曾文仁

德國柏林,光刻機巨頭荷蘭阿斯麥(ASML)制造廠
荷蘭方面一直抗拒與美國政府合作,認為限制阿斯麥光刻機出口至中國內地,不符合其商業乃至國家利益。
近日,荷蘭政府宣布一系列針對先進半導體設備的出口管制。該國光刻機技術企業阿斯麥(ASML)是行業龍頭,自然成為外界焦點;同時,美國媒體引述知情人士,指美國商務部正考慮擴大對華出口半導體的限制,讓芯片供應商英偉達(NVIDIA)專為適應限制而設的A800芯片亦納入禁令范圍??梢灶A期,在美國推動下,全球芯片市場將繼續成為國際關注的焦點。
日本多摩大學榮譽教授井上伸雄在《圖解半導體》書中,用一句話闡明了半導體在現代社會的重要性:“沒有半導體,就沒辦法運用電力。”在電路板中,廣為人知的中央處理器(CPU)也是半導體的產品—事實上,不論是戰斗機、航空母艦,還是電冰箱、熱水壺,它們的運作都需要半導體,以控制電流、電壓,以及作為計算、控制及記憶等功能,區別只在于運算能力高低而已。
2012年,曾有美劇上演了這樣的情節:全球大停電的背景下,人類在電力失靈后,文明倒退,現代政府垮臺,城市成廢墟,現代科技自衛星,甚至燈泡都成為無用之物。盡管憂慮全球電力失靈未免杞人憂天,但半導體的創新放緩、應用電力的能力受限,是可預期有可能發生的結果。
若深入了解半導體的制作過程,我們更可理解芯片制造業的發展難度。芯片是指內含集成電路的硅片,既是半導體元件產品的統稱,也是集成電路的載體。設計工程師需使用專用的設計軟件,來規劃電路的走線,而這部分一般被稱作上游制程。
按業內知名芯片制造龍頭臺積電的說法,芯片的制程自二氧化硅組成的純凈硅砂開始,硅砂熔制為純硅后,可切片成為空白晶圓。由于硅晶圓在不同溫度下能夠傳導或阻絕電流,所以會在硅圓片上涂布感光涂料,并以強光進行曝光顯影,來實現將電路設計圖轉印到晶圓上。這道制程在晶圓表面留下電路設計圖的化學涂層,以進行蝕刻或離子植入。
在晶圓上鍍上更多層不同的材料,并透過曝光顯影和蝕刻制程,就能制作導體層和絕緣層。接下來,制造商會借由化學機器研磨,移除晶圓上不需要的材料,使晶圓表面平滑,繼續制作其他導體層和絕緣層—這程序需要重復多次,直到半導體芯片制作完成。最后,在晶圓上覆蓋一層保護層。這過程通常被稱作“前段制程”,目的是在晶圓上置入晶體管等組件和配線,有400至500個流程,它是芯片制造產業的中游部分。而隨著技術日益改進,流程的數目很可能逐年增加。
完成的晶圓需通過電路檢查,確保電路準確無誤刻在晶圓上。至此,芯片進入后段制程:首先,需要將晶圓切割成一顆顆半導體芯片,切割出來的芯片有部分質量欠佳,制造商只會取出優質的芯片,這些芯片就是新聞經常談及的7納米或5納米芯片等—簡單而言,數字愈低,通常意味制程愈先進,制造的技術難度更大,使用的機器越精密,成本亦更高。

德國博世半導體工廠

阿斯麥光刻機
半導體的創新放緩、應用電力的能力受限,是可預期有可能發生的結果。
取出的芯片會進入封裝制程,相關的工序亦被稱為下游產業。芯片需被固定于導線架之上,再透過引線接合,將芯片連接電路,再以壓模樹脂覆蓋芯片和引線,并經過導線金屬鍍膜、加工,形成我們在電路板上看到的一塊塊黑色塑膠物體。完成封裝后,芯片需經過各種測試、檢查,全部合格后,方可成為可出售的芯片。
上述的說法是一個非常簡單的描述。芯片制造的每道工序的技術含量極高,且不同種類芯片的技術要求,亦不盡相同。同時,在芯片制造的過程中,“良率”(yields)的概念非常重要:制作流程里,不可能每一工序都百分百成功,有一些部分出現瑕疵亦屬正常。然而每一工序都有一定比例的瑕疵,而每經過一道工序,合格的產品數目會持續減少。

