復(fù)合薄膜摩擦學(xué)性能的實(shí)驗(yàn)研究

董靈健

摘要：文章所使用的MoS2/WS2復(fù)合薄膜是通過(guò)MoS2與WS2雙靶共濺射的方法制備出來(lái)的，同時(shí)使用了X-射線衍射儀（XRD）、掃描電子顯微鏡（SEM）、能譜儀（EDS）對(duì)薄膜微區(qū)的化學(xué)成分和形貌進(jìn)行分析。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，MoS2/WS2復(fù)合薄膜屬于納米級(jí)復(fù)合膜，膜表面由大小為50～100nm的顆粒組成，與純MoS2薄膜（200nm），其顆粒較??；因而，復(fù)合薄膜的致密性比純MoS2薄膜更好。在室溫大氣條件下，MoS2/WS2復(fù)合薄膜的摩擦學(xué)性能比純MoS2薄膜更優(yōu)越。

關(guān)鍵詞：MoS2/WS2復(fù)合薄膜；磁控；摩擦學(xué)性能；實(shí)驗(yàn)研究 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

中圖分類(lèi)號(hào)：TG174 文章編號(hào)：1009-2374（2015）24-0035-02 DOI：10.13535/j.cnki.11-4406/n.2015.24.017

1 概述

近年來(lái)，科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展使得人們對(duì)潤(rùn)滑材料的需求日益增加，由于在高溫、低溫、重載、高真空、有放射性以及油潤(rùn)滑失效等特殊工況下，摩擦副難以工作；因此，對(duì)潤(rùn)滑劑提出了很苛刻的要求；而傳統(tǒng)的油脂潤(rùn)滑無(wú)法滿足。固體潤(rùn)滑劑是固體潤(rùn)滑材料主要類(lèi)型，與傳統(tǒng)的油脂潤(rùn)滑相比，可在高溫、低溫、重載、高真空、有放射性以及油潤(rùn)滑失效等特殊工況下工作。

MoS2薄膜作為固體潤(rùn)滑劑，已被廣泛應(yīng)用在真空環(huán)境中；WS2薄膜在某些方面比傳統(tǒng)的MoS2薄膜表現(xiàn)更加優(yōu)越。但在大氣環(huán)境（尤其潮濕的環(huán)境）下，二者的潤(rùn)滑性能會(huì)降低。在潮濕環(huán)境中，MoS2/WS2復(fù)合薄膜可以提高固體潤(rùn)滑薄膜的摩擦性能。本文選用了固體潤(rùn)滑劑MoS2和WS2，在室溫大氣條件下，對(duì)采用磁控濺射的方法制備出的MoS2/WS2復(fù)合薄膜，進(jìn)行摩擦學(xué)性能的實(shí)驗(yàn)研究。本實(shí)驗(yàn)課題的來(lái)源于國(guó)家自然科學(xué)基金：Nb1-xTixSe2（x=0.01-0.1）的制備及作為電接觸復(fù)合材料摩擦學(xué)特性研究（51275213）；……