢也是需要定期由專人完成了。

（4）強制通風設施

“事故通風”也是電子行業企業往往容易忽視的問題，誤以為消防通風即事故通風，但實際上，電子行業企業尤其需要設置事故通風裝置，根據《工業企業設計衛生標準》要求“在生產中可能突然逸出大量有害物質或易造成急性中毒或易燃易爆的化學物質的室內作業場所，應設置事故通風裝置及與事故排風系統相連鎖的泄漏報警裝置。”事故通風的目的是為了避免有害氣體的積聚而造成進一步人員傷害，避免擴大事故范圍和等級。由于通風設施一般在設計階段就會設計完成，所以如果企業沒有在建設前完成該項工作，后期改造工程將會耗費更大的時間、人力和財力。這就要求企業在前期設計時了解該項工作的具體要求并加以實施，最簡便的方法就是在施工前完成《職業病防護設施設計專篇》的編制工作。

4 總結

職業病化學有害因素的防護設施、應急救援設施不限于以上提及的幾點內容，最為全面的防護需要針對企業自身職業病危害情況，結合職業病防護管理措施、以及“職業病防護的最后一道防線”個人防護用品等職業衛生相關法律法規的要求內容完成。電子行業因其存在危害因素種類相對較多的特點，尤其需要加強防護和管理，以保障勞動者的職業健康安全。

【參考文獻】

[1]姜向陽.職業衛生評價與檢測典型行業職業病危害評價要點分析[M].北京：煤炭工業出版社，2013.

[2]劉寶龍.職業衛生評價與檢測建設項目職業病危害評價[M].北京：煤炭工業出版社，2013.