多晶硅的還原工藝自動控制技術

桂偉兵

（江蘇中能硅業科技發展有限公司，江蘇徐州 221004）

多晶硅的還原工藝自動控制技術

桂偉兵

（江蘇中能硅業科技發展有限公司，江蘇徐州 221004）

首先分析了在多晶硅生產過程中存在的一些問題，接著通過從系統功能的設計出發，然后說明電流的預測模塊的重要性，最后，在自動控制技術方面，通過一些程序的設立和改進提高還原工藝的自動化程度，還從安全方面分析了自動控制技術的優點。

對晶硅；還原工藝；自動控制技術

在多晶硅的生產過程中，經常會出現一些溫度和電流波動的問題，這些問題的引起因素有很多，這些因素極大地影響了多晶硅的生產，還原過程。例如在一起的多晶硅還原過程中，會按照事先約定好的溫度曲線去調節硅棒上不同時刻的電流值，或用PID調節方式對硅棒進行逐步加熱。但是這個方法有很明顯的缺點，它還是無法對由于各種不確定因素引起的溫度和電路波動進行控制，也就無法保證整個還原反應正常穩定的進行，會導致多晶硅裂棒和倒棒的現象，甚至可能會中途停爐，最后的產量，質量等結果自然也是不令人滿意的。在多晶硅生產時，一般是需要在1 000℃以上的環境下進行還原反應的，這樣苛刻的條件極大地增加了生產過程中的自動控制。另外，還原生產是一個間歇進行的過程，與其他進行常規的連續生產過程不同，在整個生產還原的過程中都需要進行精確地控制。所以，如果能利用好多晶硅還原工藝中的自動控制技術，將會大大提高工作效益，也保障了安全。……