AMD公司7nm晶圓
芯片原本無所不在,而限制其流動,將會使它成長放緩甚至停止。
市場很重視芯片制造商的生產良率,每一次“良率”看似小幅度的提升,都意味著合格的產品大量增加,制造成本亦能大幅下降。
大致了解制程后,我們就可以厘清芯片產業常見企業的關系,稍微弄清楚所謂“卡脖子”是怎么一回事。要知道,芯片制造是一個高度分工的產業,產業生態系統相當繁復,從事行業的工程師甚至企業,大多聚焦整個產業鏈的一小部分,難以全面涵蓋整個產業鏈。所以,單從臺積電等龍頭企業高薪挖角數名中高層主管,并不能突破芯片技術瓶頸。
舉例而言,美國的英偉達、AMD、高通,中國臺灣的聯發科和華為旗下的海思半導體,主要是芯片設計的上游產業;臺積電則聚焦前段制程的代工,而荷蘭的阿斯麥則主營用作晶圓加工的光刻機;深圳的鵬芯微、在香港上市的中芯國際亦經營芯片制造業務,可被歸類為產業的中游。
部分大型企業如臺積電亦具備下游工序的技術,而臺灣的日月光則專門提供封裝與測試服務,同屬下游產業。這些企業生產的芯片,會售予蘋果、谷歌、特斯拉等明星企業,生產我們常見的電腦、手機或其他電子產品。
有來自中國的頭部芯片企業曾公開表示,“芯片的設計當前中國已經步入世界領先……芯片的制造中國也是世界第一,在臺灣”;大陸的芯片制造缺乏制造設備、基礎工業及化學工業。
即便是美國,亦不能以一國之力全面掌控整個芯片產業鏈。近年,拜登政府四處奔走荷蘭、日本、韓國政府尋求合作。美國政府去年推出的《芯片和科學法案》(CHIPS and Science Act 2022)斥巨資扶助的企業,亦非全部為美國企業,國外企業如臺積電、三星也是它的爭取對象,條件是任何接受資金的企業,必須在美國本土制造他們研發的產品。
事實上,荷蘭方面一直抗拒與美國政府合作,認為限制阿斯麥光刻機出口至中國內地,不符合商業乃至國家利益;臺積電亦因法案規定,企業需應政府要求,提供關鍵技術細節,生怕競爭對手三星從中獲得關鍵技術,繼而猶豫再三。

2022年12月29日,中國臺灣,臺積電新廠落成,3nm芯片開始批量生產
《芯片和科學法案》另一受關注的要求,是受資助企業至少十年內,不得在中國或其他受關注國家進行新的高科技投資。換言之,接受美國政府資助的芯片企業,將不可能成為中國芯片產業的助力。
盡管全球企業不一定需要美國政府的資金,但不少討論認為,全球各大芯片龍頭為免遭受美國政府以國家安全之名打壓,亦只能不情不愿加入其計劃。而受限制的芯片企業,日后在國際尋找先進制程的合作伙伴時,范圍只得縮小至其他相對不那么發達的地區,其中的技術水平不言而喻。
今年3月,臺積電創辦人張忠謀與《芯片戰爭》作者克里斯·米勒的對談中,不乏值得我們細思之處。張忠謀談及芯片的全球化已死,因芯片制造商到美國設廠,對業界完全沒幫助,只會使成本上升。芯片原本無所不在,而限制其流動,將會使它成長放緩甚至停止。
克里斯·米勒亦指出,從半導體的國際分工而言,很難有一個國家能夠自給自足,最后可能花很多錢,也不會做得較好;從頭到尾打造晶圓代工產業殊不簡單。
張忠謀另一對美國政府的評論,亦甚具參考價值。去年,美國眾議院議長佩洛西竄訪臺灣時,張忠謀向佩洛西和其他美國議員表示,若美國以為靠花大錢就可以進占芯片全球最復雜的電子制造市場,那就太天真了。
兩人的評論亦可預視,中國芯片制造應發展的方向:全球協作。追求芯片自給自足,目前既不可行,亦不經濟,更無優勢。
以美國的國力,透過“大撒幣”追求芯片制造自給自足,尚且困難重重,其他國家嘗試以相似手法發展本土芯片產業,無疑是緣木求魚。發展技術密集且高度分工的芯片產業,我們應該秉持全球協作精神,各自發展自身的比較優勢,在商業主導的國際分工下把餅做大,共同推動產業、科技的發展。
責任編輯吳陽煜 wyy@nfcmag.com