《半導體制造技術》雙語教學的嘗試和探索

摘 要：“半導體制造技術”作為集成電路設計理論與其后端生產技術的知識紐帶，對電子類專業學生面向集成電路科學的專業學習、興趣挖掘及工程實踐技能培養起著重要的作用。考慮半導體集成電路技術具有理論前沿性、發展快速性、應用普適性的特點，該文結合目前“國際化加專業化”的電子類專業人才培養目標，探討采用雙語教學模式的必要性和意義。提出“雙語輔助專業”教學的改革思路，從教材、教學方法和課程體系改革三方面論述該專業課程改革的構想及成效。

關鍵詞：雙語教學 集成電路技術 專業課改革 半導體制造技術

中圖分類號：G64 文獻標識碼：A 文章編號：1674-098X（2015）01（b）-0150-02

在當今我國強力推進自主集成電路芯片-“中國芯”的研發與制造，以及以電子信息科技為主導戰略的科技強國的大背景下，培養一批具備前沿半導體集成芯片的工程應用能力，掌握以集成電路為載體的現代電子系統研發、設計與生產能力的電子類專業人材，已經成為我國高等院《半導體制造技術》雙語教學的嘗試和探索。

校與科研部門的迫切使命。作為集成電路專業的一門重要的理論性課程《半導體制造技術》廣泛涉及量子物理、電學、光學、化學、分子力學等基礎科學的理論概念，又涵蓋半導體后端工藝的精密儀器、機械加工、材料分析等與制造相關的高新生產技術。該課程是各大高校集成電路專業的必修課程之一，對于學生貫通集成芯片研發流程的理解具有指導性意義。

本研究以“半導體制造技術”這門課程首次采用雙語教學的嘗試為切入點，提出以“雙語輔助專業”的教學思路，就電子類專業的雙語教學面臨的問題和困境從教材到教學方法，同時包括教學資源整合等課程體系方面提出了課程實施的構想與實踐，以期為集成電路專業的課程質量的提高與人材培養開辟一條新的思路。

1 電子類專業課教學現狀與問題

作為以工科專業見長的省屬地方性綜合類院校——河南科技大學在電子類專業課教學中，為了使學生能夠接觸到電子科技的最新進展和前沿信息，擴展視野、提高外文資料閱讀能力，重點選取了“半導體制造技術”為代表的專業主干課程制定了雙語教學的大綱，并有計劃、分步推動雙語教學的全面開展。對于我校目前的學生素養與師資水平而言，實施雙語教學面臨的問題主要包括兩方面：

學生的英文基礎及接受水平有限。對于習慣使用中文教材，英文約是四級水平的本科大三學生而言，“半導體制造技術”課程的專業詞匯和科技語法會造成閱讀能力跟不上，導致對重要專業知識的消化不良甚至抵觸。

教師的雙語授課和課程把握難度大。雙語授課使用外文教材，這就要求對教科書選擇，知識難度選取和授課時的雙語配比等問題反復論證，找出適合我校學生水平的教學模式。同時專業課教師雖然在科技文獻閱讀方面具有較強的基本功，但是真要雙語口頭表達，還是需要加強口語鍛煉。

就以上《半導體制造技術》課程師生面臨的一些主要問題，有針對性地對此次試點課程的雙語教學實踐提出建議和對策。

2 教學資源優化

2.1 教材改革

教材是教師和學生溝通問題和交換信息的橋梁。雙語教學課程對教材選取提出了更高的要求。基于以“雙語輔助專業”的授課理念，一方面要求教材中的基礎理論涵蓋面廣，同時對重點專業知識的研究要深入；一方面又要求外文語句條理清晰，易于閱讀。經過了解對比并結合我校雙語教學的實際情況，最終選定由美國加州大學伯克利分校Michael Quirk教授主編的教材（Semiconductor Manufacturing Technology）。該書詳細追述了半導體及硅基集成電路的發展歷史并吸收了各種新的前沿技術資料，對于半導體硅芯片制造的每一個主要工藝流程包括氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入和化學機械平坦化等都結合相關基礎理論加以詳細的講解，非常適合我校集成電路專業大三學生的學習。另外，該教材語言簡練，用詞準確，再加以重點授課內容的甄別和調整，很適合本科水平的學生閱讀和理解。

