新一代PTFE濾膜在半導(dǎo)體和LCD/FPD中的應(yīng)用

在SEMICON JAPAN展會(huì)上，戈?duì)柟疽M(jìn)了高密度聚乙烯系列的新一代聚四氟乙烯（PTFE）濾膜制成的筒狀濾芯，用于半導(dǎo)體和LCD/FPD制造所用高純化學(xué)品的生產(chǎn)中。

日前在日本千葉舉行的SEMICON Japan 2011展會(huì)第2B-201號(hào)展位上，W.L.Gore&Associates（戈?duì)枺楦呙芏染垡蚁V芯系列引入新一代聚四氟乙烯濾膜，用于生產(chǎn)高純化學(xué)品，供半導(dǎo)體和LCD/FPD生產(chǎn)之用。

新型GORE濾芯采用戈?duì)柟咀钚碌膃PTFE（膨體聚四氟乙烯）濾膜技術(shù)，兼具無(wú)以倫比的過濾精度和流量性能。所有非聚四氟乙烯部件均使用高密度聚乙烯（HDPE），確保有機(jī)物和金屬離子析出量極低。HDPE系列筒狀濾芯有3種過濾精度：0.1 μm、30 nm 和 20 nm。

新型高密度聚乙烯系列筒狀濾芯可直接替代現(xiàn)有濾芯，在過濾精度相同的條件下，與當(dāng)前采用的最佳過濾技術(shù)相比，流量可提高150%～400%。這顯著增強(qiáng)的性能，在保持過濾系統(tǒng)流量不變的同時(shí)提高了過濾精度。在過濾精度相同的條件下，又可增加產(chǎn)量或減少所需濾芯。這種濾芯特別適用于高周轉(zhuǎn)率的循環(huán)過濾系統(tǒng)或者在高通量化學(xué)品灌裝系統(tǒng)中用作終端濾芯。

戈?duì)柕呐蝮w聚四氟乙烯濾膜已經(jīng)在全球半導(dǎo)體、電子、超純水、高純化學(xué)品應(yīng)用行業(yè)的最佳過濾器中應(yīng)用了數(shù)十年。