國內首臺套全自動12英寸單晶硅定向儀研發成功

2019年7月5日，丹東新東方晶體儀器有限公司研制開發的國內首臺套設備——XDF-7DZ全自動多功能單晶硅晶棒定向儀通過新產品鑒定。此次鑒定會由遼寧省工業和信息化廳委托丹東市工業和信息化局組織召開，鑒定委員會由北京中材人工晶體研究院有限公司黃存新教授級高工、遼寧省計量科學研究院劉劍教授級高工、北京天科合達半導體股份有限公司趙科新研究員等七位專家組成。專家一致認為該產品填補國內空白，主要技術指標達到國際先進水平。

XDF-7DZ全自動多功能單晶硅晶棒定向儀采用X射線與三維立體成型軟件相結合的方法，搭建了多自由度滑臺，實現12 inch大尺寸晶棒的一次性定向、粘結及復檢功能。系統通過角度之間的關系建立三維空間解析方程，選取最優值晶棒的旋轉角和擺動角，提高了半導體級單晶硅晶棒的定向精度，可實現調距精度±0.01 mm、粘結精度≤0.05°、定向精度≤25″，單晶硅晶棒粘結成品率達到98%以上。該產品的研發成功適應芯片產業高速發展的市場需求，符合國家倡導的節能減排和大力發展高新技術的政策，進一步助力國內半導體事業的蓬勃發展，為我國自主知識產權結構添磚加瓦。