2.2 雙語師資隊伍建設

由于電子類專業課程的雙語教學剛剛起步，任課教師也需要有一個緩沖期來啟動和尋找英文授課的感覺。如提前在假期內組織雙語教學針對口語授課的課程培訓，與牽頭的外語系教師以及外教交流探討雙語授課的技巧和經驗，培訓合格的骨干教師可以上崗開展雙語課程教學。從穩定專業教師外語水平及其進一步提升的長遠目標來說，學校選派有能力的骨干教師出國，觀摩例如著名的加州大學伯克利分校的“微電子電路與器件”等高水平的專業課外語課程，是提高英語口語與交流能力，開拓學科的國際化視野，也是構建優秀雙語師資、提高帶動雙語教學水平的有效手段。

2.3 雙語配套課程資源構建

利用校園網絡搭建數字教學互動平臺，逐步創建包括“半導體制造技術”在內的各個專業課程的外語專欄供學生之間，師生之間的交流互動。可以掛載雙語參考電子書、歐美先進高校的公開課視頻、課件及國際頂尖電子公司如英特爾公司等的產品介紹、生產視頻等配套電子資源，既提高學生的自主學習興趣，了解專業前景便于設定就業和升學目標，又幫助同學延伸課外學習，有助于專業技能的拔高和視野的擴展。另外，創造條件鼓勵有興趣的學生進入老師的研究室參與科研項目，布置學生進行專業科技文獻閱讀，單獨進行輔導。

3 教學方法和課程體系改革

3.1 教學方法改革

改變“我講你聽，聽過就忘”的“效率高，效果差”的傳統教學方法，針對“半導體制造技術”專業課的老式中文教學方法加以可突出雙語優勢的改良。增加師生互動和課上質疑問答，形式上可以多樣化，如分組討論、隨機抽查、即興演講等，鼓勵學生用英語作答與提問，給學生表現自己外語才能的機會，營造口語表達環境，解決“開口難”的難題。學生在加深對專業詞匯理解的同時，知識點已深入腦海。營造雙語授課環境，采取英文串講重難點概念的教學模式，備課時事先提取每個章節的必學知識點，課上著重用英語講解，重難點內容分別用中、英文對譯；牢牢把握專業教材的知識精髓，精煉教學內容，簡化英文PPT課件，在保障課程進度的前提下，適當添加與學生互動探討課程內容的比例，激發其內在的學習潛能，培養其知識獲取、內化、表達的能力，同時避免類似“左耳進、右耳出”等傳統教學方法造成的弊端。

3.2 構建英文教學體系和環境

堅持用英語備課、板書、作業和考試。教師在上雙語課前認真備好每一堂課。課前5min，老師可以將事前準備的本次課程中會用到的英語專業詞匯寫到黑板上，供學生在授課過程中，反復參照不斷深化與聯系專業知識點，逐漸加深印象進而熟悉專業詞匯。作為課程后期的一個重要環節，英語作業必不可少，同時適當地提供一些專業英語閱讀材料作為學習補充，鼓勵有興趣和學有余力的學生進行大量國外文獻的閱讀，便于了解國內外該專業的最新研究動態和進展。閱讀原版外文教材也可以幫助學生培養撰寫與精讀科技論文的素養和外語語境下思考的良好習慣。對于高效率地學習類似“半導體制造技術”的電子類專業課程起到一個相輔相成的促進作用。

4 結語

電子類專業課程的雙語教學改革是一個不斷嘗試和改進的過程。半導體集成電路技術具有的理論前沿性、發展快速性、應用普適性的特點，決定了電子類專業采用雙語教學模式的必要性和緊迫性，對于培養“國際化和專業化”的電子類專業技術人才具有重要的現實意義。提出“雙語輔助專業”教學的改革思路，針對實際教學任務中發現的問題，通過不斷優化和調整雙語教學的各個環節加以解決和攻克。此次探討和研究將為電子類專業人才培養提供一些思考并希望開辟一條新的道路。

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