“微米劃片師”

人物名片：

劉宏文，沈陽和研科技股份有限公司機械工程師，沈陽五一勞動獎章獲得者

與微觀世界打交道，在頭發絲上開槽“畫畫”，劉宏文所從事的職業，每天都在跟精度較勁，0.002毫米是他所能容忍的最大定位偏差。

劉宏文是沈陽和研科技股份有限公司（以下簡稱“和研科技”）的一名機械工程師，提高劃片機的精度是他的主要工作之一。作為半導體產業鏈的重要一環，劃片機的高端機型曾長期被國外壟斷，其中最重要的一點，就是國產與進口在精準度上存在0.003毫米的差距。這么微小的差距肉眼是看不出來的，但在芯片制造領域，失之毫厘，便會差之千里，“所以我們每天都在與精度較勁，讓誤差降至最低。”劉宏文口中的誤差，是以微米為單位的，將上百個芯片精準從晶圓上剝離，定位誤差需控制在2微米以內。2微米是多少？劉宏文舉了個形象的例子：“1 根頭發的粗細是70微米?！?/p>

“早年國產的劃片機發展不起來，除技術問題外，還有一個原因就是沒有客戶愿意給我們試錯的機會。”劉宏文說，一張晶圓上擁有幾十個甚至上百個芯片，而芯片的價格從幾十元到上百萬元不等，客戶出于各種考慮，更傾向于購買外國的劃片機。直至2018年，和研科技成功研制出第一臺12英寸半自動雙軸劃片機，這一困境才有所變化。

提高劃片機的切割精度是一個較為前沿的領域。作為機械工程師的劉宏文不僅要畫圖紙，研究出工藝工序，還要經常去實驗室試錯，和工人在一起裝配機器。為的就是能在千萬個步驟中找到突破口，使定位偏差再下降幾微米。

2020年，劉宏文提出了一個大膽設想：對劃片機的噴水罩進行提升改進。這樣不僅能提高綜合精度，延長刀片壽命，降低刀片工作時的熱度，還能減少芯片的崩邊率，一舉多得。很快，這一想法得到了公司領導的支持，公司為該項目建了研發團隊，拿出大量的晶圓、芯片不惜成本地讓他試錯。

就這樣，劉宏文帶領團隊進行了兩年多的“噴水罩研究”重點攻關，由他主導研發的氣缸噴水罩有了重大突破，劃片機切割品質得到大幅提高。該項目所涉及的DS9系列劃片機入選遼寧省首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄，實現了對進口設備的國產化替代。那段時間，他和團隊幾乎天天泡在實驗室里，做了幾千次的實驗，每做完一次實驗，都會興奮地跑到電子顯微鏡前去驗證?！爸灰芾^續嘗試，就還有成功的可能?！庇趧⒑晡亩?，失敗早已是家常便飯，但只要還有機會，一切就有可能。