BTZ-3100型探針臺承片臺系統的改進研究

鄭金寶

（秦皇島視聽機械研究所，河北秦皇島066000）

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BTZ-3100型探針臺承片臺系統的改進研究

鄭金寶

（秦皇島視聽機械研究所，河北秦皇島066000）

BTZ-3100型自動探針臺是半導體芯片測試的高精密儀器，其中運動系統是該分選設備的一個重要結構。結合客戶在使用過程的反饋意見，總結了運動系統存在的一些問題：主要包括z軸升降臺運動導致的芯片劃傷，以及u軸旋轉軸的旋轉精度不夠。針對這兩個問題，主要更改了z軸升降臺的軟件控制方式，同時改進了u軸的機械結構，優化了機械運動和軟件控制的配合方式，并且對改進后的結構進行了實際測試，測試結果顯示探針臺運動系統的精確性和穩定性得到了提高，設備運行過程中出現的劃傷問題和對齊精度不高的問題都得到了很好的解決。

承片臺系統；z軸升降臺；u軸

半導體芯片封裝、測試是半導體制造過程的一個重要環節。隨著半導體芯片制造業的迅速發展，芯片測試越來越受到生產廠家的重視，并且已經成為半導體生產行業中一個不可或缺的重要環節，所以相關測試設備的設計和制造也得到了迅速發展［1］。BTZ-3100型自動探針臺是秦皇島視聽機械研究所專為半導體生產廠設計的用于半導體芯片封裝前晶圓測試的生產設備。與相應的測試儀進行信號通訊就可以組成一套完整的測試系統。BTZ-3100型自動探針臺采用整體箱式結構，封閉式設計，其主體主要分為四大部分：電氣控制系統，機械運動系統，操作系統，顯示系統。……