AMHS在集成電路產業的發展趨勢分析

上海新創達智能科技有限公司

(上海新創達智能科技有限公司，上海 201306)

在集成電路制造技術高度發達的今天，300 mm集成電路制造工廠已成為全球半導體行業的主流。在保證成品率的基礎上，最大限度的提高工廠生產效率，以獲得最大產出，是每個集成電路制造企業追求的目標。集成電路生產制造作為高科技行業中的勞動密集性產業，包括三十幾道主流生產工藝，上百道重復工藝流程，精確、可靠、穩定物料流轉是影響集成電路生產效率的關鍵之一。

自動物料搬運系統（Automatic Material Handling System，AMHS）廣泛應用于機場的貨物運輸、自動化工廠的物料運輸等。

1 自動搬運系統在集成電路生產中的應用

早期的150 mm(6英寸)晶圓廠，晶圓尺寸小、本身質量有限，應用并不是很廣，隨著晶圓尺寸的增大，200 mm、300 mm(8英寸、12英寸)工廠的興起，AMHS的應用開始漸漸興盛起來。

1.1 第一代應用

集成電路制造自動物料搬運系統的搬運區間一般分為區間灣和區內灣,空中走行式穿梭車（OHS）負責區間灣,而空中走行式無人搬送車(OHT)負責區內灣。第一代AMHS的區間灣和區內灣相互獨立，區間灣和區內灣中間通過自動倉儲系統連接起來。跨灣的搬送必須要通過自動倉儲系統，即“OHT+自動倉儲系統+OHS+自動倉儲系統+OHT”，該模式最早應用在Intel Fab廠。自動倉儲系統作用不僅僅是晶圓的存儲，他還扮演了更為重要的晶圓搬運的橋梁作用。如果說某個灣區上的自動倉儲系統發生了故障，相關灣區上的晶圓運輸也會受到影響。

1.2 第二代應用

“OHT+自動倉儲系統+OHS+自動倉儲系統+OHT”，跨灣區的搬送必須通過上述的自動倉儲系統來完成，極大地影響搬運效率。……