新一代PTFE濾膜在半導體和LCD/FPD中的應用

在SEMICON JAPAN展會上，戈爾公司引進了高密度聚乙烯系列的新一代聚四氟乙烯（PTFE）濾膜制成的筒狀濾芯，用于半導體和LCD/FPD制造所用高純化學品的生產中。

日前在日本千葉舉行的SEMICON Japan 2011展會第2B-201號展位上，W.L.Gore&Associates（戈爾）為高密度聚乙烯濾芯系列引入新一代聚四氟乙烯濾膜，用于生產高純化學品，供半導體和LCD/FPD生產之用。

新型GORE濾芯采用戈爾公司最新的ePTFE（膨體聚四氟乙烯）濾膜技術，兼具無以倫比的過濾精度和流量性能。所有非聚四氟乙烯部件均使用高密度聚乙烯（HDPE），確保有機物和金屬離子析出量極低。HDPE系列筒狀濾芯有3種過濾精度：0.1 μm、30 nm 和 20 nm。

新型高密度聚乙烯系列筒狀濾芯可直接替代現有濾芯，在過濾精度相同的條件下，與當前采用的最佳過濾技術相比，流量可提高150%～400%。這顯著增強的性能，在保持過濾系統流量不變的同時提高了過濾精度。在過濾精度相同的條件下，又可增加產量或減少所需濾芯。這種濾芯特別適用于高周轉率的循環過濾系統或者在高通量化學品灌裝系統中用作終端濾芯。

戈爾的膨體聚四氟乙烯濾膜已經在全球半導體、電子、超純水、高純化學品應用行業的最佳過濾器中應用了數十年。